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(终稿)1万吨超大规模集成电路用超净高纯试剂项目立项申报可行性材料(正本) (终稿)1万吨超大规模集成电路用超净高纯试剂项目立项申报可行性材料(正本)

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1、生产线已开始成为国内芯片制造业主体。按十二五计划新建生产线对于超净高纯试剂耗用量将有较大幅度增长。此外,随着国内平板显示器大发展,上广电产能将达到月,京东方产能将达到月,二厂三厂建成后将达万枚月。工艺与是类似,需求超净高纯试剂也要几万吨。在市场供应方面,目前级超净高纯试剂已经全部实现国产化,在更高档次超净高纯试剂供应方面,目前绝大部分需要从其他国家或地区进口,标准水平及以上档次产品则全部依赖进口。进口产品主要来源有日本韩国美国等国家及我国台湾地区。表我国目前电子化学品进口量和国产产品市场占有率产品国产量进口量国产产品市场占有率超净高纯试剂吨吨我国超净高纯试剂研制起步于世纪年代中期,年由北京化学试剂研究所在国内率先研制成功适合中小规模集成电路技术用种级试剂。随着集成电路集成度不断提高,对超净高纯试剂中可溶性杂质和固体。

2、有日本韩国美国等国家及我国台湾地区。表我国目前电子化学品进口量和国产产品市场占有率产品国产量进口量国产产品市场占有率超净高纯试剂吨吨我国超净高纯试剂研制起步于世纪年代中期,年由北京化学试剂研究所在国内率先研制成功适合中小规模集成电路技术用种级试剂。随着集成电路集成度不断提高,对超净高纯试剂中可溶性杂质和固体颗粒控制越来越严,同时对生产环境包装方式及包装材质等提出了更高要求。为了满足我国集成电路发展需求,国家自六五开始至八五,将超净高纯试剂研究开发列入了重点科技攻关计划,并由北京化学试剂研究所承担攻关任务。到目前为止,北京化学试剂研究所已相继推出了Ⅰ级Ⅱ级和Ⅲ级超净高纯试剂,其中Ⅲ级超净高纯试剂达到国际标准水平,适用于工艺技术加工制作,并在九五末期形成了年中试规模。目前北京化学试剂研究所正在进行用于工艺技术Ⅳ级超净高。

3、。上海华谊集团公司为推进课题研究开发工作,加快研究及产业化进程,于年月组建了由华谊集团公司中远化工有限公司三爱富新材料股份有限公司和上海化学试剂研究所等多元投资上海华谊微电子化学品有限公司,成为执行计划实体主体,拥有平方米实验室平方米净化室和配置相应试验设备等。通过课题研究开发,不仅提升了在超净高纯试剂方面技术水平,也培养了大批专业技术人才。年由上海华谊集团公司上海中远化工有限公司和台湾联仕共同出资组建成立合资公司上海华谊微电子材料有限公司,建成吨年规模超净高纯试剂生产线,现已正式投产,投资亿万人民币,生产这也导致真正要实现超净高纯试剂工业化规模生产存在较大差距。我国半导体市场规模在不断扩大,年我国市场已达亿元。年年间,平均增长率。目前国内英寸英寸毫米生产线条,英寸线条,占国内条生产线总数,产能已占全国,英寸以上高。

4、在这样要求下,般采用普通玻璃设备都难以达到,必须采用优质石英玻璃来制作各种生产设备才能达到要求。这些石英玻璃必须经过专业设计并严格控制加工过程才能制造出来。超净包装容器自动清洗线设计安装超净高纯试剂包装容器,历来是其发展过程中瓶颈问题,很多情况下是可以生产出合格产品,但经包装后就不能使用了,除了包装容器材质选择外,严格清洗过程很有必要。其预清洗还可以用人工参加,到最后超净阶段就剂耗用量将有较大幅度增长。此外,随着国内平板显示器大发展,上广电产能将达到月,京东方产能将达到月,二厂三厂建成后将达万枚月。工艺与是类似,需求超净高纯试剂也要几万吨。在市场供应方面,目前级超净高纯试剂已经全部实现国产化,在更高档次超净高纯试剂供应方面,目前绝大部分需要从其他国家或地区进口,标准水平及以上档次产品则全部依赖进口。进口产品主要来源。

5、成电路发展需求,国家自六五开始至八五,将超净高纯试剂研究开发列入了重点科技攻关计划,并由北京化学试剂研究所承担攻关任务。到目前为止,北京化学试剂研究所已相继推出了Ⅰ级Ⅱ级和Ⅲ级超净高纯试剂,其中Ⅲ级超净高纯试剂达到国际标准水平,适用于工艺技术加工制作,并在九五末期形成了年中试规模。目前北京化学试剂研究所正在进行用于工艺技术Ⅳ级超净高纯试剂研究开发。十五期间,国家科技部将用超净高纯试剂研究课题列入了超大规模集成电路配套材料重大专项计划之中,由北京化学试剂研究所上海华谊集团公司等单位承担,其研究主要目是完成技术用超净高纯试剂研究与开发工作,此项目现已完成,关键品种制备工艺已趋完善,配套支撑条件基本上可以满足研发要求,颗粒金属杂质阴离子及等分析测试方法研究也取得了系列成果,为十二五产业化技术及更加深入研究奠定了良好技术基。

6、颗粒控制越来越严,同时对生产环境包装方式及包装材质等提出了更高要求。为了满足我国集成电路发展需求,国家自六五开始至八五,将超净高纯试剂研究开发列入了重点科技攻关计划,并由北京化学试剂研究所承担攻关任务。到目前为止,北京化学试剂研究所已相继推出了Ⅰ级Ⅱ级和Ⅲ级超净高纯试剂,其中Ⅲ级超净高纯试剂达到国际标准水平,适用于工艺技术加工制作,并在九五末期形成了年中试规模。目前北京化学试剂研究所正在进行用于工艺技术Ⅳ级超净高纯试剂研究开发。十五期间,国家科技部将用超净高纯试剂研究课题列入了超大规模集成电路配套材料重大专项计划之中,由北京化学试剂研究所上海华谊集团公司等单位承担,其研究主要目是完成技术用超净高纯试剂研究与开发工作,此项目现已完成,关键品种制备工艺已趋完善,配套支撑条件基本上可以满足研发要求,颗粒金属杂质阴离子及等。

7、试剂研究开发。十五期间,国家科技部将用超净高纯试剂研究课题列入了超大规模集成电路配套材料重大专项计划之中,由北京化学试剂研究所上海华谊集团公司等单位承担,其研究主要目是完成技术用超净高纯试剂研究与开发工作,此项目现已完成,关键品种制备工艺已趋完善,配套支撑条件基本上可以满足研发要求,颗粒金属杂质阴离子及等分析测试方法研究也取得了系列成果,为十二五产业化技术及更加深入研究奠定了良好技术基础。上海华谊集团公司为推进课题研究开发工作,加快导致真正要实现超净高纯试剂工业化规模生产存在较大差距。我国半导体市场规模在不断扩大,年我国市场已达亿元。年年间,平均增长率。目前国内英寸英寸毫米生产线条,英寸线条,占国内条生产线总数,产能已占全国,英寸以上高端生产线已开始成为国内芯片制造业主体。按十二五计划新建生产线对于超净高纯试剂耗用。

8、西永微电子工业园,计划到年达到年产值亿元,占国内同类市场份额。建成中国西部门类最齐全,规模最大集成电路制造研发基地和国家软件业基地,成为中国西部硅谷。现已有茂德日月光等台资企业及等巨头进驻园区。随着企业巨头迁移落户,地处西部成渝地区正在改变全球电子信息产业格局,以电子信息产业为代表产业转移效应正在显现。最新数据显示,年月,成都全市出口便携式电脑万台,全部为平板电脑,出口金额为亿美元,约占全市出口总额而重庆便携式电脑出口量达万台,出口金额为亿美元,占全市出口总量。成都市商务局相关负责人介绍,去年同期成都便携式电脑出口数据几乎为零。随着鸿富锦公司产能进步提升和仁宝纬创等企业陆续投产,这数字还将继续放量增长,预计全年成都市出口便携式电脑将超过万台。而在今年年初,项目介绍超净高纯试剂微电子技术的支柱微电子技术主要是指用于半。

9、将有较大幅度增长。此外,随着国内平板显示器大发展,上广电产能将达到月,京东方产能将达到月,二厂三厂建成后将达万枚月。工艺与是类似,需求超净高纯试剂也要几万吨。在市场供应方面,目前级超净高纯试剂已经全部实现国产化,在更高档次超净高纯试剂供应方面,目前绝大部分需要从其他国家或地区进口,标准水平及以上档次产品则全部依赖进口。进口产品主要来源有日本韩国美国等国家及我国台湾地区。表我国目前电子化学品进口量和国产产品市场占有率产品国产量进口量国产产品市场占有率超净高纯试剂吨吨我国超净高纯试剂研制起步于世纪年代中期,年由北京化学试剂研究所在国内率先研制成功适合中小规模集成电路技术用种级试剂。随着集成电路集成度不断提高,对超净高纯试剂中可溶性杂质和固体颗粒控制越来越严,同时对生产环境包装方式及包装材质等提出了更高要求。为了满足我国。

10、华谊微电子材料有限公司建筑面积近平方米,建有世界流水平生产线和净化包装线。实验室部分有洁净房平方米,最高洁净要求可以达到级。拥有价值近万元大型精密测试仪器和技术装备,如测试限达到电感耦合等离子光谱质谱仪测试限原子吸收光谱仪紫外可见分光光谱仪极谱仪总碳分析仪离子色谱仪气相色谱仪高效液相色谱仪激光散射颗粒测定仪空气净化颗粒测试仪微波消化器等。上海华谊微电子材料有限公司已于年年中建成投产。产品已开始进入主要集成电路厂家试用,如中芯国际台积电,并出口东南亚。微电子技术与超净高纯试剂在西部地区发展西部地区微电子技术相对于沿海地区来说发展较晚,但现今也进入了快速发展阶段。年成都地区首先引进了英寸芯片生产线,并将其定为号工程,总投资亿人民币。随后又引进了几条英寸及英寸生产线,并将微电子产业列为支柱产业。从年月开始,重庆市就着手建。

11、体器件和集成电路微细加工制作的系列蚀刻和处理技术,其中集成电路,特别是大规模及超大规模集成电路的微细加工技术又是微电子技术的核心,是电子信息产业最关键最为重要的基础。微电子技术发展的主要途径之是通过不断缩小器件的特征尺寸,增加芯片的面积,以提高集成度和速度。自世纪年代后期至今,集利宽都在,需要控制以上尘埃颗粒。需要建设级超净厂房,主要用于产品灌装和产品检测,共需要平米。其次,为适应英寸以上芯片生产线,超净高纯试剂高要求,在级超净室内还需设置级超净工作台,核心操作都在超净工作台内完成。这样形成逐级严格控制,更利于保证洁净度。除上述核心部分级超净室与级超净工作台外,还必须设置更大规模与其配套万级超净室与十万级洁净室。生产提纯设备添置现今超净高纯试剂其杂质含量已要求在级至级,在这样要求下,般采用普通玻璃设备都难以达到,必。

12、析测试方法研究也取得了系列成果,为十二五产业化技术及更加深入研究奠定了良好技术基础。上海华谊集团公司为推进课题研究开发工作,加快研究及产业化进程,于年月组建了由华谊集团公司中远化工有限公司三爱富新材料股份有限公司和上海化学试剂研究所等多元投资上海华谊微电子化学品有限公司,成为执行计划实体主体,拥有平方米实验室平方米净化室和配置相应试验设备等。通过课题研究开发,不仅提升了在超净高纯试剂方面技术水平,也培养了大批专业技术人才。年由上海华谊集团公司上海中远化工有限公司和台湾联仕共同出资组建成立合资公司上海华谊微电子材料有限公司,建成吨年规模超净高纯试剂生产线,现已正式投产,投资亿万人民币,生产各类微电子化学品,主要有双氧水硫酸氨水盐酸硝酸醋酸氟化铵,产品质量达到当前市场线宽半导体制造业要求以及半导体生产线质量标准要求。上。

参考资料:

[1](终稿)1万吨赖氨酸生产项目立项申报可行性材料(正本)(第27页,发表于2022-06-24)

[2](终稿)1万吨螺杆压缩机专用铸件项目立项申报可行性材料(正本)(第94页,发表于2022-06-24)

[3](终稿)1万吨蔬菜应急储备库(新建)项目立项申报可行性材料(正本)(第44页,发表于2022-06-24)

[4](终稿)1万吨蒽系列以及1千吨永固紫加工项目立项申报可行性材料(正本)(第128页,发表于2022-06-24)

[5](终稿)1万吨葵花籽扩建项目立项申报可行性材料(正本)(第61页,发表于2022-06-24)

[6](终稿)1万吨葡萄酒厂项目立项申报可行性材料(正本)(第23页,发表于2022-06-24)

[7](终稿)1万吨落地式固氮菌有机肥项目立项申报可行性材料(正本)(第9页,发表于2022-06-24)

[8](终稿)1万吨茶油项目立项申报可行性材料(正本)(第28页,发表于2022-06-24)

[9](终稿)1万吨花生精深加工出口项目立项申报可行性材料(正本)(第47页,发表于2022-06-24)

[10](终稿)1万吨芒硝、1万吨原盐盐湖泊开发项目立项申报可行性材料(正本)(第71页,发表于2022-06-24)

[11](终稿)1万吨船舶用门窗、8千吨船段和4千吨舱盖工程项目立项申报可行性材料(正本)(第57页,发表于2022-06-24)

[12](终稿)1万吨膨润土生产线项目立项申报可行性材料(正本)(第38页,发表于2022-06-24)

[13](终稿)1万吨聚碳酸酯(PC)项目立项申报可行性材料(正本)(第27页,发表于2022-06-24)

[14](终稿)1万吨聚乙烯发泡包装材料生产线项目立项申报可行性材料(正本)(第38页,发表于2022-06-24)

[15](终稿)1万吨绿碳化硅微粉项目立项申报可行性材料(正本)(第12页,发表于2022-06-24)

[16](终稿)1万吨纺织废水处理药剂项目立项申报可行性材料(正本)(第33页,发表于2022-06-24)

[17](终稿)1万吨纳米硅材料项目立项申报可行性材料(正本)(第129页,发表于2022-06-24)

[18](终稿)1万吨纳米多功能镀钛粉项目立项申报可行性材料(正本)(第11页,发表于2022-06-24)

[19](终稿)1万吨精炼棉油加工生产线项目立项申报可行性材料(正本)(第99页,发表于2022-06-24)

[20](终稿)1万吨精制山茶油扩建项目立项申报可行性材料(正本)(第27页,发表于2022-06-24)

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