水就近排放和综合治理。 土建 建筑 洗晶车间 变电站及动力设施位于期用地西北角与市政供电线路和厂区 负荷中心较近三个单晶厂房位于用地东北角与洗料厂房相临有 利于物料传输切片厂房及仓库位于用地西南角使用物料运输综 合楼等相关。 在期工程用地内设置个出入口分别位于用地的东侧淮南北 路和西侧规划道路上东侧入口为人员入口西侧入口为货物入口 与二期用地衔接。在厂房的四周设计的环形道路供消防和物 流使用。 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计 配套工程设计方案 总平面布置本项目亩规划用地采用次规划分期实施的原则建设。本 次期工程用地亩按控制程序拉制单晶。 单晶生长当硅熔体的温度稳定之后将籽晶慢慢浸入硅熔体中 然后将籽晶快速向上提升使长成的籽晶的直径缩小到定的大小 产生零位错的晶体这样长完细颈之后降低温度与拉速使得晶 体的直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后借着拉速与温 度的不断调整可使晶棒直径误差维持在正负之间这段直径固 定的部分称为等径部分单晶硅片取自于等径部分。等径结束后必 须将晶棒的直径慢慢缩小直到成尖点而与液面分开长完的晶 棒被升至上炉室冷却段时间后取出即完成了单晶硅棒的生长过程。 拆炉待炉温冷却后将炉内坩埚及余料取出。 断头尾目的是切除单晶硅棒的头部尾部及超出客户规格的部 分并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度。 测试取样测试氧碳含量及电阻率等。 圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角的圆弧滚磨光 滑。 超声波清洗将方棒清洗干净。 晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。线锯切片将工作台装到多线切片机上多线切片机进行切片 切片结束后从多线切片机卸下工作台。 硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。 硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。 样片测试测试合格包装入库。 产品目标市场 本项目产品全部内销。 主要设备选型 主要设备仪器选择 本项目的工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研 究发展的前提下选择性价比高的工艺设备。 主要设备和仪器 本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套共计万元 元。其中进口设备仪器台套进口费用万元国产设备仪 器台套费用万元。详细设备清单如下 表单晶硅片进口工艺设备仪器表 序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元 开方机 切片机 切片机 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪合计 表单晶硅片国产工艺设备仪器表 序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元 打磨机 硅料清槽 泡料槽 气相光普分析仪 单晶炉 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机 硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计 配套工程设计方案 总平面布置本项目亩规划用地采用次规划分期实施的原则建设。本 次期工程用地亩位于规划用地的东侧总建筑面积平 方米。 在期工程用地内设置个出入口分别位于用地的东侧淮南北 路和西侧规划道路上东侧入口为人员入口西侧入口为货物入口 与二期用地衔接。在厂房的四周设计的环形道路供消防和物 流使用。 变电站及动力设施位于期用地西北角与市政供电线路和厂区 负荷中心较近三个单晶厂房位于用地东北角与洗料厂房相临有 利于物料传输切片厂房及仓库位于用地西南角使用物料运输综 合楼等相关生活设施位于用地西南角与生产设施相对隔离废水处 理区位于期用地西北侧的二期用地内离主要废水排放点洗料厂 房和切片厂房较近便于废水就近排放和综合治理。 土建 建筑 洗晶车间栋 洗晶车间为单层钢筋混凝土框架结构建筑层高米。长