和良好 的管理体制，在国内外用户中树立了良好的形象。这为本项目的顺利实施提供了 制度上的保障。 第二章技术可行性分析 项目技术路线工艺设备的合理性和成熟性关键技术 的先进性 项目技术路线 多晶合成单晶生长晶体加工 工艺流程为装管脱氧封管多晶合成约小时多 晶清洁处理封管余掺杂剂放籽晶装入单晶炉单晶生长天 熔料接籽晶走车生长单晶降温出炉晶体测试 工艺及设备的合理性和成熟性自行设计的单晶生长系统 本项目研发生产采用自行设计的水平砷化镓单晶生长系统，该生长系统在国 际上未见成型产品，本项目单位根据多年工艺技术积累，选用精密的温控仪表 欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组 合，可保证在长达天的单晶生长过程中温控精度，炉体移动速度 最低时小时爬行不大于。采用优质管支撑石英反应管使石 英反应管长期处于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径 扩大不超过。 石英舟的预处理技术 单晶生长是在密封于石英反应管中的石英舟中进行的，因此首先要 解决的是石英舟与熔体的粘舟问题。只有不粘舟才能保证单晶生长顺利，不出 多晶孪晶。生长完成后，晶体易从舟中取出脱舟良好且生长的晶体完整 性好符合产品技术指标。这个问题曾是困扰单晶生长的个较 严重问题。很多单位曾试用过石英舟表面涂碳，碳舟虽可避免粘接问题，但 碳易大量掺入晶体成为有害杂质，从而使晶体报废。本项目承担单位国瑞 公司经多年研究实践找到了解决粘接问题的良好方法，成为本公司项 独特的专有技术石英舟预处理技术，该项技术主要是在适当的溶剂中进行 热处理，它可保证在长达天的单晶连续生长中，熔体与舟不粘接，单晶生长 完成后，单晶顺利脱舟。 纵向温度分布技术 通过中高温热场的合理配置，提高晶片的纵向均匀性，有利于提高成品率。 本项目所设计的水平单晶炉是种多段式两温区炉，只有热场配置合理即温度梯 度合适才有可能生长出合格单晶，公司技术人员经过反复实验比较不断优化， 设计出了合理热场，优化了温度分布，为提高单晶生长成品率实现该工艺的产 业化创造了又个有利条件。本项目中，单晶生长采用两步法，即先合成多晶然后再次备料生长单 晶，备好的多晶放入两温区多段加热炉中生长单晶谓之无砷端生长技术。两 温区炉高温区温度为。中温区为。这种加热结构既 得到所需的温度分布，又可抑制生长过程中的污染。 污染是由于舟石英管都是石英即材料易于使并入熔体和单 晶中。抑制污染的机理是 在合成和晶体生长中，高温区发生熔体中的与石英反应 分别表示液固气相。 反应使进入，反应使部分与反应生成气相 逸出，二者差值，造成中的并入。 高温区的气相扩散到中温区发生如下反应 反应消耗了，使反应向右继续进行，加剧了向中 的并入。反应与温度关系密切，如将温度升到以上，反应基 本停止，从而可抑制反应向右方进行故将该温区温度维持在以上。 我们对多段炉的设计，各段炉温的单独控制及其协调配合控制也进行 了反复实验研究并不断进行了优化，对提高单晶生长成品率发挥了重要作用。 单晶生长速度有时也称为结晶速度本工艺中视为石英反应管相对于加热 炉的相对移动速度是另个重要的技术参数因为熔体结晶的快慢与结晶潜 热的产生，正常传递密切相关，结晶速度控制不当，会严重干扰内加热炉所形 成的温度分布，进而影响单晶正常生长，本项目在对热场配置进行优化时，兼 顾了采用合适的结晶速度这重要参数。固液界面特种加热炉 可很好调整固液界面形状，这对生长不同晶向晶体降低位错密度，提高 成品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状的控制是提高成品率的关键技 术。在水平单晶生长过程中，无法完全按器件制造所要求的晶向生长，即晶体生 长方向与晶片的晶向有定的夹角，这导致了水平单晶的切片，般都要 斜切因而切片技术难度较大，为使所切晶片上电学参数尤其是载流子 浓度均匀分布，固液界面也必须与生长方向成定角度。因为杂质主要是掺 杂剂的分凝是以固液界面为界线的，如果单晶生长过程中固液界面与生长 方向之间角度和所切晶片晶向与单晶生长方向之间角度不致，所切晶片上的载 流子浓度会形成浓度梯度，即得不到均匀分布，这会对在晶片上生长 外延材料及器件的成品率和性能造成不良影响。角度不致还有可能在晶体内部 出现热应力而导致晶体完整性差，使增大，从而降低成品率。国内外在水平 单晶研究开发中，多年来都是使用管状加热炉。因应 用量年复合增长率为。目前，中国美国加拿大和日本等国都制订了国家半导体照明工程。目前的白光虽以基的磷光体转换为主，但高质量 的白光光源仍应用三基色合成。这样基高亮度 也会大量用于白光光源，至于彩色照明景观装饰照明等更离不开衬底。 因此，仅在半导体照明方面的应用，其市场前景就不可限量。 目前国内外本项目产品生产厂家比较少，而市场需求量很大，并每年都有 定的增长，因此，本项目产品在市场上供不应求。由于本项目产品各项技术性能 指标达到国外同类产品指标，而价格远远低于国外产品，因此本产品自进入市场 以来受到客户的青睐，目前产品市场占有率达到。 国际市场状况及本项目产品市场占有情况 随着的广泛应用，国际市场对该产品的需求也越来越大，本产品凭借 其良好的性能指标和低廉的产品价格已经占领了国内市场，并逐步进入国际市 场。目前产品已经被日本住友电工和韩国企业，他们认为该项目产品 质量等同于日本住友电工公司的产品。国内的中科镓英公司大量购买本项目产品 经加工后亦成功进入国际市场。年预计产品可出口创汇万美元，随着 项目生产规模的扩大，该产品市场占有率将进步增加，预计五年后本项目产品 同类商品市场占有率将达到。 风险因素及对策分析 项目技术实现主要面临的风险有技术风险人员风险市场风险等。 技术风险应对措施项目承担单位国瑞公司前身是北京有色金属研究总院化 合物半导体材料研究室，从年就开始水平单晶研究，已有多年研 究开发经验，拥有支由该领域知名专家教授及长期从事该项目研究的高工组成 的研发队伍，这支队伍对该项目产品拥有绝对技术优势。该项目技术路线设计合 理，关键技术已经突破，其余技术完全能够实现，项目产品目前已通过权威部门 检测和鉴定，鉴定结果为国际先进。项目目前已有部分产品销售国内外，用户中 包括日本住友电工公司韩国公司等世界知名企业和中科镓英公司等国内用户，对该产品用户致反映良好。所以，该产品在技术上不存在任何风险。 人员风险应对措施企业或项目的成功运作离不开人力资本，尤其是高新技 术企业，高科技人才的重要性显得更为突出。企业关键技术人才的流失是企业的 巨大损失，不仅影响到研发进度，还会导致关键技术的泄漏，影响企业的市场竞 争力，对经济效益产生直接的负面影响。为减少人员流失对公司造成的损失，公 司采取如下措施 建立激励型薪酬体系。合理薪酬是留住核心员工的关键性因素之。薪 酬从作用上来划分，大致可分为两部分，部分就是员工劳动价值的回报，这 部分主要表现为保障员工及其家属的基本物质生活，主要起保健作用另部分 就是对员工起激励作用的奖励。激励型薪酬体系既能使员工得到合理的回报，又 能对员工发挥激励作用。 完善企业的绩效管理制度，及时开展绩效沟通。建立完善的绩效管理制 度，有利于对公司员工的工作业绩做出个准确公正的评判，使之对自身有 个客观的认识，也有利于企业及时了解员工工作绩效存在的问题，帮助其改善工 作绩效，提高工作满意度。 在员工群体中导入和谐的竞争机制。只有竞争才有激励，缺乏了和谐的 竞争，人的潜能是很难得到激发的。和谐的竞争机制能够使员工在和谐的交流和 合作中感受到竞争压力，从而不断超越自我，增强工作的挑战性。对核心员工 开展有针对性的培训。培训是企业塑造人才，提高竞争优势的重要手段之。对 员工开展培训，可以增强企业的核心竞争力，促进企业战略目标的达成，也有利 于将员工个体目标与企业战略目标进行整合和统，满足员工个体的自我发展的 需求，提高员工的组织归属感，增强企业凝聚力和向心力。 市场风险应对措施本项目产品近年来大量用于红外波长 和高亮度即高亮度红橙黄色， 是目前生产量和需求量最大增长率最快的化合物半导体器件之。红外 和高亮度是种应用面广，用量大的半导体器件，在各个应用领域其用量都 在大幅度增长，据统计，目前我国产量约占全球产量的，年年平均增长率为，预计今后仍将以以上的速度增长，随着不断扩 展其应用领域，不断增大应用量，对衬底的需求亦相应增长，在今后相 当长的时期内，本项目产品的需求量越来越大，市场前景非常乐观。 目前，国内外市场对本项目产品供不应求，而国内只有本项目单位在从事 单晶研究开发生产，并已有部分产品销售。本项目单位援建的新乡 厂也在进行少量试制，但未发展到批量生产。本项目产品具有很强的竞争优势。 目前本项目产品已牢牢占领国内单晶市场，并成功打入世界最大的砷化镓制 造和使用商日本住友电工，同时在韩国美国和台湾都开发了客户并拥有代理 商，形成了稳定的国内外销售渠道。 因此，本项目产品不存在市场风险。 第五章投资估算及资金筹措 项目投资估算 该项目前期已完成投资万元，主要用于设备购置原辅材料费购置研 发费用工资福利费市场调研培训和其他费用，资金来源全部为企业自筹。 本企业计划在项目执行期内新增投资万元，主要用于部分生产设备购 置研发费用原辅材料费购置工资福利费等。 资金筹措方案 新增万元投资中，企