1、“.....因此工作台没有内部热源。工作台可在的工作范围内，以或更高的分辨率对物体定位。图压电驱动高精密工作台柔性铰链技术在移机构。最早，美国国家标准局开发了个微定位工作台并用于光掩模的线宽测量。为了能在光学和电子显微镜中更好地使用，要求工作台结构紧凑并能在压电驱动高精度工作台真空中工作。如图所示，工作台采用了压电因此纵向强度比图弱得多。需要垂直交叉和沿纵向轴高强度的双轴柔性铰链，可采用图的结构。图双轴柔性铰链柔性铰链国内外现状就现阶段的发展趋势......”。

2、“.....形成微位链组成的图，对于大部分应用，这种设计的缺点是图单轴柔性铰链两个轴没有交叉，具有交叉轴的最简单的双轴柔性铰链是把颈部作成圆杆状图，这种设计简单且加工容易，但它的截面面积比较小，是实现纳米运动的核心技术。柔性铰链的类型目前柔性铰链的类型主要有单轴柔性铰链，双轴柔性铰链两种单轴柔性铰链截面形状有圆形和矩形的两种，如图所示。图单轴柔性铰链双轴柔性铰链是由两个互成的单轴柔性铰的特点，常用来作为位移放大器，可将位移放大到数百微米......”。

3、“.....尤其在纳米技术领域中有着更好的应用前景，柔性铰链是实现纳米级微运动的关键技术，其运动位移的测量与控制势柔性铰链是近年来发展起来的种新型机械传动和支撑机构，用于绕轴作复杂运动的有限角位移。也可理解为利用其结构薄弱部分的弹性变形可实现类似普通铰链的运动传递。柔性铰链具有无摩擦无间隙运动灵活敏度高要求，人们在经过对各种类型的弹性支承的试验探索后，才逐步开发出体积很小，可做到无机械摩擦无间隙的柔性铰链，柔性铰链立即被广泛地用于陀螺仪加速度计精密天平等仪器仪表中......”。

4、“.....由于宇航和航空等技术发展的需要，对实现小范围内偏转的支承，不仅提出了高分辨率的要求，而且还对其尺寸和体积提出了微型化的要电陶瓷驱动器第章总结与展望总结展望参考文献致谢附录附录二第章绪论六十年代前后，由于宇航和航空等技术发展的需要，对实现小范围内偏转的支承，不仅提出了高分辨率的要求，而且还对其尺寸和体积提出了微型化的要求，人们在经过对各种类型的弹性支承的试验探索后......”。

5、“.....可做到无机械摩擦无间隙的柔性铰链，柔性铰链立即被广泛地用于陀螺仪加速度计精密天平等仪器仪表中。柔性铰链国内外现状和发展趋势柔性铰链是近年来发展起来的种新型机械传动和支撑机构，用于绕轴作复杂运动的有限角位移。也可理解为利用其结构薄弱部分的弹性变形可实现类似普通铰链的运动传递。年代前后，由于宇航和航空等技术发展的需要，对实现小范围内偏转的支承，不仅提出了高分辨率的要求......”。

6、“.....由于宇航和航空等技术发展的需要，对实现小范围内偏转的支承，不仅提出了高分辨率的要求，而且还对其尺寸和体积提出了微型化的要求，人们在经过对各种类型的弹性支承的试验探索后，才逐步开发出体积很小，可做到无机械摩擦无间隙的柔性铰链，柔性铰链立即被广泛地用于陀螺仪加速度计精密天平等仪器仪表中。柔性铰链国内外现状和发展趋势柔性铰链是近年来发展起来的种新型机械传动和支撑机构，用于绕轴作复杂运动的有限角位移......”。

7、“.....柔性铰链具有无摩擦无间隙运动灵活敏度高的特点，常用来作为位移放大器，可将位移放大到数百微米，极大地拓展了微位移驱动器的应用范围和应用领域。尤其在纳米技术领域中有着更好的应用前景，柔性铰链是实现纳米级微运动的关键技术，其运动位移的测量与控制是实现纳米运动的核心技术。柔性铰链的类型目前柔性铰链的类型主要有单轴柔性铰链，双轴柔性铰链两种单轴柔性铰链截面形状有圆形和矩形的两种，如图所示。图单轴柔性铰链双轴柔性铰链是由两个互成的单轴柔性铰链组成的图，对于大部分应用......”。

8、“.....具有交叉轴的最简单的双轴柔性铰链是把颈部作成圆杆状图，这种设计简单且加工容易，但它的截面面积比较小，因此纵向强度比图弱得多。需要垂直交叉和沿纵向轴高强度的双轴柔性铰链，可采用图的结构。图双轴柔性铰链柔性铰链国内外现状就现阶段的发展趋势，柔性铰链的应用主要是与压电致动相结合，形成微位移机构。最早，美国国家标准局开发了个微定位工作台并用于光掩模的线宽测量。为了能在光学和电子显微镜中更好地使用......”。

9、“.....如图所示，工作台采用了压电元件驱动，柔性铰链机构进行位移放大的方案。压电元件在低频工作时的能量耗散为零，因此工作台没有内部热源。工作台可在的工作范围内，以或更高的分辨率对物体定位。图压电驱动高精密工作台柔性铰链技术在精密联接工艺也有应用，如激光焊接中，需要较大运动范围结构紧凑高刚度垂直运动的微动台。如图所示运动的微动台，水平内置式压电块推动杆和杆，通，并用位数码显示管对测量值进行显示，再用键盘输入预定值。为了更好地减小误差，提高系统的控制精度......”。