1、“.....由于满足∞和的条件,因此中心中心为相对磁导率,取值为与的下降规律如下在查阅了大量文献资料后,磁铁材料选用,内磁铁截面尺寸,外磁条截面尺寸分别为,。传动装置的设计矩形平面移动溅射靶的设计由于该材料磁铁密度与接近,可近似的取其密度为本设计的传动装置是通过电机丝杠来带动阴极靶,丝杠的主要受力来自阴极靶带来的剪切力,扭力并没有太大影响,因此只需校核剪切应力强度即可。丝杠使用材料,安全系数为许用应力为保证安装方便以及阴极靶的运动能够覆盖到整个靶材表面,取丝杠长度为。同时,为保证安全,在丝杠的末端添加固定装置。由于所需功率要求不是很高,可以选择功率较小的电机,本人选择的是电容分相爪极式永磁可逆同步电机。真空室选泵的计算粗算主泵抽速初选系统极限工作压强,根据经验公式可知系统有效抽速为其中,为抽速,为真空室体积,式中,为真空室内径,为真空室的高计算可得粗选型分子泵抽速为极限真空流导计算矩形平面移动溅射靶的设计分子泵口径为,与真空室之间连接口径为的管道,管道总长度为,中间有个插板阀......”。
2、“.....确定气体沿管道的流动状态。真空室工作压力为时,分子泵入口压力很低,所以管口的压力可以忽略,管路中的平均压力,此时所以,管道中为分子流管道流导为插板阀的流导查表得所以,总流导精算主泵抽速考虑管道流导,主泵对真空室的有效抽速所得结果与初算时的抽速相差很小,所以选择的主泵符合要求。前级泵的计算分子泵的前级压力为,所以,根据第机械工业部制定的标准所推荐的前级泵选取型机械泵。流导的计算选取排气口管道为直径的管道,长约为,因为分子泵出口压力,机械泵进口压力要比低得多,计算管道中平均压力方应翠老师作为我的指导老师,她治学严谨,学识渊博,视野广阔,为我营造了种良好的学术氛围。置身其间,耳濡目染,潜移默化,使我不仅接受了全新的思想观念,树立了明确的学术目标,领会了基本的思考方式,掌握了通用的研究方法,而且还明白了许多待人接物与为人处世的道理。其严以律己宽以待人的崇高风范,朴实无华平易近人的人格魅力,与无微不至感人至深的人文关怀,令人如沐春风,倍感温馨。正是由于她在百忙之中多次审阅全文,对细节进行修改,并为本文的撰写提供了许多中肯而且宝贵的意见......”。
3、“.....由于移动靶方面的资料很少很少,所以在刚开始的设计过程中就遇到了巨大的阻碍,有时感觉不知道从何下手,在方老师的耐心教导下,我查阅了大量的资料,虽然没有关于移动靶的具体研究,但是参考了这些资料,激发了我自己的许多灵感。后来就各种想法进行更进步的思考,后来在每次讨论时,方老师就我自己的想法给出宝贵的意见,这为我后面设计的继续进行非常重要。在此特向方应翠老师致以衷心的谢意,向她无可挑剔的敬业精神严谨认真的治学态度深厚的专业修养和平易近人的待人方式表示深深的敬意,矩形平面移动溅射靶的设计参考文献达道安真空设计手册第版北京国防工业出版社,张以忱真空镀膜设备方应翠陈长琦矩形平面磁控溅射阴极的磁场模拟及结构设计,石中兵磁控溅射矩形靶磁场的优化设计,邢丽芬矩形平面靶磁场分析及薄膜厚度模拟真空获得设备真空镀膜技术此时所以,管道中为粘滞流。流导前级泵抽速的粗算主泵名义抽速为时的最大工作压强大主泵出口的最大排气压强反主泵的最大排气量大前级泵抽速矩形平面移动溅射靶的设计反前级泵抽速的粗算反所得结果与粗算中相差很少,所以说明所选的前级泵符合要求......”。
4、“.....故高真空抽气时间矩形平面移动溅射靶的设计结论本文设计的矩形平面移动溅射靶在定程度上解决了靶材利用率低的问题。可以将传统溅射过程中的靶材利用率提高至甚至更高,这在工业上具有重大的意义。虽然在以前已经有类似的思想,但是并没有在文献和实际生产过程中看到相关的实例,也希望本设计可以从新的角度为镀膜领域带来新的思维方向。不过在设计的过程中也还有些问题需要以后继续研究,进步提高靶材的利用率。由于在平时的学习中并没有将重点放在磁控溅射方面,磁控对于我而言完全是新的领域,在设计的过程中忽视了很多问题......”。
5、“.....优化磁场,使用异型磁铁来增加水平磁场强度。希望能进步研究出更简单可行的方法再次提高靶材利用率与膜层均匀性。矩形平面移动溅射靶的设计致谢在本文的撰写过程中室内热源的红外辐射又不能通过玻璃辐射出去,这在高纬度地区也可以达到保温节能的目的。真空镀膜技术及设备在当今和未来都拥有十分广阔的应用领域和发展前景特别是在制造大规模集成电路的电学膜数字式纵向与横向均可磁化的数据纪录储存膜在能充分展示和应用各种光学特性的光学膜在计算机显示用的感光膜在平面显示器上的导电膜和增透膜在建筑汽车行业上应用的玻璃镀膜和装饰膜在包装领域用防护膜阻隔膜在装饰材料上具有各种功能装饰效果的功能膜在工模具上应用的耐磨超硬膜在纳米材料研究方面的各种功能性薄膜等等都是在真空镀膜技术及设备在广泛应用的基础上得到的不断发展的领域。真空镀膜技术在国内外的发展状况公司的分流设计,它通过在靶和磁极之间放置矩形平面移动溅射靶的设计定形状的铁磁体垫片,使得靶面附近的磁场分布更加均匀,延长了靶的寿命,提高了靶材的利用率,并使得溅射过程更加的稳定。实验证明,增加了垫片以后沟槽的深度是以前的,靶材的利用率提高了同时......”。
6、“.....因此,在更换品牌时定要用待加入的产品清洗管路。加强封制动液的保管汽车制动液多为有机溶剂制成,易挥发易燃,因此要远离火源,注意防火防潮,尤其注意防止雨淋日晒吸水变质。经常长途驾驶的司机不免要随车带点制动液备用,但发现有不少司机随意装放制动液,甚至有的还不注意瓶盖的密封,这样久放的制动液会因水分的混入而性能降低,突出表现在拂点下降,这样在使用中容易产生气阻,影响制动力的正常传递,造成制动失灵。另外,当混入的水分不能完全被制动液溶解时,会沉到制动系统的底部或凹处,使金属产生腐蚀,引起轮缸漏液污损异常磨损,而且水分本身凝点高沸点低,低温时易结冰,高温时易气阻,造成制动故障。定期更换汽车制动液使用定时间后会因吸湿,化学变化等原因使性能指标降低,从而影响行车安全。因此使用中的制动液应定期更换。至于多长时间进行更换,目前尚无具体规定,般是在车检时需要更换总泵和分泵的活塞皮碗,同时将制动液更换。考虑到国产制动液大部分等级较低,建议视情况万或年时间应更换次。第五章汽车液压制动系的常见故障及排除方法制动失效踩下制动踏板,车辆不减速,连续几次制动也没有明显减速作用。踩下制动踏板实验......”。
7、“.....见车相应的部位若制动踏板与制动主缸无连接感,则制动踏板与制动主缸接松脱,应当检查修复若感觉很松,稍有阻力感,则硬件检测主缸储液罐内制动液是否充足,若缺少或不足,应当加至标准量若仍然没有阻力感,则应检查制动主缸制动轮缸的制动软管或金属管有无断裂漏油。若感到有定阻力,但是踏板位置保持不住,明显下沉,则应检查制动主缸的推杆防尘罩处是否有制动液泄露,如果漏油,说明制动主缸皮碗破裂,应当更换。若车轮制动鼓边缘有大量制动液泄露,则应见车制动鼓轮缸皮碗是否压翻破损,并进行更换。制动不足汽车制动时,踩下次制动不能减速停车,连续几次制动效果也不好。紧急制动时,制动距离过长。也是踩下制动踏板实验,根据脚下的感觉,检查相应的部位脚踩下制动踏板,踏板到底且无反力。连续几次都能踩到底,且阻力很小检查储液室液面高度是否符合忽左忽右跑偏现象应当检查前轮定位小衡量控制在之内。制动摩擦片表面太光滑摩擦系数小而制动压力大时,光滑的表面滑磨时便产生摩擦噪声,或在摩擦副之间塞进了异物挤压摩擦表面,由此也会出现摩擦噪音。维修时拆下制动鼓清除异物,并且粗砂纸打磨摩擦片,并使之配合副接触面积达以上即可。制动摩擦片严重磨损......”。
8、“.....制动时不能完全有效地和制动鼓贴合或制动支撑板变形破坏了鼓与片的同轴度,局部摩擦碰撞而出现噪声。维修时,更换摩擦片校正制动支撑板。前轮轴承损坏滚道和滚珠表面出现麻坑沟槽甚至碎裂,行驶中制动就会出现异响。更换前轮轴承,即可消除此噪音。制动拖滞引起的制动鼓发热制动间隙过小踏板自由行程过小,当放松制动踏板时,制动力没有完全解除,使得摩擦副长时间处于摩擦状态起步困难行驶无力用手抚摸轮鼓表面感到烫手。遇此情况应按规范重新调整制动间隙即可。制动手柄没完全放开,其原因调整不当或操作上的疏忽更用特斯拉计可测量磁极面中心处的值,由于满足∞和的条件,因此中心中心为相对磁导率,取值为与的下降规律如下在查阅了大量文献资料后,磁铁材料选用,内磁铁截面尺寸,外磁条截面尺寸分别为,。传动装置的设计矩形平面移动溅射靶的设计由于该材料磁铁密度与接近,可近似的取其密度为本设计的传动装置是通过电机丝杠来带动阴极靶,丝杠的主要受力来自阴极靶带来的剪切力,扭力并没有太大影响,因此只需校核剪切应力强度即可。丝杠使用材料......”。
9、“.....取丝杠长度为。同时,为保证安全,在丝杠的末端添加固定装置。由于所需功率要求不是很高,可以选择功率较小的电机,本人选择的是电容分相爪极式永磁可逆同步电机。真空室选泵的计算粗算主泵抽速初选系统极限工作压强,根据经验公式可知系统有效抽速为其中,为抽速,为真空室体积,式中,为真空室内径,为真空室的高计算可得粗选型分子泵抽速为极限真空流导计算矩形平面移动溅射靶的设计分子泵口径为,与真空室之间连接口径为的管道,管道总长度为,中间有个插板阀。总的流导为管道以及插板阀的串联流导。确定气体沿管道的流动状态。真空室工作压力为时,分子泵入口压力很低,所以管口的压力可以忽略,管路中的平均压力,此时所以,管道中为分子流管道流导为插板阀的流导查表得所以,总流导精算主泵抽速考虑管道流导,主泵对真空室的有效抽速所得结果与初算时的抽速相差很小,所以选择的主泵符合要求。前级泵的计算分子泵的前级压力为,所以,根据第机械工业部制定的标准所推荐的前级泵选取型机械泵。流导的计算选取排气口管道为直径的管道,长约为,因为分子泵出口压力......”。
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