1、驱动工作台重,通过液体静压导轨支撑，工作台的行程为.直线工作台的定位精度可达,最大速度为。台湾淡江大学等人设计了利用气体支撑的摩擦轮驱动工作台。反馈测量装置是台量程为.的激光干涉仪，整个装置被放置在温度和湿度的环境中。在和步进运动情况下，定位精度均优。国防科技大学的罗兵李圣怡等对摩擦扭轮式精密工作台进行了研究。此系统由高分辨率电机摩擦扭轮传动机构空气静压导轨和控制计算机等组成。摩擦扭轮传动机构导程.，光杠长度,螺母刚度气体静压导轨行程，设计直线度.交流伺服电机旋转分辨率实验结果表明在的行程上运动分辨率达到。我国的研究现状国内对高精度精密定位研究也很重视。很多家国内重点大学和知名企业开展了高精密定位仪器的研究开发，微调定位工作台的定位精度大致在左右，分辨率在.左右，但这些数据大多是样机系统在实验室条件下达到的。由于我。

2、的设计设计原理设计计算.本章小结结论参考文献致谢第章绪论.课题背景及研究意义随着科学技术的发展，在电子光学机械制造等众多技术领域中迫切需要高精度高分辨率能够灵活控制的微动系统用以直接进行工作或配合其它仪器设备完成高精度的定位和测量。正是这种需要极大地促进了高精密定位和测量技术发展。高精度和高分辨率的超精密工作台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位。它直接影响精密超精密切削加工水平精密测量水平及超大规模集成电路生产水平。同时,它的各项技术指标是各国高技术发展水平的重要标志。.国内外研究现状大行程超精密工作台主要的类型有直线电机式驱动摩擦式驱动，也有采用两级进给的方式，即采用粗动与精动两套系统，以同时兼顾大行程高响应速度和高定位精度。高精度和高分辨率的超精密工作台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域。

3、机驱动力,最大加速度.,最大速度。反馈测量系统采用激光干涉仪，激光干涉仪的分辨率为.。控制系统采用带前馈补偿的控制器。它最大的特点是配置了部电流变阻尼器，可以主动控制系统的动静态特性。系统可以实现的步进定位。直线电机式工作台也可以设计成维运动体化的工作台。住友重工公司开发的直线电机驱动的工作台具有快速运动响应。.的步进运动只需就可使定位误差在以内。快速响应对于激光加工和半导体生产是非常关键的。为了实现平而内的转动而研制了三自由度的维直线电机式工作台。定位工作台由个空气轴承垫在底板上导向，通过合成个直线电机的驱动力而产生自山度的运动。工作台重.，它在和方向上均具有的行程。激光干涉仪用作工作台的定位反馈。实验测得工作台在，和方向上的定位分辨率分别为.,.和.,最大速度为，频响宽度为。.摩擦式驱动超精密工作台法国研制的摩。

4、足下列要求四维微调工作台的设计特点.微调工作台机体主要材料的选择.微调工作台导轨设计形式的选择.四维微调工作台的组成及工作原理方向粗调机构方向微调机构方向粗调机构方向调节机构水平转角调节机构垂直仰角调节机构.本章小结第章四维微调工作台的结构设计.微调工作台的传动设计计算轴方向粗调结构设计轴方向的粗调机构设计轴方向的粗调机构设计轴方向微调机构设计仰角调节机构设计.导轨的设计作用力方向和作用点位置对导轨工作的影响分析导轨主要尺寸的确定导轨的误差分析.弹簧的设计轴方向微调机构的弹簧设计绕轴旋转微调机构的弹簧设计仰角调节机构的弹簧设计.微调工作台的支撑和基座设计支承的设计基座的设计.本章小结第章示数装置的设计.示数装置设计要求.示数装置的分类.轴方向粗调示数装置的设计类型的选择标尺与指针的选择分度尺寸的选择.轴微调示数装置。

5、域，直线电机驱动拥有更广阔的应用前景。国外研究现状目前，国外在精密定位技术方而的研究成果较多，世界上各发达国家对高精密技术的发展都给予了足够的重视。日本东京工大研究的精密工作台的定位精度达到，韩国汉城大学研制的宏微结合的行程精密工作台，以激光干涉仪作为位置反馈元件，定位精度达到。这类叠加式宏微组合的精密工作台，更具有实用性，现已成为研制大行程精密定位技术的热点。英国的国家物理研究所所研制的微形貌纳米测量仪器的测量范围是.。美国些大学在电子行业和计算机行业的些大公司支持下,开展了纳米精度的位移测量和定位工作的研究,也取得了令人瞩目的成就。.直线电机式超精密工作台东京工业大学研制了具有纳米级分辨率的维直线电机驱动超精密工作台。它采用气浮导轨导向，行程,导轨的垂直刚度，水平刚度。工作台重.，全部采用氧化铝陶瓷材料。直线电。

6、国在高精度传感器，微进给技术以及计算机技术上的限制，在研发高精度定位平台及其产业化上尚需努力。清华大学与上海微电子装备有限公司合作开展研究，搭建了国内第套以运动精度为目标的气浮运动试验台，并进行超精密测量和运动控制的研究，己经取得了良好的研究进展。整个超精密工件台试验系统由质量达的花岗石底座基台主动隔振元件两套超精密直线运动系统组成。每套直线运动系统由桑层的粗动与精动系统组成，并由双频激光干涉仪提供位置检测和闭环运动反馈，检测精度可达到。长行程超精密导轨气浮滑块直线电机直线光栅组成大行程粗动系统可以实现以上的行程，以上的加速度和以上的速度。但其动态运动精度仅能达到几微米，定位精度可以达到数百纳米。为了实现乃至更高的运动精度，在上述大行程运动系统的气浮滑块上桑加安装了超精密气浮微动台，以对粗动精度进行微动补偿。微动台。

7、占有极为重要的地位。它直接影响精密超精密切削加工水平精密测量水平及超大规模集成电路生产水平。同时，它的各项技术指标是各国高技术发展水平的重要标志。超精密工作台系统的定位精度和行程范围直接影响生产加工的精度。同时，工作台的速度加速度及启停过程的稳定时间则影响设备的效率，成为系统的重要指标。这些次定位的精密工作台系统可以按精度高低和行程大小分为两类小行程极高精度的工作台系统和大行程高精度的工作台系统。小行程极高精度工作台大多采用压电元件或电磁元件作为驱动装置。行程多在数十微米的范围内，但位移分辨率可高达。大行程高精度工作台是指行程达毫米级以上，但定位精度略低于小行程系统的工作台系统。它大多采用直线电机或摩擦式驱动方式，运动分辨率大多在左右。微调工作台的驱动方式摩擦传动具有正反空程小传动平稳噪声小等优点，适合精密定位。其。

8、通过微动工作台对粗动工作台由于运动所带来的误差进行精度补偿，以此实现大范围高精度的要求。.新型纳米级微动工作台的研究运动方向间的交叉藕合严重影响纳米微动工作台的定位精度，因此需进步研究运动导向结构，从运动原理上有效地消除运动方向间的交叉藕合产生的定位误差，提高纳米级微动工作台的定位精度。.改进控制策略如采用建立迟滞和蠕变数学模型进行开环控制来避免因反馈而可能引起的不稳定问题，采用自适应控制消除建模的误差和参数的不确定性及系统环境的变化等因素对系统精度的影响，提高系统的稳定性。采用模糊控制神经元网络控制等方法改善系统的非线性和不确定性。.磁悬浮微动工作台性能的进步提高在现有磁悬浮微动工作台基础上，充分考虑磁滞非线性磁饱和以及高次谐波对系统精度的影响，解决运动控制和定位技术，从而实现纳米级精度的大范围运动。未来的大范围。

9、不足之处是负载能力小，不能够产生太大的驱动力，否则传动过程容易产生打滑现象，因此限制了摩擦驱动的应用范围。与传统机床进给驱动相比，直线电机驱动具有以下优点省略了中间转换机构，减少了机械磨损，系统运行时可以保持高增益，实现精确的进给前馈，对给定的加工路径可以用高速进行准确跟踪，从而保证了机床的高精度和使用寿命。运行时，直线电机不像旋转电机那样会受到离心力作用，因此其直线速度不受限制。直线驱动的惯性主要存在于滑台，因此加工时可以有很高的加速度。直线电机靠电磁推力驱动，故系统噪声很小，改善了工作环境。过去应用直线电机驱动主要集中在高速进给领域，利用了它可以有很高的加速度和运行速度的优点，但随着电机技术的发展，直线电机驱动开始向精密定位发展，如日本研制的几款超精密工作台都应用了直线电机驱动。与传统的进给方式相比，在精密定位。

10、线电机驱动摩擦驱动式,也有采用两级进给的方式,即采用粗动与精动两套系统,以同时兼顾大行程高响应速度和高定位精度。如今，高精密的测量定位仪器在社会的各个领域都有了广泛的应用，特别是些需要精密仪器的航空航天等产业。随着科技的发展，社会的进步，对高精密的测量定位仪器的精度要求越来越高。大范围高精度是对微动工作台提出的新要求，然而大行程和高精度是微动技术中的对矛盾。因此微动工作台的未来研究方向应围绕如何解决这对矛盾展开。.多种微运动相结合技术结合多种微动方法以弥补各自的不足仍然是解决以上问题的主要办法。比如在现有研究已经成熟的各种微动工作台基础上，妥善解决好其中两种或者多种微动工作台间的兼容性，解决好机械结构间的装配误差多种平台间的定位误差，采用粗动和微动相结合的方法，粗动台用以完成快速大范围，微动工作台实现高精度，也就是。

11、高精度纳米测量要求在数十毫米以上的范围内达到至少亚纳米级的测量精度，这不仅使只采用其中之的测量方法难以实现，就连现在许多结合了多种测量的方法也是很难办到的。对纳米测量而言，能否取得高精度和大范围，这在很大程度上取决于信号处理的精度。随着电子技术的发展，加快信号处理的速度加大处理量更好的滤除噪声对达到未来的测量需求是个很好的解决方案提高测量系统中机械系统的装配和运动精度改善光源的稳定性和相干性降低外界环境的干扰或是设计对环境不敏感的测量系统都是大范围高精度纳米测量进步发展所必须要解决的问题。当前仪器设备的发展趋势主要是向大型化自动化精密化高效化发展。.系统组成及工作原理四维微调工作台在系统的机械结构设计上，采用粗动台和微动台的组合结构，即由粗动台来完成高速运行，解决整个系统的速度问题，进行粗定位，然后由微动台完成精定。

12、用音圈电机驱动，电容传感器进行微动位置检测。双频激光干涉仪的测量镜安装在微动台的动台上，实现对粗精动运动系统最终的位置监测和运动反馈。到年月，运动定位精度己经达到。.微调精密定位工作台的发展前景超精密工作台系统的定位精度和行程范围直接影响生产加工的精度。同时,工作台的速度加速度及启停过程的稳定时间则影响设备的效率,成为系统的重要指标。这些次定位的精密工作台系统可以按精度高低和行程大小分为两类小行程极高精度的工作台系统和大行程高精度的工作台系统。小行程极高精度工作台大多采用压电元件或电磁元件作为驱动装置。行程多在数十微米的范围内,但位移分辨率可高达。大行程高精度工作台是指行程达毫米级以上,但定位精度略低于小行程系统的工作台系统。它大多采用直线电机或摩擦式驱动方式,运动分辨率大多在左右。大行程超精密工作台主要的类型有直。

参考资料：

[1]（全套CAD）四工位回转专用组合机床设计（图纸论文整套）（第2357426页，发表于2022-06-24）

[2]（全套CAD）吸盘式电脑摄像头底座的模具设计（图纸论文整套）（第2357425页，发表于2022-06-24）

[3]（全套CAD）吸尘器弯管连接头注塑模设计（图纸论文整套）（第2357424页，发表于2022-06-24）

[4]（全套CAD）同向旋转型双螺杆挤压机及挤压部件设计（图纸论文整套）（第2357422页，发表于2022-06-24）

[5]（全套CAD）叶轮座零件工艺设计及专用夹具设计（图纸论文整套）（第2357420页，发表于2022-06-24）

[6]（全套CAD）叶片泵转子加工叶片槽的卧轴分度铣床夹具设计（图纸论文整套）（第2357418页，发表于2022-06-24）

[7]（全套CAD）叶片加工仿形刨床设计与工程分析（图纸论文整套）（第2357417页，发表于2022-06-24）

[8]（全套CAD）台虎钳的设计（图纸论文整套）（第2357415页，发表于2022-06-24）

[9]（全套CAD）台扇电机外表前塑料罩模具设计（图纸论文整套）（第2357414页，发表于2022-06-24）

[10]（全套CAD）台式虎钳的设计及运动仿真（图纸论文整套）（第2357413页，发表于2022-06-24）

[11]（全套CAD）台式核桃去壳器设计（图纸论文整套）（第2357412页，发表于2022-06-24）

[12]（全套CAD）台式数控等离子切割机设计（图纸论文整套）（第2357411页，发表于2022-06-24）

[13]（全套CAD）双齿辊破碎机的设计（图纸论文整套）（第2357410页，发表于2022-06-24）

[14]（全套CAD）双面铣床液压系统设计（图纸论文整套）（第2357408页，发表于2022-06-24）

[15]（全套CAD）双铰接剪叉式液压升降台的设计（图纸论文整套）（第2357407页，发表于2022-06-24）

[16]（全套CAD）双轴直线振动筛设计（图纸论文整套）（第2357406页，发表于2022-06-24）

[17]（全套CAD）双轴无重力粉体混合机混合单元的设计（图纸论文整套）（第2357405页，发表于2022-06-24）

[18]（全套CAD）双轴式和面机设计（图纸论文整套）（第2357404页，发表于2022-06-24）

[19]（全套CAD）双螺杆挤出机的设计（图纸论文整套）（第2357403页，发表于2022-06-24）

[20]（全套CAD）双螺杆挤出机设计（图纸论文整套）（第2357402页，发表于2022-06-24）

仅支持预览图纸，请谨慎下载！