用。 人员培训费包括生产人员及管理人员的培训费及提前进厂费。 土地购置费本项目购置土地亩，按照万元亩，共 万元。 设备调试及试运转费按照工艺设备费计算。 预备费 基本预备费按工程费用及其它工程费用的计算。 建设期利息 本项目建设投资申请银行贷款万元，银行贷款利率按 计算。根据方法与参数从建设起点算起借款当年按半年计息，建 设期利息共计万元。 流动资金估算 流动资金详细法计算，根据本项目情况及规模，铺底流动资金按 达产年平均流动资金的计，为万元。 总投资估算结果 本项目总投资为万元，详见总投资估算表。 表总投资估算表 序号项目名称估算投资万元占投资比例 建筑工程费 设备购置费 设备安装费 工具器具费 工程建设其它费用 预备费用 建设期利息 铺底流动资金 合计 资金筹措 固定资产投资投资筹措 本项目固定资产投资万元，其中公司现金出资 万元含流动资金出资部分，公司现金出资万元，承建公司 贷款万元，贷款利率为，其余资金由公司自筹。 流动资金筹措 本项目流动资金万元其中铺底流动资金万元，流动 资金贷款，贷款利率为，其余由公司自筹。 产品及技术方案 本项目主要考虑高性能的单晶硅生产工艺，最终产品为单晶硅。 单晶硅用于制造太阳电池片生产用的硅片。 技术来源 本项目生产技术为公司自有技术。 生产工艺 图单晶硅棒生产工艺流程图 图单晶硅片生产工艺流程图 工艺简介 选料 清洗 测试 断头尾 拆炉 拉晶 配料 装炉 入库 硅棒准备 圆棒切方 硅片清洗烘干 硅片脱胶取样 线锯切片 晶棒粘接 滚磨 准方棒腐蚀或超声清洗 成品测试入库 选料将多晶硅头尾料埚底料按类分选。 清洗用氢氟酸硝酸或中性清洗液等除去原料表面的杂质。 配料根据拉单晶的电阻率要求，按重量比例配置原料。 装炉将配好的原料装入炉内抽真空和充氩气。 拉晶加温将原料溶化，按控制程序拉制单晶。 单晶生长当硅熔体的温度稳定之后，将籽晶慢慢浸入硅熔体中， 然后将籽晶快速向上提升，使长成的籽晶的直径缩小到定的大小， 产生零位错的晶体，这样，长完细颈之后，降低温度与拉速，使得晶 体的直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后，借着拉速与温 度的不断调整，可使晶棒直径误差维持在正负之间，这段直径固 定的部分称为等径部分，单晶硅片取自于等径部分。等径结束后，必 须将晶棒的直径慢慢缩小，直到成尖点，而与液面分开，长完的晶 棒被升至上炉室冷却段时间后取出，即完成了单晶硅棒的生长过程。 拆炉待炉温冷却后，将炉内坩埚及余料取出。 断头尾目的是切除单晶硅棒的头部尾部及超出客户规格的部 分，并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度。 测试取样测试氧碳含量及电阻率等。 圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角的圆弧滚磨光 滑。 超声波清洗将方棒清洗干净。 晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。 线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切片， 切片结束后，从多线切片机卸下工作台。 硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。 硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。 样片测试测试合格，包装入库。 产品目标市场 本项目产品全部内销。 主要设备选型 主要设备仪器选择 本项目的工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研 究发展的前提下，选择性价比高的工艺设备。 主要设备和仪器 本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套，共计万元 元。其中进口设备仪器台套，进口费用万元国产设备仪 器台套，费用万元。详细设备清单如下 表单晶硅片进口工艺设备仪器表 序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元 开方机 切片机 切片机 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 主要废水排放点洗料厂 房和切片厂房较近，便于废水就近排放和综合治理。 土建 建筑 洗晶车间栋 洗晶车间为单层钢筋混凝土框架结构建筑，层高米。长， 宽。 单晶厂房栋 单晶厂房均为二层钢筋砼框架结构，钢筋混凝土屋顶，层层高 米，二层米建筑火灾危险类别为丁类层主要为单晶炉下半 部分以及变压器泵等，建筑面积为主生 产区层为单晶炉炉体放置区，二楼为单晶炉上半部分操作区。除生 产区外，还布置有生产管理更衣，以及生产配套的空调机房车间 变配电等。另外，车间还考虑有般物品库，包括暂存间物料入口 等，以利于物料的传输暂存。 切片厂房及仓库栋 切片厂房及仓库为单层钢结构厂房，层高米建筑火灾危险类 别为戊类，建筑面积为主生产区放置开方 切片清洗等生产设备。除生产区外，还布置有生产管理更衣，以 及生产配套的空调机房车间变配电等。另外，车间还考虑有般物 品库，包括暂存间物料入口等，以利于物料的传输暂存。 动力厂房 动力厂房为单层钢筋砼框架结构，钢筋混凝土屋顶，层高米 建筑火灾危险类别为戊类主要包括变电站冷冻机空压机等纯 水站控制室和值班室等，建筑面积为。 办公综合楼 办公综合楼为六层，总建筑面积。 其它 其它辅助建筑如氩气罐高压变电站甲类库化学品库废 水处理设施等。 建筑服务系统 空调及采暖系统 单晶厂房生产区硅料处理车间切片厂房综合楼各建筑的 辅助办公室等区域设置空调，温湿度要求为，系统采用新 风机组诱导风机使气流均匀。 通风排烟系统 单晶厂房部分辅助房间硅料处理车间等设置全室通风，通风方 式为机械进风变配电站泵房空压冷冻站设置全室通风，根据 房间不同的风量设置相应的通风机各建筑的辅助办公室等设置卫生 通风，满足卫生要求卫生间设全室通风，各主要生产区设置局部通 风系统。 冷冻水系统 在动力厂房内设置低温水冷离心式冷冻机组，使用 冷媒为空调系统冷却水系统等设施提供冷源。 蒸汽及空调热水系统 本项目蒸汽主要为空调系统纯水系统等提供热源。 自来水系统 生活用水人升人天 生产用自来水 纯水站补水 冷却水补水 洗涤塔补水采用纯水站浓缩水，不消耗自来水 消耗量 最大使用量约 新鲜水年消耗量约万 水源与水池 本项目水源来自开发区市政给水管网。场区内设置生产消防水池 和冷却水池，供消防及生产使用。生活水水源直接取自开发区市政给 水管网。 消防系统 消防水量 消火栓给水系统 室内外消火栓给水采用的临时高压系统，由消防蓄水池电 消火栓加压电泵高位消防水箱消火栓管网和室内外消火栓组成。 消防蓄水池采用地下式钢筋混凝土水池消火栓泵采用消防专用泵， 为自灌式吸水。除消防水箱设在最高处屋面上，其余设备均设于地下 水泵房内。 平时室内外消火栓给水管网的压力由消防水箱保证，消火栓泵可 以就地启停，也可在消防控制中心手动启停，同时室内消火栓泵可由 室内消火栓箱内按钮远距离启动，消防时主泵启动前的室内消防用水 由消防水箱保证。 火栓泵组两路出水至室外环状消防管路，环网上均匀设置室外消 火栓。设置室内消火栓的各建筑物均从该环状管路上引两路接至其室 内环状消防管路。 灭火器配置 根据建筑灭火器配置设计规范的规定，本工程灭火器配置场 所危险等级为中危险级，可能的火灾种类为类类和带电火灾， 采用磷铵干粉灭火器。 工艺服务系统 工艺设备冷却水系统 工艺设备冷却水供给生产设备冷却用，流量，单晶炉进 水温度，切片机进水温度和。 系统补充水水质为反渗透水，工艺设备冷却水 系统采用板式水水换热器，水泵为变频水泵。 压缩空气系统 干燥压缩空气供给生产设备部分动力系统使用。项目消耗量 ，使用点压力，压力露点，微粒 。 经过滤器过滤后的空气经空压机压缩后进入储气罐，再经预过滤 器无热再生干燥器干燥后进入终端过滤器，干燥净化后的压缩空气 经主配管送至生产厂房分配系统。 空压站设置在动力厂房内。 氩气系统 单晶炉使用氩气作保护气，最大量，平时用量。 氩气贮罐设在生产厂房动力区附近的室外空地。 液氩低温槽车到接卸区后，接通贮罐与槽车的汽液相管，利用槽 车的自身压力将低温液氩卸至贮罐。液氩为低温贮存，液氩低温贮罐 为真空绝热容器。使用时，利用贮罐的压力将液氩送入气化器自然气 化，再经减压阀组减压至后，通过氩气总管输送至主机房。然 后分别通过各支管，经二级减压至后，接至各单晶炉。 纯水系统 生产中多晶硅料的清洗硅片的清洗，生产工具器具石英制 品清洗等使用纯水。纯水用量为。 纯水系统分成前处理和后处理两部分，均设置在动力厂房内。 前处理部分首先由纯水原水泵从生产消防合用贮水池取水，加 压送至纯水站，经机械过滤活性碳过滤等预处理后，由热交换器换 热至，再经过过滤器过滤，进入二级装置，制成 纯水，进入初级纯水箱。水同时作为工艺冷却水和机械冷冻水的补 充水，浓缩水作为洗涤塔用水。 后处理部分由纯水加压泵从初级纯水箱取水，经杀菌脱气离 子交换进入终端纯水箱，最终由纯水输送泵经杀菌热交换器混床 超滤送至用户，循环回水再回至终端纯水箱。 工艺排风系统 目录 第章申报单位及项目概况 项目申报单位概况 投资估算及投资规模 主要数据和技术经济指标 第二章战略规划产业政策及行业准入 拟建项目与相关规划的关系 拟建项目与相关产业政策的关系 拟建项目与相关行业准入标准