利项，享受政府特殊津贴，兼任中国稀有金属学会钛锆铪学会主任，中国电池工业协会常务理事，北京金属学会理事，美国电子电器工程师协会高级会员。技术负责人郑安生，公司总经理，男，年月出生，中共党员，年毕业于兰州大学，材料科学硕士学位同年来北京有色金属研究总院工作至今。历任研究专题组长国家半导体材料工程研究中心主任助理副主任，现任国瑞电子材料有限责任公司总经理国家半导体材料工程研究中心副主任，兼任中国电子材料行业协会光电子分会副理事长国家科学技术部秘密技术审查专家。年被聘为教授级高级工程师。具有系统坚实专业理论知识和跟踪本专业国内外科技发展前沿能力，对ⅢⅤ族化合物半导体单晶材料制备有较深入研究和独到见解，在国内同行中有较高知名度。掌握英日两种外语，能熟练运用英语进行读写听说。具备主持国家重点科研项目全过程能力。年以来先后主持国家高技术研究项目两项，九五国家科技攻关项目项，国防科工委重大军工项目两项，国家工程研究中心项目项，国家高技术产业化示范工程水平砷化镓单晶片产业化项等，获部级成果四项。所述示范工程项目已被评为年度有色金属工业科技进步等奖，已申报国家科技进步奖。历年来，在国内外学术刊物发表论文余篇，出版专著半导体材料，化学工业出版社，部，为相关工具书撰写词条译著等约万字。郑总具有多年经营管理经验，对企业发展和市场把握有着敏锐眼光和长远战略，公司在他带领下，通过质量管理体系认证，企业获得河北省高新技术企业证书，产品获得高新技术产品证书，国瑞公司近几年销售收入总资产出口创汇呈现迅猛增长，年公司出口创汇万美元，占公司销售收入多。企业新产品研发能力及内部管理体系研发能力强是本单位固有优势，企业前身是北京有色金属研究总院化合物半导体材料研究室。成立于年，从成立之日起就开始水平单晶研究，年底研制成功国内第根水平单晶，先后承担多项国家科技攻关项目和军工配套项目，取得国家及部级科研成果项，这些成果均达到国际上同类产品技术水平或填补国内空白。年原国家计委选定北京有研总院组建国家半导体材料工程研究中心，作为国家半导体材料工程化研发基地，加快了单晶材料产业化步伐。年在国内首次拉制重，加工直径英寸晶片单晶，年建成了国内第个有台单晶生长系统生产线，年产单晶，使我国单晶年产量首次突破，我国单晶材料研究由长期实验室阶段向产业化迈出了第大步。国瑞电子材料有限责任公司年月注册成立，由北京有色金属研究总院和有研半导体材料股份有限公司共同出资组建。注册资金万元，有研总院占股份，对该公司有绝对控股权，原有研总院该项目研发人员全部转入国瑞公司继续水平砷化镓项目研究与开发工作。目前企业拥有单晶生产系统台及相应晶片加工切片机磨片机划园机倒角机抛光机等性能检测设备。本项目产品技术团队主要人员简况姓名性别出生年月职务技术职称主要工作职责为本产品工作时间郑安生男总经理教授级高工单晶生长晶锭加工技术指导协调决策邓志杰男生产部经理教授级高工单晶生产管理和技术王继荣男生产车间主任教授级高工单晶生长管理和技术武壮文男生产车间副主任高级工程师单晶生长技术管理和新产品开发王彤涵男质管部主任高级工程师质量管理产品性能参数测试李超女加工车间主任工程师工程师晶片加工及车间管理于红国男生产车间副主任工程师单晶生长技术骨干该项目前期已完成投资万元，主要用于设备购置原辅材料费购置研发费用工资福利费市场调研培训和其他费用，资金来源为企业自筹。管理商，公司制定了以人为本，科学管理，追求卓越，顾客至上，持续发展质量方针，尊重人才，通过培训不断提高员工素质，重视人力资源开发，倡导全员参与采用现代管理方法，使工作规范化合法化，持续提高工作效率和质量重视质量，通过推行科学质量管理，持续改进产品质量服务和管理水平提供符合顾客要求产品，达到并超过顾客满意，争取更多顾客，拓展市场持续改进质量管理体系，使公司保持同行业前列。公司年通过质量管理体系认证，并且在生产管理等每个环节都严格按要求去做，从而保证产品质量，降低生产成本。企业从事该产品生产条件产业基础本项目产品技术成熟，年通过了中科镓英半导体所需温度分布，也要经过反复实验研究不断优化。经过几年开发，本项目单位已在国内独家掌握了该项技术，该项技术达到世界先进水平。关键技术先进性本项目产品年月通过了中国有色金属工业协会组织科技成果鉴定，鉴定结论为该项目利用本单位独创石英舟预处理技术生长系统设计和制造技术，固液界面特种加热炉设计和制造技术，研究开发了本项目产品生长工艺技术和晶片加工工艺技术。通过提高单晶单炉产量和成品率，提高晶片加工成品率，实现了水平砷化镓单晶材料产业化，达到了预期目标。该项目技术达到国际先进水平，产品质量也达到国际先进水平，同类商品国际市场占有率接近。该产品与日本住友电工相比，各项技术指标均达到或高于其产品。产品技术性能水平与国内外同类产品比较单晶产品产品形式有单晶锭和单晶片两种，主要有型掺单晶和型掺单晶两种，主要用于包括红外和高亮度等光电器件衬底，本项目单位国瑞公司生产这两种单晶各项技术指标与国际同类产品致，完全达到了国际同类产品先进水平，本产品与日本住友电工公司各项指标对比如下北京有研总院国瑞公司日本住友电工产品类型技术指标型掺晶片直径，产品类型技术指标型掺晶片直径，项目承担单位在实施本项目中优势研发能力强是本单位固有优办已经突破，其余技术完全能够实现，项目产品目前已通过权威部门检测和鉴定，鉴定结果为国际先进。项目目前已有部分产品销售国内外，用户中包括日本住友电工公司韩国公司等世界知名企业和中科镓英公司等国内用户，对该产品用户致反映良好。营销优势公司位于廊坊市经济技术开发区，拥有水平生产厂房，公司研发基地在北京有研总院。公司在水平生产技术方面处于国际先进水平，公司是国内唯批量生产水平晶片晶片企业。公司成立了由具有多年水平研究开发经验专业人员组成销售队伍，这支队伍熟悉本项目产品各项性能指标，了解客户需求，比较利于开展工作。同时，由于本项目产品性价比高于国外同类产品，因此在国际上具有强竞争力。目前产品已经进入国际市场，被日本住友电工集团韩国公司等世界知名企业应用。日本住友电工集团向对外来产品要求极为严格，本公司产品能够大量进入该集团，说明本产品极具竞争力。管理优势我公司拥有支素质高业务精专业搭配合理管理队伍，公司员工具有大专以上学历。管理团队知识层次高，具有高度凝聚力勇于开拓创新性和丰富管理经验。高素质员工群体现代科学管理方式可靠质量保证体系完美结合，使产品质量得到充分保证。公司在日常生产和管理中，注重提升员工质量意识，在员工头脑中筑起了质量保证长城。公司质量控制管理体系严格按照施行，公司已于年通过该认证。公司按照建立现代企业制度要求，制定了整套完备管理制度，包括人事管理制度财务管理制度销售管理制度技术开发奖励制度等。实行物质奖励与精神奖励相结合，奖酬激励人才使用激励与企业文化激励相结合，短期激励与长期激励相结合综合激励方式。自公司成立以来，凭借自身雄厚实力和良好管理体制，在国内外用户中树立了良好形象。这为本项目顺利实施提供了制度上保障。第二章技术可行性分析项目技术路线工艺设备合理性和成熟性关键技术先进性项目技术路线多晶合成单晶生长晶体加工工艺流程为装管脱氧封管多晶合成约小时多晶清洁处理封管余掺杂剂放籽晶装入单晶炉单晶生长天熔料接籽晶走车生长单晶降温出炉晶体测试工艺及设备合理性和成熟性自行设计单晶生长系统本项目研发生产采用自行设计水平砷化镓单晶生长系统，该生长系统在国际上未见成型产品，本项目单位根据多年工艺技术积累，选用精密温控仪表欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组合，可保证在长达天单晶生长过程中温控精度，炉体移动速度最低时小时爬行不大于。采用优质管支撑石英反应管使石英反应管长期处于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径扩大不超过。石英舟预处理技术单晶生长是在密封于石英反应管中石英舟中进行，因此首先要解决是石英舟与熔体粘舟问题。只有不粘舟才能保证单晶生长顺利，不出多晶孪晶。生长完成后，晶体易从舟中取出脱舟良好且生长晶体完整性好符合产品技术指标。这个问题曾是困扰单晶生长个较严重问题。很多单位曾试用过石英舟表面涂碳，碳舟虽可避免粘接问题，但碳易大量掺入晶体成为有害杂质，从而使晶体报废。本项目承担单位国瑞公司经多年研究实践找到了解决粘接问题良好方法，成为本公司项独特专有技术石英舟预处理技术,该项技术主要是在适当溶剂中进行热处，它可保证在长达天单晶连续生长中，熔体与舟不粘接，单晶生长完成后，单晶顺利脱舟。纵向温度分布技术通过中高温热场合理配置，提高晶片纵向均匀性，有利于提高成品率。本项目所设计水平单晶炉是种多段式两温区炉，只有热场配置合理即温度梯度合适才有可能生长出合格单晶，公司技术人员经过反复实验比较不断优化，设计出了合理热场，优化了温度分布，为提高单晶生长成品率实现该工艺产业化创造了又个有利条件。本项目中，单晶生长采用两步法，即先合成多晶然后再次备料生长单晶，备好多晶放入两温区多段加热炉中生长单晶谓之无砷端生长技术。两温区炉高温区温度为。中温区为。这种加热结构既得到所需温度分布，又可抑制生长过程中污染。污染是由于舟石英管都是石英即材料易于使并入熔体和单晶中。抑制污染机理是在合成和晶体生长中，高温区发生熔体中与石英反应分别表示液固气相。反应使进入，反应使部分与反应生成气相逸出，二者差值，造成中并入。高温区气相扩散到中温区发生如下反应反应消耗了，使反应向右继续进行，加剧了向中并入。反应与温度关系密切，如将温度升到以上，反应基本停止，从而可抑制反应向右方进行故将该温区温度维持在以上。我们对多段炉设计，各段炉温单独控制及其协调配合控制也进行了反复实验单晶生长系统生产线，年产单晶，使我国单晶年产量首次突破，我国单晶材料研究由长期实验室阶段向产业化迈出了第大步。国瑞电子材料有限责任公司年月注册成立，由北京有色金属研究总院和有研半导体材料股份有限公司共同出资组建。注册资金万元，有研总院占股份，对该公司有绝对控股权，原有研总院该项目研发人员全部转入国瑞公司继续水平砷化镓项目研究与开发工作。目前企业拥有单晶生产系统台及相应晶片加工切