测功能。本科毕业设计说明书论文第页共页顺序功能图的设计严格按照定的先后顺序才能保证系统运行时的准确性。在设计中，考虑到不可预料的情况下，有时非要采用手动控制操作，我们可以通过定的编程来实现手动控制的方式。自动控制为主要系统设计方式，其控制流程图如下图所示图顺序流程图程序功能图自动控制程序上电，机械手复位，机械手右摆，水平气缸缩回，垂直气缸上升当按下，当极限开关启动时，检测元件检测到工件时，置位辅助继电器，机械手左摆当按下时，置位辅助继电器，水平气缸伸出本科毕业设计说明书论文第页共页当极限开关启动时，置位辅助继电器，垂直气缸下降当极限开关启动时，置位辅助继电器，气爪夹紧，启动定时器当计时时间到，置位辅助继电器，垂直气缸上升当极限开关启动时，置位辅助继电器，水平气缸缩回当极限开关启动时，置位辅助继电器，摆动气缸右摆当极限开关启动时，置位辅助继电器，水平气缸伸出当极限开关启动时，置位辅助继电器，垂直气缸下降本科毕业设计说明书论文第页共页当极限开关启动时，置位辅助继电器，气爪夹紧，定时器启动计时器启动，置位辅助继电器，垂直气缸上升当极限开关启动时，置位辅助继电器，水平气缸缩回当按下手动控制按钮时，置位辅助继电器，使系统复位当极限开关启动时，置位辅助继电器，循环操作当按下时，置位辅助继电器，使系统复位本科毕业设计说明书论文第页共页本科毕业设计说明书论文第页共页考虑到在执行过程中，机械手会出现故障或者不可预料的情况时，通常加入手动操作，按照其动作的过程，可以设计相应的手动控制结构，手动控制方式可以对机械手进行水平，垂直，摆动和气爪的控制。手动控制程序按下即气缸左摆按下即气缸右摆按下水平气缸伸出按下水平气缸缩回按下垂直气缸下降按下垂直气缸上升本科毕业设计说明书论文第页共页按下气爪夹紧按下气爪放松组态设计概述是种用于对构件运行状态进行控制和监控的种组态软件。目前很多组态软件都可以和构成组态监控系统，它非常方便而且易于运用，现在已经成为工业监控的大主流。它通常在平台上进行运用，对数据进行采集，以人类可以接受的形式，比如动画，灯的报警，对流程的控制多种的形式来反应工程的状态。本科毕业设计说明书论文第页共页操作起来灵活的界面，在自动领域有很广泛的应用，它主要为用户解决实际工程上的问题。的主要组成主要由主控窗口用户窗口设备窗口实时数据库和运行策略这五部分组成。具体结构如下图所示图组态软件组成主控窗口主控窗口是个框架，他可以放置个或多个窗口，主要用于调度和管理这些窗口。主控窗口它可以用于工业中的工程的制定，编制工程的主要菜单，设计封面，确定启动窗口，同时可以设定动画的有关参数，保存文件名称数据库更改。设备窗口设备窗口主要用来连接外部设备的环境。它主要用于放置不同类型的设备构件，实现对外部设备的操作。设备窗口具有唯性，套系统只有唯的窗口。设备在运行的时候，设备窗口可以用来控制整个流程的运动。用户窗口用户窗口顾名思义就是与用户进行沟通的界面，用户可以直接进行使用，同时用户也可以自我定义其中的控制内容，方便自己使用，如些图元和动画构件，还有整套的设计模块，用户可以直接使用。通过这些构建，可以有效地将其它窗口进行关联设定，达到可视化的效果。实时数据库本科毕业设计说明书论文第页共页实时数据库是数据交换的中心，它是的核心部分。它起到了桥梁连接的作用，将组态之间的结构连接成了个整体。这个窗口主要用来存放不同类型的变量，将数据采集处理输出控制动画连接及设备驱动作为操作对象。运行策略运行策略主要是对工程运行状态的有效的定义和控制，实现流程控制的效果。通过对脚本程序和些定时程序的设定可以达到对机械手的控制。运行策略作为系统的个重要的框架，它能够使系统的结构按照所设定的时间顺序执行程序，使得机械手能够进行有效地操作，对些构件进行基本的定义和策略的构造，它能够控制些工作窗口的开关状态，这样就可以实现对些外部设备的测量和控制。创建孙同景，徐德编著可编程序控制器应用基础济南山东科学技术出版社，李允文工业机械手设计北京机械工业出版社,张建民工业机器人北京北京理工大学出版社,常晓玲电气控制系统与可编程控制器机械工业出版社，常建生检测与转换技术机械工业出版社，贾德胜应用开发实用子程序人民邮电大学出版社,刘建华三菱系列应用技术机械工业出版社，俞国亮原理与应用清华大学出版社，王希敏工业机械手发展途径机械工业出版社邓重接近开关原理及其应用机械工业出版社陈建明电气控制与应用第二版北京电子工业出版社，廖常初编程及应用第三版北京机械工业出版社张宏林应用开发技术与工程实践第版北京人民邮电出版社吴振顺气压传动与控制哈尔滨哈尔滨工业大学出版社，郑洪生气压传动及控制北京机械工业出版社，夏银桥传感器技术及应用武汉华中科技大学出版社，周润景传感器与检测技术北京机械工业出版社，林明星电气控制及可编程控制器北京机械工业出版社，袁秀英石梅香计算机监控系统的设计与调试组态控制技术第二版电子工业出版社，覃贵礼组态软件控制技术北京北京理工大学出版社，本科毕业设计说明书论文第页共页附件手动下移垂直移动量垂直移动量上移垂直移动量垂直移动量右移水平移动量水平移动量左移水平移动量水平移动量启动复位手动定时器复位定时器启动启动定时器启动复位计时时间定时器启动启动夹紧本科毕业设计说明书论文第页共页定时器启动手动下移垂直移动量垂直移动量上移垂直移动量垂直移动量右移水平移动量水平移动量左移水平移动量水平移动量计时时间左摆计时时间左摆右移计时时间右移下移计时时间下移本科毕业设计说明书论文第页共页夹紧工件夹紧标志计时时间夹紧上移夹紧计时时间上移左移夹紧计时时间左移右摆夹紧计时时间右摆右移计时时间右移下移本科毕业设计说明书论文第页共页计时时间左移定时器复位垂直移动量水平移动量左移放松夹紧本科毕业设计说明书论文第页共页定时器启动下移上移左移右移夹紧操作界面创建工程过程般是如下首先对工程系统进行分析对工程结构进行构建对系统进行菜单的设计制作动画的显示界面编写定的控制程序对编写的程序进行有效的调试最后连接外部设备进行综合的试。均少子寿命有了明显的提高，说明经钝化后，钝化效果有了明显的改善。富硅的。哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从平均寿命分布图可以看出，样品的最高寿命可达微秒，说明局部的钝化效果有了很大的提高，但是平均少子寿命只有微秒，较样品的平均少子寿命提高不大，说明总体的钝化效果并没有得到大的改善，种材料总体的钝化效果相差不是很大，但是与样品的钝化效果相比，还是有了很大的提高哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的少子平均寿命图可以看出，样品的寿命分布从微秒到微秒，深色区域明显增多，平均寿命较,样品的平均寿命体提高并不是很大，但是大体的钝化效果有了很大改善，最低区域的少子寿命已能提高到微秒。了富硅的。哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从的平均寿命分布图可以看出，虽然相比较前面的个型号样品的，平均寿命并没有很大的改善，但是最大寿命可以达到微秒，平均少子寿命也能达到微秒，说明，此样品的钝化效果已经达到了较好的水平哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的平均寿命分布图可以看出，此种钝化材料所能达到的钝化效果已经相当好，其平均少子寿命可以达到微秒，最低最高少子寿命分别为微秒和微秒，钝化效果较前面的个型号的样品有较大的提高，而且颜色变化不是很大，较均。了疏松的。哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的平均寿命分布图可以看到，其少子的平均寿命已经达到了微秒，最低少子寿命已经提高至微秒，已经超过了前面几个样品的最高寿命，钝化效果为所测试的样品中最好的，而且颜色基本均，没有大的变化。多晶硅薄膜钝化样品寿命测试的分析如图为不同钝化材料少子平均寿命的对比分析图，从图中可以看出，其中，以二氧化硅和氮化硅复合钝化膜的效果最佳，二氧化硅单层膜次之，在单层钝化薄膜中，二氧化硅的钝化效果好于聚酰亚胺，氮化硅相对较差。综合测试，可知，在多晶硅上淀积氮化硅或二氧化硅或聚酰亚胺可以明显提高多晶硅纳米薄膜的平均少子寿命，从而减低多晶硅的表面复合速率，以提高多晶硅薄膜的钝化效果，延长多晶硅材料的使用寿命，提高器件工作的稳定性。哈尔滨工业大学工程硕士学位论文本章小结采用原子力显微镜对多晶硅纳米膜的表面形貌进行表征，给出了多晶硅纳米膜形貌图采用微波光电导衰减仪测试了不同钝化材料的多晶硅样品的少子寿命，发现二氧化硅和氮化硅复合制备的多晶硅样品的钝化效果最好，其少子平均寿命可达微秒，单层钝化样品中，二氧化硅的钝化效果最好，氮化硅和聚酰亚胺的效果较二氧化硅要差。哈尔滨工业大学工程硕士学位论文结论课题在分析多晶硅表层钝化理论的基础上，对多晶硅薄膜的钝化种类和测量方法进行分析和比较，制作出多晶硅纳米膜表层钝化样品，并对在不同类型的表层钝化样品进行了分析和比较。通过研究得出如下结论选择在硅片正面淀积多晶硅纳米薄膜，厚度为，采用对多晶硅纳米膜进行表征，纳米膜的晶粒大小均匀表面平整度良好。多晶硅薄膜的钝化种类和测量方法进行分析和对比，分析表明对于薄膜材料来说采用低压化学气相淀积法和等离子体气相沉积法来制作含有二氧化硅，氮化硅和聚酰亚胺树脂测功能。本科毕业设计说明书论文第页共页顺序功能图的设计严格按照定的先后顺序才能保证系统运行时的准确性。在设计中，考虑到不可预料的情况下，有时非要采用手动控制操作，我们可以通过定的编程来实现手动控制的方式。自动控制为主要系统设计方式，其控制流程图如下图所示图顺序流程图程序功能图自动控制程序上电，机械手复位，机械手右摆，水平气缸缩回，垂直气缸上升当按下，当极限开关启动时，检测元件检测到工件时，置位辅助继电器，机械手左摆当按下时，置位辅助继电器，水平气缸伸出本科毕业设计说明书论文第页共页当极限开关启动时，置位辅助继电器，垂直气缸下降当极限开关启动时，置位辅助继电器，气爪夹紧，启动定时器当计时时间到，置位辅助继电器，垂直气缸上升当极限开关启动时，置位辅助继电器，水平气缸缩回当极限开关启动时，置位辅助继电器，摆动气缸右摆当极限开关启动时，置位辅助继电器，水平气缸伸出当极限开关启动时，置位辅助继电器，垂直气缸下降本科毕业设计说明书论文第页共页当极限开关启动时，置位辅助继电器，气爪夹紧，定时器启动计时器启动，置位辅助继电器，垂直气缸上升当极限开关启动时，置位辅助继电器，水平气缸缩回当按下手动控制按钮时，置位辅助继电器，使系统复位当极限开关启动时，置位辅助继电器，循环操作当按下时，置位辅助继电器，使系统复位本科毕业设计说明书论文第页共页本科毕业设计说明书论文第页共页考虑到在执行过程中，机械手会出现故障或者不可预料的情况时，通常加入手动操作，按照其动作的过程，可以设计相应的手动控制结构，手动控制方式可以对机械手进行水平，垂直，摆动和气爪的控制。手动控制程序按下即气缸左摆按下即气缸右摆按下水平气缸伸出按下水平气缸缩回按下垂直气缸下降按下垂直气缸上升本科毕业设计说明书论文第页共页按下气爪夹紧按下气爪放松组态设计概述是种用于对构件运行状态进行控制和监控的种组态软件。目前很多组态软件都可以和构成组态监控系统，它非常方便而且易于运用，现在已经成为工业监控的大主流。它通常在平台上进行运用，对数据进行采集，以人类可以接受的形式，比如动画，灯的报警，对流程的控制多种的形式来反应工程的状态。本科毕业设计说明书论文第页共页操作起来灵活的界面，在自动领域有很广泛的应用，它主要为用户解决实际工程上的问题。的主要组成主要由主控窗口用户窗口设备窗口实时数据库和运行策略这五部分组成。具体结构如下图所示图组态软件组成主控窗口主控窗口是个框架，他可以放置个或多个窗口，主要用于调度和管理这些窗口。主控窗口它可以用于工业中的工程的制定，编制工程的主要菜单，设计封面，确定启动窗口，同时可以设定动画的有关参数，保存文件名称数据库更改。设备窗口设备窗口主要用来连接外部设备的环境。它主要用于放置不同类型的设备构件，实现对外部设备的操作。设备窗口具有唯性，套系统只有唯的窗口。设备在运行的时候，设备窗口可以用来控制整个流程的运动。用户窗口用户窗口顾名思义就是与用户进行沟通的界面，用户可以直接进行使用，同时用户也可以自我定