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水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性方案 水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性方案

格式:word 上传:2022-06-24 16:42:45

《水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性方案》修改意见稿

1、以下这些语句存在若干问题,包括语法错误、标点使用不当、语句不通畅及信息不完整——“.....国际上单晶生产以日本住友电工公司为主,其产量约占全世界产量年为,所提供晶片以,为主。,水平砷化镓单晶近年来大量用于红外和高亮度,是目前生产量和需求量最大增长率最快化合物半导体器件之。但是由于国内目前还没有生产该产品企业,使国内企业对该产品需求主要依赖进口,造成大量资金流向国外。本项目产品研发工作正是在这背景下提出并开展。技术开发状况水平砷化镓单晶材料产业化年被原国家计委批复为国家高技术产业化示范工程项目,并于年通过中国有色金属工业协会组织科技成果鉴定,鉴定结果为该项目技术产品质量达到了国际先进水平。本项目产品目前关键技术已经突破,并开始批量生产,产品已成功进入国内外市场。下步工作中,企业计划在进步综合优化现有工艺技术基础上,使单晶成品率由现在增加到。。使单晶成品率由现在增加到。以进步提高产品性价比从而增强其竞争力。现有产业规模本产品年通过鉴定后开始进行小规模生产,年该产品销售收入达到万元,年产品销售收入达到万元,预计年销售收入可达到万元......”

2、以下这些语句存在多处问题,具体涉及到语法误用、标点符号运用不当、句子表达不流畅以及信息表述不全面——“.....项目产品主要用途性能本项目产品近年来大量用于红外波长和高亮度即高亮度红橙黄色,是目前生产量和需求量最大增长率最快化合物半导体器件之。主要技术与性能指标如下型掺晶片直径。型掺晶片直径。投资必要性本项目产品近年来大量用于红外和高亮度,市场前景非常广。但是目前国内还没有家进行该项目产品研发生产企业,国内企业对该产品需求主要依赖进口,而进口产品价格昂贵,造成生产成本提高。为缓解这种局面,本公司在原有产品基础上,组织研发人员进控制又协调配合形成所需温度分布,也要经过反复实验研究不断优化。经过几年开发,本项目单位已在国内独家掌握了该项技术,该项技术达到世界先进水平。关键技术先进性本项目产品年月通过了中国有色金属工业协会组织科技成果鉴定,鉴定结论为该项目利用本单位独创石英舟预处理技术生长系统设计和制造技术,固液界面特种加热炉设计和制造技术,研究开发了本项目产品生长工艺技术和晶片加工工艺技术。通过提高单晶单炉产量和成品率,提高晶片加工成品率......”

3、以下这些语句在语言表达上出现了多方面的问题,包括语法错误、标点符号使用不规范、句子结构不够流畅,以及内容阐述不够详尽和全面——“.....达到了预期目标。该项目技术达到国际先进水平,产品质量也达到国际先进水平,同类商品国际市场占有率接近。该产品与日本住友电工相比,各项技术指标均达到或高于其产品。产品技术性能水平与国内外同类产品比较单晶产品产品形式有单晶锭和单晶片两种,主要有型掺单晶和型掺单晶两种,主要用于包括红外和高亮度象。这为本项目顺利实施提供了制度上保障。第二章技术可行性分析项目技术路线工艺设备合理性和成熟性关键技术先进性项目技术路线多晶合成单晶生长晶体加工工艺流程为装管脱氧封管多晶合成约小时多晶清洁处理封管余掺杂剂放籽晶装入单晶炉单晶生长天熔料接籽晶走车生长单晶降温出炉晶体测试工艺及设备合理性和成熟性自行设计单晶生长系统本项目研发生产采用自行设计水平砷化镓单晶生长系统,该生长系统在国际上未见成型产品,本项目单位根据多年工艺技术积累,选用精密温控仪表欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组合,可保证在长达天单晶生长过程中温控精度,炉体移动速度最低时小时爬行不大于......”

4、以下这些语句该文档存在较明显的语言表达瑕疵,包括语法错误、标点符号使用不规范,句子结构不够顺畅,以及信息传达不充分,需要综合性的修订与完善——“.....石英舟预处理技术单晶生长是在密封于石英反应管中石英舟中进行,因此首先要解决是石英舟与熔体粘舟问题。只有不粘舟才能保证单晶生长顺利,不出多晶孪晶。生长完成后,晶体易从舟中取出脱舟良好且生长晶体完整性好符合产品技术指标。这个问题曾是困扰单晶生长个较严重问题。很多单位曾试用过石英舟表面涂碳,碳舟虽可避免粘接问题,但碳易大量掺入晶体成为有害杂质,从而使晶体报废。本项目承担单位国瑞公司经多年研究实践找到了解决粘接问题良好方法,成为本公司项独特专有技术石英舟预处理技术,该项技术主要是在适当溶剂中进行热处理,它可保证在长达天单晶连续生长中,熔体与舟不粘接,单晶生长完成后,单晶顺利脱舟。纵向温度分布技术通过中高温热场合理配置,提高晶片纵向均匀性,有利于提高成品率。本项目所设计水平单晶炉是种多段式两温区炉,只有热场配置合理即温度梯度合适才有可能生长出合格单晶......”

5、以下这些语句存在多种问题,包括语法错误、不规范的标点符号使用、句子结构不够清晰流畅,以及信息传达不够完整详尽——“.....设计出了合理热场,优化了温度分布,为提高单晶生长成品率实现该工艺产业化创造了又个有利条件。本项目中,单晶生长采用两步法,即先合成多晶然后再次备料生长单晶,备好多晶放入两温区多段加热炉中生长单晶谓之无砷端生长技术。两温区炉高温区温度为。中温区为。这种加热结构既得到所需温度分布,又可抑制生长过程中污染。污染是由于舟石英管都是石英即材料易于使并入熔体和单晶中。抑制污染机理是在合成和晶体生长中,高温区发生熔体中与石英反应分别表示液固气相。反应使进入,反应使部分与反应生成气相逸出,二者差值,造成中并入。高温区气相扩散到中温区发生如下反应反应消耗了,使反应向右继续进行,加剧了向中并入。反应与温度关系密切,如将温度升到以上,反应基本停止,从而可抑制反应向右方进行故将该温区温度维持在以上。我们对多段炉设计,各段炉温单独控制及其协调配合控制也进行了反复实验研究并不断进行了优化,对提高单晶生长成品率发挥了重要作用......”

6、以下这些语句存在多方面的问题亟需改进,具体而言:标点符号运用不当,句子结构条理性不足导致流畅度欠佳,存在语法误用情况,且在内容表述上缺乏完整性。——“.....正常传递密切相关,结晶速度控制不当,会严重干扰内加热炉所形成温度分布,进而影响单晶正常生长,本项目在对热场配置进行优化时,兼顾了采用合适结晶速度这重要参数。固液界面特种加热炉可很好调整固液界面形状,这对生长不同晶向晶体降低位错密度,提高成品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状控制是提高成品率关键技术。在水平单晶生长过程中,无法完全按器件制造所要求晶向生长,即晶体生长方向与晶片晶向有定夹角,这导致了水平单晶切片,般都要斜切因而切片技术难度较大,为使所切晶片上电学参数尤其是载流子浓度均匀分布,固液界面也必须与生长方向成定角度。因为杂质主要是掺杂剂分凝是以固液界面为界线,如果分别表示液固气相。反应使进入,反应使部分与反应生成气相逸出,二者差值,造成中并入。高温区气相扩散到中温区发生如下反应反应消耗了,使反应向右继续进行,加剧了向中并入。反应与温度关系密切,如将温度升到以上,反应基本停止......”

7、以下这些语句存在标点错误、句法不清、语法失误和内容缺失等问题,需改进——“.....我们对多段炉设计,各段炉温单独控制及其协调配合控制也进行了反复实验研究并不断进行了优化,对提高单晶生长成品率发挥了重要作用。单晶生长速度有时也称为结晶速度本工艺中视为石英反应管相对于加热炉相对移动速度是另个重要技术参数因为熔体结晶快慢与结晶潜热产生,正常传递密切相关,结晶速度控制不当,会严重干扰内加热炉所形成温度分布,进而影响单晶正常生长,本项目在对热场配置进行优化时,兼顾了采用合适结晶速度这重要参数。固液界面特种加热炉可很好调整固液界面形状,这对生长不同晶向晶体降低位错密度,提高成品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状控制是提高成品率关键技术。在水平单晶生长过程中,无法完全按器件制造所要求晶向生长,即晶体生长方向与晶片晶向有定夹角,这导致了水平单晶切片,般都要斜切因而切片技术难度较大,为使所切晶片上电学参数尤其是载流子浓度均匀分布,固液界面也必须与生长方向成定角度......”

8、以下文段存在较多缺陷,具体而言:语法误用情况较多,标点符号使用不规范,影响文本断句理解;句子结构与表达缺乏流畅性,阅读体验受影响——“.....目前该产品技术已基本成熟,关键问题已经解决,产品于年月通过了中国有色金属工业协会组织科技成果鉴定,鉴定结果为该项目技术产品质量均达到国际先进水平,同类商品国际市场占有率接近。随着在各个应用领域用量大幅度增长,本项目产品市场越来越广阔。为进步满足不断增长国内外市场对该产品需求,本企业计划投资扩大生产规模,增加产量,提高市场占有率,实现产品产业化。预期经济效益本项目年达产,达产期年销售收入万元,年净利润万元,上缴利税万元,利税率达到。本企业实施该项目优势技术优势项目承担单位国瑞公司前身是北京有色金属研究总院化合物半导体材料研究室,从年就开始水平单晶研究,已有多年研究开发经验,拥有支由该领域知名专家教授及长期从事该项目研究高工组成研发队伍,这支队伍对该项目产品拥有绝对技术优势。该项目技术路线设计合理,关键技术已经突破,其余技术完全能够实现,项目产品目前已通过权威部门检测和鉴定......”

9、以下这些语句存在多方面瑕疵,具体表现在:语法结构错误频现,标点符号运用失当,句子表达欠流畅,以及信息阐述不够周全,影响了整体的可读性和准确性——“.....项目目前已有部分产品销售国内外,用户中包括日本住友电工公司韩国公司等世界知名企业和中科镓英公司等国内用户,对该产品用户致反映良好。营销优势公司位于廊坊市经济技术开发区,拥有水平生产厂房,公司研发基地在北京有研总院。公司在水平生产技术方面处于国际先进水平,公司是国内唯批量生产水平晶片晶片企业。公司成立了由具有多年水平研究开发经验专业人员组成销售队伍,这支队伍熟悉本项目产品各项性能指标,了解客户需求,比较利于开展工作。同时,由于本项目产品性价比高于国外同类产品,因此在国际上具有强竞争力。目前产品已经进入国际市场,被日本住友电工集团韩国公司等世界知名企业应用。日本住友电工集团向对外来产品要求极为严格,本公司产品能够大量进入该集团,说明本产品极具竞争力。管理优势我公司拥有支素质高业务精专业搭配合理管理队伍,公司员工具有大专以上学历。管理团队知识层次高,具有高度凝聚力勇于开拓创新性和丰富管理经验。高素质员工群体现代科学管理方式可靠质量保证体系完美结合......”

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