（已批）1万吨超大规模集成电路用超净高纯试剂项目投资立项申报方案（打印版）

上海华谊集团公司为推进课题研究开发工作，加快研究及产业化进程，于年月组建了由华谊集团公司中远化工有限公司三爱富新材料股份有限公司和上海化学试剂研究所等多元投资上海华谊微电子化学品有限公司，成为执行计划实体主体，拥有平方米实验室平方米净化室和配置相应试验设备等。

通过课题研究开发，不仅提升了在超净高纯试剂方面技术水平，也培养了大批专业技术人才。

年由上海华谊集团公司上海中远化工有限公司和台湾联仕共同出资组建成立合资公司上海华谊微电子材料有限公司，建成吨年规模超净高纯试剂生产线，现已正式投产，投资亿万人民币，生产各类微电子化学品，主要有双氧水硫酸氨水盐酸硝酸醋酸氟化铵，产品质量达到当前市场线宽半导体制造业要求以及半导体生产线质量标准要求。

上海华谊微电子材料有限公司建筑面积近平方米，建有世界流水平生产线和净化包装线。

实验室部分有洁净房平方米，最高洁净要求可以达到级。

拥有价值近万元大型精密测试仪器和技术装备，如测试限达到电感耦合等离子光谱质谱仪测试限原子吸收光谱仪紫外可见分光光谱仪极谱仪总碳分析仪离子色谱仪气相色谱仪高效液相色谱仪激光散射颗粒测定仪空气净化颗粒测试仪微波消化器等。

上海华谊微电子材料有限公司已于年年中建成投产。

产品已开始进入主要集成电路厂家试用，如中芯国际台积电，并出口东南亚。

微电子技术与超净高纯试剂在西部地区发展西部地区微电子技术相对于沿海地区来说发展较晚，但现今也进入了快速发展阶段。

年成都地区首先引进了英寸芯片生产线，并将其定为号工程，总投资亿人民币。

随后又引进了几条英寸及英寸生产线，并将微电子产业列为支柱产业。

从年月开始，重庆市就着手建立西永微电子工业园，计划到年达到年产值亿元，占国内同类市场份额。

建成中国西部门类最齐全，规模最大集成电路制造研发基地和国家软件业基地，成为中国西部硅谷。

现已有茂德日月光等台资企业及等巨头进驻园区。

随着企业巨头迁移落户，地处西部成渝地区正在改变全球电子信息产业格局，以电子信息产业为代表产业转移效应正在显现。

最新数据显示，年月，成都全市出口便携式电脑万台，全部为平板电脑，出口金额为亿美元，约占全市出口总额而重庆便携式电脑出口量达万台，出口金额为亿美元，占全市出口总量。

成都市商务局相关负责人介绍，去年同期成都便携式电脑出口数据几乎为零。

随着鸿富锦公司产能进步提升和仁宝纬创等企业陆续投产，这数字还将继续放量增长，预计全年成都市出口便携式电脑将超过万台。

而在今年年初，项目介绍超净高纯试剂微电子技术的支柱微电子技术主要是指用于半导体器件和集成电路微细加工制作的系列蚀刻和处理技术，其中集成电路，特别是大规模及超大规模集成电路的微细加工技术又是微电子技术的核心，是电子信息产业最关键最为重要的基础。

微电子技术发展的主要途径之是通过不断缩小器件的特征尺寸，增加芯片的面积，以提高集成度和速度。

自世纪年代后期至今，集成电但经包装后就不能使用了，除了包装容器材质选择外，严格清洗过程很有必要。

其预清洗还可以用人工参加，到最后超净阶段就在这样要求下，般采用普通玻璃设备都难以达到，必须采用优质石英玻璃来制作各种生产设备才能达到要求。

这些石英玻璃必须经过专业设计并严格控制加工过程才能制造出来。

超净包装容器自动清洗线设计安装超净高纯试剂包装容器，历来是其发展过程中瓶颈问题，很多情况下是可以生产出合格产品，但经包装后就不能使用了，除了包装容器材质选择外，严格清洗过程很有必要。

其预清洗还可以用人工参加，到最后超净阶段就不是靠手工能洗得出来了，必须设计专业清洗设备，在超净工作间内自动清洗才能达到要求。

超净高纯水生产超净高纯水主要用于生产设备清洗及包装容器中清洗，其质量好坏直接影响到超净高纯试剂产品质量。

传统超净高纯水生产工艺是采用反渗透加离子交换工艺，水质虽可达到使用要求，但离子交换工艺操作中大量使用酸碱，并生成大量酸碱废液难以处理，本项目拟采用最新技术电去离子工艺，出水质量更优，不再产生酸碱废水，运行成本更低。

分析测试仪器添置液体尘埃颗粒计数器气体尘埃颗粒计数器原子吸收光谱仪等专业分析仪器及其他许多常规分析设备，更先进等离子光谱或电感耦合等离子光谱质谱仪。

三项目建设规模及投资概算项目总目标年产吨级超净高纯试剂年产值亿元年利税亿元。

项目包括如下工程总计万元超净工作间合计万元级级超净工作间及配套设施设备，万元美欧和中国台湾地区又称湿化学品，是超大规模集成电路即俗称芯片制作过程中关键性基础化工材料之，主要用于芯片清洗蚀刻，另外超净高纯试剂还用于芯片掺杂和沉淀工艺。

超净高纯试剂纯度和洁净度对集成电路成品率电性能及可靠性均有十分重要影响。

超净高纯试剂具有品种多用量大技术要求高贮存有效期短和腐蚀性强等特点，它基于微电子技术发展而产生，代产品需要代超净高纯试剂与之配套。

它随着微电子技术发展而同步或超前发展，同时它又对微电子技术发展起着制约作用。

依照超净高纯试剂用途，可以将其划分为光刻胶配套试剂湿法蚀刻剂和湿法工艺试剂。

如果依其性质可以分为无机酸类如盐酸硝酸硫酸氢氟酸磷酸等无机碱类如氨水等有机溶剂类如无水乙醇冰乙酸三氯乙烯丙酮等和其他超净高纯试剂如双氧水氟化氢铵等。

有关资料显示，超净高纯有机溶剂在半导体工业中消耗比例大致占，其中有机类化学品需求量在微电子化学品中占总体积以上，市场需求量相当可观。

在超净高纯试剂发展方面，与微电子技术另重要材料光刻胶相似，不同线宽芯片必须使用不同规格超净高纯试剂进行蚀刻和清洗。

超净高纯试剂质量关键在于控制其所含金属离子多少和试剂中尘埃颗粒含量，对于线宽较小超大规模集成电路，几个金属离子或灰尘就足以报废整个电路。

年，国际半导体设备与材料组织制定了国际统超净高纯试剂标准，如表所示。

目前，国际上制备到级超净高纯试剂技术都已经趋于成熟。

随着集成电路制作要求提高，对工艺中所需液体化学品纯度要求也不断提高。

技术趋势上看，满足纳米级集成电路加工需求是超净高纯试剂今后发展方向之。

表工艺化学品国际标准等级标准金属杂质控制粒径颗粒个适应线宽范围可以看出，超净高纯试剂制备关键在于控制微电子化学品，主要有双氧水硫酸氨水盐酸硝酸醋酸氟化铵，产品质量达到当前市场线宽半导体制造业要求以及半导体生产线质量标准要求。

上海华谊微电子材料有限公司建筑面积近平方米，建有世界流水平生产线和净化包装线。

实验室部分有洁净房平方米，最高洁净要求可以达到级。

拥有价值近万元大型精密测试仪器和技术装备，如测试限达到电感耦合等离子光谱质谱仪测试限原子吸收光谱仪紫外可见分光光谱仪极谱仪总碳分析仪离子色谱仪气相色谱仪高效液相色谱仪激光散射颗粒测定仪空气净化颗粒测试仪微波消化器等。

上海华谊微电子材料有限公司已于年年中建成投产。

产品已开始进入主要集成电路厂家试用，如中芯国际台积电，并出口东南亚。

微电子技术与超净高纯试剂在西部地区发展西部地区微电子技术相对于沿海地区来说发展较晚，但现今也进入了快速发展阶段。

年成都地区首先引进了英寸芯片生产线，并将其定为号工程，总投资亿人民币。

随后又引进了几条英寸及英寸生产线，并将微电子产业列为支柱产业。

从年月开始，重庆市就着手建立西永微电子工业园，计划到年达到年产值亿元，占国内同类市场份额。

建成中国西部门类最齐全，规模最大集成电路制造研发基地和国家软件业基地，成为中国西部硅谷。

现已有茂德日月光等台资企业及等巨头进驻园区。

随着企业巨头迁移落户，地处西部成渝地区正在改变全球电子信息产业格局，以电子信息产业为代表产业转移效应正在显现。

最新数据显示，年月，成都全市出口便携式电脑万台，全部为平板电脑，出口金额为亿美元，约占全市出口总额而重庆便携式电脑出口量达万台，出口金额为亿美元，占全市出口总量。

成都市商务局相关负责人介绍，去年同期成都便携式电脑出口数据几乎为零。

随着鸿富锦公司产能进步提升和仁宝纬创等企业陆续投产，这数字还将继续放量增长，预计全年成都市出口便携式电脑将超过万台。

而在今年年初，项目介绍超净高纯试剂微电子技术的支柱微电子技术主要是指用于半导体器件和集成电路微细加工制作的系列蚀刻和处理技术，其中集成电路，特别是大规模及超大规模集成电路的微细加工技术又是微电子技术的核心，是电子信息产业最关键最为重要的基础。

微电子技术发展的主要途径之是通过不断缩小器件的特征尺寸，增加芯片的面积，以提高集成度和速度。

自世纪年代后期至今，集成电宽都在，需要控制以上尘埃颗粒。

需要建设级超净厂房，主要用于产品灌装和产品检测，共需要平米。

其次，为适应英寸以上芯片生产线，超净高纯试剂高要求，在级超净室内还需设置级超净工作台，核心操作都在超净工作台内完成。

这样形成逐级严格控制，更利于保证洁净度。

除上述核心部分级超净室与级超净工作台外，还必须设置更大规模与其配套万级超净室与十万级洁净室。

生产提纯设备添置现今超净高纯试剂其杂质含量已要求在级至级，在这样要求下，般采用普通玻璃设备都难以达到，必须采用优质石英玻璃来制作各种生产设备才能达到要求。

这些石英玻璃必须经过专业设计并严格控制加工过程才能制造出来。

超净包装容器自动清洗线设计安装超净高纯试剂包装容器，是世纪年代以来，集成电路微细加工技术进入快速发展时期，这期间相继推出了动态存贮器。

进入世纪年代后期，发展更迅速，竞争更激烈。

美国公司公司和日本公司这个生产厂家竞争尤为激烈，年公司公司均实现了技术生产化，紧接着公司在年底又实现了技术生产化，公司也在紧追不舍。

到年上半年，公司实现了技术生产化，而到年季度末，日本公司宣布突破了工艺技术难关，率先成功研发出半导体工艺技术，现已开始接受全球各地厂商订货，并将于年核准通过，归档资料。

未经允许，请勿外传，月开始批量生产。

因此，专家们认为世界半导体工艺技术发展将会加速，半导体制造厂商将会以更先进技术加快升级换代以适应新市场要求。

超净高纯试剂在国际上通称为工艺化学品，美欧和中国台湾地区又称湿化学品，是超大规模集成电路即俗称芯片制作过程中关键性基础化工材料之，主要用于芯片清洗蚀刻，另外超净高纯试剂还用于芯片掺杂和沉淀工艺。

超净高纯试剂纯度和洁净度对集成电路成品率电性能及可靠性均有十分重要影响。

超净高纯试剂具有品种多用量大技术要求高贮