高纯三氯氧磷工程项目立项初步设计报告

目前国际上从事工艺化学品研发及生产主要有德国及公司占全球市场份额美国公司占全球市场份额，公司占全球市场份额，公司占全球市场份额日本占全球市场份额，占全球市场份额。

另外还有日本关东株式会社住友合成德川三菱，我国台湾地区长春中华长新化学，韩国等公司。

在技术方面，美国德国日本韩国及我国台湾地区目前已经在规模生产技术用工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺研究并开始规模生产。

公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品核心技术，投入生产可以替代进口，填补国内生产电子级三氯氧磷产品空白。

提升我国在该领域技术水平，打破国内外产品垄断。

项目主要内容创新点项目主要内容是电子级三氯氧磷在贵州实验室取得成功基础上进行电子级三氯氧磷试产，以及对电子级三氯氧磷包装安全运输等进行研究，并推动其它高附加值磷化产品电子级磷酸亚磷酸三甲酯等系列化开发，创造出其有国内先进水平技术或产品。

建设年产吨电子级三氧氧磷生产线，达产后年产值万元以上。

项目产品可广泛应用于半导体光电子产业太阳能电池高纯化合物半导体等工业。

产品生产技术处于国内先进地位。

项目技术创新点在于从原材料开始严格控制各道工序提纯及防止杂质元素二次污染，能有效保证产品质量，产品质量达到国际标准。

产品纯度高，稳定性好，达到国际标准，其单项杂质最高含量为。

原材料可以是黄磷，也可以是红磷。

将塔板精馏器运用到三氯化磷精馏中，可以将杂质元素从几十个降到几个甚至零点几个。

原材料利用率高过程废气废水容易处理。

研究主要过程可行性研究报告编制之前，项目组到现场认真仔细地落实了设计条件，结合该公司所在江苏经济开发区工业园区实际情况，根据该公司提供设计基础资料，依据原化工部化工建设项目可行性研究报告内容和深度规定及国家有关规定编制了本报告。

研究结论该项目技术较先进，设备可立足国内。

充分利用新招聘技术人员管理人员及管理经验。

通过技术及财务评价看出，该项目可为高新技术企业产品附加值高，可以为国家创造较好经济效益和社会效益。

因此该项目建设是有意义，项目是可行。

第二章市场需求预测和拟建规模项目产品市场调查与竞争能力预测项目产品市场调查项目产品可广泛应用于半导体光电子产业太阳能电池高纯化合物半导体等工业。

产品生产技术处于国内先进地位。

目前，中小规模上技术分立器阜生产厂家及晶体硅太阳能电池光纤制造厂家对于级三氯氧磷需求总量将达到吨年以上大规模集成电路英寸晶圆，技书术及超大规模集成电路和英寸晶圆和技术极大规模集成电路英寸晶圆，技术生产线及厂家按月生产万片硅片生产线平均需三氯氧磷千克月用量计算，年需相当于Ⅳ级大约在吨年规模，并呈每年以上增长态势三氯氧磷国内外需求量国内吨年，国际吨年。

电子级三氯氧磷产品是超大规模集成电路制作过程中关键性基础化工材料之，主要用于芯片型掺杂，它纯度和洁净度对集成电路成品率电性能及可靠性都有着十分重要影响。

目前国际上从事工艺化学品研发及生产主要有德国及公司占全球市场份额美国公司占全球市场份额，公司占全球市场份额，公司占全球市场份额日本占全球市场份额，占全球市场份额。

另外还有日本关东株式会社住友合成德川三菱，我国台湾地区长春中华长新化学，韩国等公司。

在技术方面，美国德国日本韩国及我国台湾地区目前已经在规模生产技术用工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺研究并开始规模生产。

项目所需主要原材料为工业黄磷。

目前有黄磷生产企业家，黄磷生产能力为万吨，实际产量已超过万吨位于全国第二位，黄磷供应量足够满足公司生产所需并具有地域上优势。

竞争能力预测公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品核心技术，投入生产可以替代进口，填补国内生产电子级三氯氧磷产品空白。

提升我国在该领域技术水平，打破国内外产品垄断。

目前，国内尚无大规模同类产品生产企业，所以生产产品竞争优势明显。

第三章产品方案及生产规模产品方案产品吨年高纯三氯氧磷生产规模高纯三氯氧磷生产规模为吨年年生产天数天项目技术可行性和成熟性分析项目产品检测情况电子级三氯氧磷经过了国家微分中心检测，其产品纯度已达到或超过国际半导体设备与材料协会所制定产品质量标准达到日本公司和德国公司同类产品水平。

电子级三氯氧磷经科技部西南信息中心进步确认，结论为国内来见生产电子级三氯氧磷单项杂质不大子文献报道，也未见采用本工艺生产三氧氧磷报道，故本项目具有新颖性。

工艺特点及与现有工艺比较所具有优势电子级三氯氧磷创新点论述本包装安全运输等进行研究，并推动其它高附加值磷化产品电子级磷酸亚磷酸三甲酯等系列化开发，创造出其有国内先进水平技术或产品。

建设年产吨电子级三氧氧磷生产线，达产后年产值万元以上。

项目产品可广泛应用于半导体光电子产业太阳能电池高纯化合物半导体等工业。

产品生产技术处于国内先进地位。

项目技术创新点在于从原材料开始严格控制各道工序提纯及防止杂质元素二次污染，能有效保证产品质量，产品质量达到国际标准。

产品纯度高，稳定性好，达到国际标准，其单项杂质最高含量为。

原材料可以是黄磷，也可以是红磷。

将塔板精馏器运用到三氯化磷精馏中，可以将杂质元素从几十个降到几个甚至零点几个。

原材料利用率高过程废气废水容易处理。

研究主要过程可行性研究报告编制之前，项目组到现场认真仔细地落实了设计条件，结合该公司所在江苏经济开发区工业园区实际情况，根据该公司提供设计基础资料，依据原化工部化工建设项目可行性研究报告内容和深度规定及国家有关规定编制了本报告。

研究结论该项目技术较先进，设备可立足国内。

充分利用新招聘技术人员管理人员及管理经验。

通过技术及财务评价看出，该项目可为高新技术企业产品附加值高，可以为国家创造较好经济效益和社会效益。

因此该项目建设是有意义，项目是可行。

第二章市场需求预测和拟建规模项目产品市场调查与竞争能力预测项目产品市场调查项目产品可广泛应用于半导体光电子产业太阳能电池高纯化合物半导体等工业。

产品生产技术处于国内先进地位。

目前，中小规模上技术分立器阜生产厂家及晶体硅太阳能电池光纤制造厂家对于级三氯氧磷需求总量将达到吨年以上大规模集成电路英寸晶圆，技书术及超大规模集成电路和英寸晶圆和技术极大规模集成电路英寸晶圆，技术生产线及厂家按月生产万片硅片生产线平均需三氯氧磷千克月用量计算，年需相当于Ⅳ级大约在吨年规模，并呈每年以上增长态势三氯氧磷国内外需求量国内吨年，国际吨年。

电子级三氯氧磷产品是超大规模集成电路制作过程中关键性基础化工材料之，主要用于芯片型掺杂，它纯度和洁净度对集成电路成品率电性能及可靠性都有着十分重要影响。

目前国际上从事工艺化学品研发及生产主要有德国络，采取切实可行措施，巩固已开发市场，同时进步开发新市场。

建立较为完善技术服务网络，由销售工程师进行针对客户使用服务和信息调研，以满足不同层次用户需求。

就要充分发挥高新技术产业优势，不断进行改进和技术研发创新保持技术上优势，降低技术风险。

来提高产品竞争力。

通过有成效管理提高生产能力利用率和劳动生产率，降低成本，以具有竞争力价格，销售用户满意产品，以确立自己在目标市场对国外产品和国内产品竞争地位。

积极与当地政府和金融界合作筹措相关资金确保项目早日开工，并达产达效。

第十八章结论综合评价根据有关国家法律法规标准对拟建县化工有限公司项目现场进行了实地勘查，对该公司提供相关技术资料进行仔细分析和研究，经过全面客观论证，论证组作出如下结论县化工有限公年产吨高纯三氯氧磷生产工艺是可行，选址是合理县专属化工园区。

项目投产后企业加强内部管理，重视对从业人员培训，是能够满足安全消防职业卫生环保等需要。

本项目不属于淘汰落后生产能力工艺和产品名目第二三批其中之列。

本项目不属于关于进步加强产业政策和信贷政策协调配合控制信贷风险有关问题通知发改产业号中禁止类和限制类行业。

本项目属于高新科技产业，符合江苏省鼓励投资产业指导目录江苏省鼓励投资产业指导目录江苏省发展和改革委员会，。

因此，本项目符合当前国家产业政策。

结论通过对该项目进行经济分析看出，该项目经济效益较好，社会效益也是好，不会对周围环境造成污染，项目可行。

附件县化工有限公司选址地理位置示意图等公司。

在技术方面，美国德国日本韩国及我国台湾地区目前已经在规模生产技术用工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺研究并开始规模生产。

项目所需主要原材料为工业黄磷。

目前有黄磷生产企业家，黄磷生产能力为万吨，实际产量已超过万吨位于全国第二位，黄磷供应量足够满足公司生产所需并具有地域上优势。

竞争能力预测公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品核心技术，投入生产可以替代进口，填补国内生产电子级三氯氧磷产品空白。

提升我国在该领域技术水平，打破国内外产品垄断。

目前，国内尚无大规模同类产品生产企业，所以生产产品竞争优势明显。

第三章产品方案及生产规模产品方案产品吨年高纯三氯氧磷生产规模高纯三氯氧磷生产规模为吨年年生产天数天项目技术可行性和成熟性分析项目产品检测情况电子级三氯氧磷经过了国家微分中心检测，其产品纯度已达到或超过国际半导体设备第章总论项目名称及建设单位项目名称高纯三氯氧磷工程项目建设单位县化工有限公司法人代表项目主管部门江苏经济开发区工业园区经济发展局可行性研究编制依据和原则编制依据县化工有限公司提供设计基础资料。

化工建设项目可行性研究报告内容和深度规定修订本。

编制原则项目技术和设备立足国内。

节约用地，节省基建投资，加快建设进度。

主体工程与环境保护安全和工业卫生消防同时考虑，以消除工厂生产对周围环境及职工健康影响。

优化设计方案，提高企业经济效益和社会效精馏在石英塔板精馏器中进行，其设备便于保持蒸馏过程干净及使用后便于清洗。

④原材料利用率高过程无环境污染过程副产品稀盐酸和磷酸采用氢氧化钠和生石灰中和处理。

产品包装要求条件高，必须在超净环境下进行。

第四章工艺技术方案工艺技术路线电子级三氯氧磷工艺技术路线三氯化磷是合成三氯氧磷过程品。

三氯化磷生产必须以级黄磷或红磷为原料与经过处理高纯氯气反应，主要包括氯气黄磷生产提纯分离蒸馏等操作单元。

得到产品是生产三氧磷原料。

用高纯三氯化磷