高科锗硅集成电路芯片生产线项目投资立项申报材料

技术正好满足这些要求，因而建立英寸集成电路生产线，能扭转我国目前高频电路主要依赖器件及大部分靠进口的状态，从而促进我国相关应用领域的发展。

拓宽我国微电子产品的领域，形成我国集成电路生产及研发基地。

多年来我国微电子工业的发展缓慢，尽管截止年我国已共有条微电子生产线，但除了上海华虹的英寸产品刚进入当代国际硅主流技术水平以外，其它生产线以生产低中档产品为主。

近年来我国微电子工业发展速度有所加快，特别上海中心国际及宏力英寸生产线的建立，扩充了我国集成电路的生产能力，提高了我国集成电路的产品水平。

但是上述所有微电子生产线均未考虑器件的生产。

因此本项目集成电路生产线的建立，可以拓宽我国微电子产品的领域，本项目第二期工程拟升级成英寸加工线，并将建立集成电路研究及发展中心，最终形成我国集成电路生产及研发基地。

带动我国高频电路及系统集成芯片设计行业的发展深圳市高科实业有限公司集成电路芯片生产线项目多年来我国从事高频电路设计的科技人员均以器件为主要对象，原因是缺乏新的高频器件，本项目器件生产线的建立，为建立高频电路及系统集成芯片设计平台提供了个验证及保证的条件，从而带动我国高频电路及系统集成芯片设计行业的发展。

推动深圳市电子信息产业的进步发展电子及通信设备制造业是深圳工业的主导行业，但是深圳市的微电子工业由于起步较晚相对落后。

据统计年深圳直接使用的集成电路亿美元中，依靠进口。

在高频应用的电路中，由于采购困难更限制了相关电子产品的发展。

本项目利用少量投资，购置以翻新设备为主的英寸设备，建立条相对水平较高的集成电路生产线，不仅具有很好的经济意义，而且能缓解上述矛盾，并推动深圳市电子信息产业的发展。

项目建设的有利条件深圳具有建设高技术集成电路芯片项目的良好环境深圳与上海北京样，是国内最有条件发展集成电路芯片制造业的城市之。

深圳市为加速和鼓励发展集成电路芯片制造业，配合国务院号文精神，对该项目提出了包括地租贴息贷款和水电价格等多项优惠政策，为本项目的实施创造了有利条件。

深圳及周边珠江三角洲地区是国内集成电路主要的集散地之，华南地区集成电路消耗量占国内的半以上，同时也是中国最大的光通讯无线通讯网络设备生产开发中心，占据中国该类产品生产的以上。

年中国电子信息百强前名中有超过在深圳及其附近地区，包括华为中兴康佳德塞长城等，这些大公司使用大量集成电路，使得广东的电路进口数量占全国的。

项目具有良好的投资环境和市场环境。

此外，深圳作为中国最年轻和最具活力的国际化大都市，毗邻香深圳市高科实业有限公司集成电路芯片生产线项目港，利用靠近香港交通便利的地理优势，容易吸引优秀的国际人才，产品可方便地面向海外市场。

本项目合作方公司充分提供工艺技术人员培训工艺设备维护以及具有丰富经验的集成电路生产管理技术团队支持。

目前公司董事长吴之植先生是韩国电子部品研究院研究员，担任深港韩国电子商会会长该会成员多达多家。

本项目韩国方面组织了具有国际大公司背景和生产线建设与运营经验的技术团队，团队成员分别具有公司公司三星电子现代半导体公司韩国电子部品研究院和韩国电子通讯研究院等国际大公司或知名院所的工作背景和经历，这为本项目实施提供了强有力的保障。

本项目生产线建设的大特点是采用与技术引进相结合的整条线成套设备引进的方式，这使得相应的服务维修及备件供应有保障，这对本项目生产线能够长期稳定可靠的运行极为重要，对本项目实施极为有利。

可行性研究报告编制依据国务院年鼓励软件产业和集成电路产业发展的若干政策国发号文以及年国务院办公厅关于进步完善软件产业和集成电路产业发展政策有关问题的复函。

政策规定鼓励发展集成电路产业，并提出多项优惠政策。

国家发展计划委员会和科学技术部年月颁发的当前优先发展的高技术产业化重点领域指南第条规定，集成电路是信息化产业发展的基础。

集成电路产业包括电路设计芯片制造电路封装测试等，需重点发展。

外商投资产业指导目录年版条鼓励集成电路设计与线宽微米及以下大规模集成电路生产。

深圳市高科实业有限公司与亚洲集团有限公司深圳市高科实业有限公司集成电路芯片生产线项目关于在深圳市成立合资公司的协议书。

深圳市政府关于建设超大规模集成电路生产项目优惠政策的相关文件。

深圳市高科容通过公司引进本项目所需集成电路生产技术，以及硅功率器件等生产技术。

引进技术的方式包括相关的技术资料和技术文件技术使用许可提供相关技术人员以保证技术的实现与项目的达产。

建设项目所需生产厂房和配套建筑，合计新建面积，其中生产及支持厂房，动力厂房倒班宿舍购置生产能力为月投英寸硅片片的芯片生产线翻新设备，经翻新和部分设备改造主要是外延设备，形成集成电路与功率器件兼容的芯片生产线。

在期工程中，该生产线除了进行少量自有产品的生产之外，主要承接外公司的芯片加工任务，生产线也未包含芯片与产品的批量测试设备。

深圳市高科实业有限公司集成电路芯片生产线项目建设相应的动力配套设施总图本项目期工程用地位于深圳市宝龙工业园区，用地面积，规划建筑包括生产厂房和动力厂房综合楼多功能中心专家楼倒班宿舍化学品库气站等，见总平面布置图。

建筑结构设计生产厂房根据集成电路生产的特点，厂房分为大跨度的核心净化生产区和生产动力支持区。

厂房主体结构为钢筋混凝土框架结构，核心净化区楼柱网，二楼为大型钢屋架，屋架跨度。

二楼穿孔楼板为现浇钢筋砼，屋面结构板为现浇钢筋砼。

建筑层高为，建筑占地面积，建筑面积。

动力厂房动力厂房为单层框架结构，柱网尺寸，本项目新建，建筑层高。

建筑服务系统空气处理系统空调净化净化生产厂房生产层设计净化级别为级，外延生产设备采用微环境形式达到级。

空气流动型式风机过滤器洁净室架空地板下夹层回风竖井送风静压箱。

深圳市高科实业有限公司集成电路芯片生产线项目新风处理新风初效过滤器中效过滤器预加热盘管化学过滤器消声器风机消声器冷却盘管二级加热盘管加湿器空调生产管理区设置中央空调系统或新风风机盘管系统。

温度湿度。

变电站设置空调系统，控制最高温度。

通风排烟系统通风系统对卫生间设置通风系统，换气次数次。

在存放或使用易燃易爆有毒物质的房间设计事故排风，换气次数次。

对未设置空调系统的洗涤塔间废水处理站纯水站锅炉房应急发电机房机械设备房，设置通风系统，换气次数次，控制温度不超过。

排烟系统净化间的上下技术夹层设置排烟管道。

冷冻水系统冷冻水供给外气负荷室内负荷工艺冷却水系统纯水系统，估算冷量为月产片时。

冷冻站系统组成离心式冷水机组冷冻水次泵冷冻水二次泵闭式膨胀罐加药装置管道及阀门附件保冷材料等。

设备选择与站房深圳市高科实业有限公司集成电路芯片生产线项目选择低温水冷离心式冷冻机组台，用备，单台制冷量为，站房设置在动力厂房。

空调热水系统热水供给空调净化系统纯水系统加热，采用热水加热，热负荷估算为。

系统组成燃气热水锅炉循环水泵热回收系统热交换器闭式膨胀罐管道及阀门附件保温材料等。

设备选择与站房选择燃气热水锅炉台，其中台为备用，单台，供回水温度为。

站房设置在动力厂房。

机械冷却水系统冷却水供给冷却冷水机组温度流量冷却空压机组温度流量系统组成冷却水循环泵玻璃钢冷却塔水处理装置自动加药装置型管道过滤器管路系统等。

设备选择与站房选用台横流式冷却塔，用备，每台冷却水量。

冷却塔设于动力站房屋顶，水泵设置在动力厂房内。

冷水自来水系统深圳市高科实业有限公司集成电路芯片生产线项目消耗量每天消耗量夏天最大小时平均消耗量管网与水池设计公司申请两路进水，接管。

项目在新建动力厂房地下层设置水池，供生产和消防使用。

水消防系统见消防章节说明净化间清扫真空系统清扫真空站设于生产厂房层。

选用离心式多级真空泵各套，配带排气消音器，其真空量为，真空压力为，每套按个清扫口进行设计。

液化石油气供应新增燃气热水锅炉，园区有管道液化石油气供应，预计项目消耗。

工艺服务系统工艺设备冷却水系统工艺设备冷却水供给生产设备冷却用，流量，温度。

系统补充水水质为出水，工艺设备冷却水系统采用板式水换热器，水泵为变频水泵。

纯水系统纯水供给深圳市高科实业有限公司集成电路芯片生产线项目生产硅片清洗腐蚀生产工具器具石英制品清洗洁净服清洗消耗量系统设计纯水系统分成前处理和后处理两部分，设在动力厂房层。

前处理部分首先由纯水原水泵从生产消防合用贮水池取水，加压送至纯水站，经机械过滤活性碳过滤等预处理后，由热交换器换热至，再经过保安过滤器过滤，进入二级装置，制成纯水，进入初级纯水箱。

水同时作为工艺冷却水和机械冷冻水的补充水，浓缩水作为洗涤塔用水和部分冷却塔补充水。

后处理部分由纯水加压泵从初级纯水箱取水，经杀菌脱气离子交换进入终端纯水箱，最终由纯水输送泵经杀菌热交换器混床超滤送至用户，循环回水再回至终端纯水箱。

干燥净化压缩空气系统供给消耗量片时，使用点压力，压力露点，微粒。

系统组成空压机储气罐预过滤器无热再生干燥器终过滤器管道及阀门附件。

设备选择与站房经过滤器过滤后的空气经空压机压缩后进入储气罐，再经预过滤器无热再生干燥器干燥后进入终端过滤器，干燥净化后的压缩空气经主配管送至厂房分配系统。

深圳市高科实业有限公司集成电路芯片生产线项目选择无油润滑螺杆式水冷空压机台，用备，空压机单台排气量为，排气压力为。

选用无热再生干燥器台，单台装置处理干燥空气气量为，干燥器前后设过滤器。

站房设置在动力厂房。

工艺真空系统供给生产设备吸附硅片用。

消耗量，使用点真空压力。

系统组成真空泵热交换器真空缓冲罐管道及阀门附件等。

设备选择与站房水冷水环式真空泵台，其中备用台。

其规格为，真空压力为，配带冷冻水热交换器。

选择的真空缓冲罐个。

站房设置在动力厂房。

大宗气体供应系统大宗气体包括工艺氮气普通氮气工艺氧气工艺氢气工艺氩气工艺氦气等。

这些大宗气体均需由管道供气至设备使用点。

专业气体公司将负责大宗气体的供应，满足使用量和质量要求，公司在使用时根据用量支付费用。

项目在层设计大宗气体入口，专业气体公司负责入口以前的所有管道设备。

项目配置入口室到设备使用点的预过滤器纯化器后过滤器气体