测微仪测出该机构在垂直方向上的位移，所得数据如下表所示表中心高微调机构标定数据表格数微位移量格数微位移量格数微位移量二〇〇年六月十日星期四从表中可以看出，微调杆旋转小格时，最大的微位移量是，并且在垂直方向有的调整范围，可实现磨削加工时的砂轮的中心高微调。砂轮主轴的选择由之前的计算可知，砂轮主轴的转速大于，普通的三相异步电动机为磨头的磨床砂轮主轴转速为，所以需要选用高速电主轴作为砂轮主轴。高速精密主轴是种直接依赖于高速轴承技术油气润滑技术精密制造与装配技术电机设计与制造高速驱动与精密数控等技术的高度机电体化的高科技产品。在高速精密主轴系统中，主要有高速电主轴，高速气浮主轴，高速磁力主轴，磁气空气混合主轴等。本砂轮主轴的高速主轴所采用的为高速气浮主轴。气浮主轴主要是采用空气静压轴承作主轴的支承，采用变频电机驱动。气浮轴承采用全支承结构与国内传统的设计相比，能成倍地提高轴系的承载和刚度。如图所示，工作时，来自管道经过精密过滤的压缩空气进入壳体的通道，再流入轴承的节流小二〇〇年六月十日星期四孔。然后流经轴承与主轴之间的间隙，形成层压力气膜，将主轴浮起。启动电机驱动主轴，通过改变电源的频率，使主轴以不同的速度旋转。轴系回转精度受构成其运动的部件的几何精度装配精度和润滑介质性质的影响。取决于其间的运动基准的数目基准和动体或定体间的间隙或干涉，接触机构的特性以及固有摩擦力的大小等因素。不同摩擦机理的轴系具有不同的精度水平，在精度比较上，空气静压轴系占有较大的优势。图气压静压滑动轴承原理示意图运动基准少，精度传递增益大空气静压主轴不像滚动轴系那样存在有内环外环，滚动体等多个运动基准，而其只有个基准件回转主轴因而避免了多个基准间的几何形状误差积累与干涉，具有良好的精度传递增益。年六月十日星期四第章绪论非球曲面加工的意义和优点非球面技术应用于光二〇〇年六月十日星期四二〇〇年六月十日星期四目录摘要目录第章绪论非球面加工的优点和意义非球曲面研究概述非球面的定义非球面应用领域非球曲面加工技术近年来发展概况非球曲面加工的发展趋势和研究方向非球面光学零件材料及其加工方法计算机数控单点金刚石技术超精密磨削技术计算机控制光学表面成型技术光学玻璃模压成型技术光学塑料成型技术其他非球面加工技术非球面精密磨削加工理论微量加工理论脆性材料的延性域磨削第章超精密非球面加工方案选择及误差分析超精密非球曲面磨床的总体布局空气主轴系统伺服进给系统微位移测量系统中心高微调系统数控系统非球曲面磨削方案的确定加工零件的技术参数二〇〇年六月十日星期四非球曲面磨削方案确定加工误差分析中心高微调机构对零件加工精度的影响在轴上砂轮安装误差对零件加工精度的影响砂轮半径误差对零件加工精度的影响及综合作用时对零件面形精度的影响第章非球面磨削装置设计超精密加工的关键技术超精密主轴超精密导轨传动系统超精密刀具超精密加工其他技术传动系统设计磨削参数的计算导轨的整体设计传动参数的计算磨削系统设计系统结构设计中心高在研究过程中详细的分析了影响零件加工精度的各种主要因素并提出相应的控制措施，尤其是对非球曲面的磨削加工设备进行详细设计，并简要分析了非球曲面加工机床的数控及伺服控制系统等。关键词非球曲面超精密加工微调机构金刚石砂轮二〇〇年六月十日星期四二〇〇年六月十日星期四目录摘要目录第章绪论非球面加工的优点和意义非球曲面研究概述非球面的定义非球面应用领域非球曲面加工技术近年来发展概况非球曲面加工的发展趋势和研究方向非球面光学零件材料及其加工方法计算机数控单点金刚石技术超精密磨削技术计算机控制光学表面成型技术光学玻璃模压成型技术光学塑料成型技术其他非球面加工技术非球面精密磨削加工理论微量加工理论脆性材料的延性域磨削第章超精密非球面加工方案选择及误差分析超精密非球曲面磨床的总体布局空气主轴系统伺服进给系统微位移测量系统中心高微调系统数控系统非球曲面磨削方案的确定加工零件的技术参数二〇〇年六月十日星期四非球曲面磨削方案确定加工误差分析中心高微调机构对零件加工精度的影响在轴上砂轮安装误差对零件加工精度的影响砂轮半径误差对零件加工精度的影响及综合作