1、“.....可能是我们面临的更困难的任务之。附录程序代码相关源程序如下显示内容,定义到代码段函数声明延时,函数名称入口参数型出口参数无功能描述短暂延时,使用晶体,约函数名称入口参数型出口参数无功能描述写数据到短暂延时,代替检测忙状态短暂延时,代替检测忙状态函数名称入口参数型出口参数无功能描述写命令到短暂延时,代替检测忙状态短暂延时......”。
2、“.....型出口参数无功能描述设置光标位置,是列号,是行号函数名称如目前常见的溅射型应变计,是采用溅射技术直接在应变体即产生应变的柱梁振动片等弹性体上形成的。这种应变计厚度很薄,大约为传统的箔式应变计的十分之以下,故又称薄膜应变计。溅射型应变计的主要后的发展趋势,这主要是由于近年来薄膜工艺发展迅速,除采用真空淀积高频溅射外......”。
3、“.....这些对传感器的发展起了很刻蚀化学气体淀积外延扩散腐蚀光刻等,迄今已有大量采用上述工艺制成的传感器的国内外报道。以应变式传感器为例。应变片可分为体型应变片金属箔式应变片扩散型应变片和薄膜应变片,而薄膜应变片则是今微细加工技术。该技术又称微机械加工技术,是近年来随着集成电路工艺发展起来的,它是离子束电子束分子束激光束和化学刻蚀等用于微电子加工的技术,目前已越来越多地用于传感器领域......”。
4、“.....不仅取决于专业的技术水平材料的使用,还取决于工艺等很多方面。对于新型工艺的使用在发展新型传感器中,离不开新工艺的采用。新工艺的含义范围很广,这里主要指与发展新兴传感器联系特别密切的间老化温度老化机械老化及交流稳磁处理,电气元件的老化筛选等。在使用传感器时,若测量要求较高,必要时也应对附加的调整元件,后续电路的关键元器件进行老化处理......”。
5、“.....构成传感器的各种材料与元器件性能将发生变化。为了提高传感器性能的稳定性,应该对材料元器件或传感器整体进行必要的稳定性处理。如结构材料的时效处理冰冷处理永磁材料的时干扰信号进行分离或抑制,减小其影响。稳定性处理传感器作为长期测量或反复使用的器件,其稳定性显得特别重要,其重要性甚至胜过精度指标,尤其是对那些很难或无法定期鉴定的场合。造成传感器性能不稳定的原因是实际作用的烈度。对于电磁干扰......”。
6、“.....也可用滤波等方法抑制。对于如温度湿度机械振动气压声压辐射甚至气流等,可采用相应的隔离措施,如隔热密封隔振等,或者在变换成为电量后对种外界因素要影响传感器的精度与各有关性能的。不少传感器由于采用了差动技术,还可使灵敏度增大。平均技术在传感器中普遍采用平均技术可产生平均效应,其原理是利用若干个传感单元同时感受被测量,其输出则是这些单元输出的平均值,若将每个单元可能带来的误差均可看作随机误差且服从正态分布......”。
7、“.....总的误差将减小。可见,在传感器中利用平均技术不仅可使传感器误差减小,且可增大信号量,即增大传感器灵敏度。光栅磁栅容栅感应同步器等传感器,由于其本身的工作原理决定有多个传感单元参与工作,可取得明显的误差平均效应的效果。这也是这类传感器固有的优点。另外,误差平均效应对些工艺性缺陷造成的误差同样起到弥补作用。在懂得这种道理之后,设计时在结构允许情况下,适当增多传感单元数,可收到很好的效果......”。
8、“.....若让全部栅线都同时参与工作,设计成全接收形式,误差平均效应就可较充分地发挥出来。补偿与修正技术补偿与修正技术在传感器中得到了广泛的应用。这种技术的运用大致是针对下列两种情况。种是针对传感器本身特性的,另种是针对传感器的工作条件或外界环境的。对于传感器特性,可以找出误差的变化规律,或者测出其大小和方向,采用适当的方法加以补偿或修正。针对传感器工作条件或外界环境进行误差补偿,也是提高传感器精度的有力技术措施......”。
9、“.....由于温度变化引起的误差十分可观。为了解决这个问题,必要时可以控制温度,搞恒温装置,但往往费用太高,或使用现场不允许。而在传感器内引入温度误差补偿又常常是可行的。这时应找出温度对测量值影响的规律,然后引入温度补偿措施。在激光式传感器中,常常把激光波长作为标准尺度,而波长受温度气压温度的影响,在精度要求较高的情况下,就需要根据这些外界环境情况进行误差修正才能满足要求。补偿与修正......”。
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