1、“.....其重要性甚至胜过精度指标,尤其是对那些很难或无法定期鉴定的场合。造成传感器性能不稳定的原因是随着时间的推移和环境条件的变化,构成传感器的各种材料与元器件性能将发生变化。为了提高传感器性能的稳定性,应该对材料元器件或传感器整体进行必要的稳定性处理。如结构材料的时效处理冰冷处理永磁材料的时间老化温度老化机械老化及交流稳磁处理,电气元件的老化筛选等。在使用传感器时,若测量要求较高,必要时也应对附加的调整元件,后续电路的关键元器件进行老化处理。传感器的发展趋势传感器的发展就如同其他产品的发展样,不仅取决于专业的技术水平材料的使用,还取决于工艺等很多方面。对于新型工艺的使用在发展新型传感器中,离不开新工艺的采用。新工艺的含义范围很广,这里主要指与发展新兴传感器联系特别密切的微细加工技术。该技术又称微机械加工技术,是近年来随着集成电路工艺发展起来的,它是离子束电子束分子束激光束和化学刻蚀等用于微电子加工的技术......”。
2、“.....例如溅射蒸镀等离子体刻蚀化学气体淀积外延扩散腐蚀光刻等,迄今已有大量采用上述工艺制成的传感器的国内外报道。以应变式传感器为例。应变片可分为体型应变片金属箔式应变片扩散型应变片和薄膜应变片,而薄膜应变片则是今后的发展趋势,这主要是由于近年来薄膜工艺发展迅速,除采用真空淀积高频溅射外,还发展了磁控溅射等离子体增强化学汽相淀积金属有机化合物化学汽相淀积分子束外延光技术,这些对传感器的发展起了很大推动作用。如目前常见的溅射型应变计,是采用溅射技术直接在应变体即产生应变的柱梁振动片等弹性体上形成的。这种应变计厚度很薄,大约为传统的箔式应变计的十分之以下,故又称薄膜应变计。溅射型应变计的主要优点是可靠性好,精度高,容易做成高阻抗的小型应变计,无迟滞和蠕变现象,具有良好的耐热性和冲击性能等。用化学气相淀积法制备薄膜,以其成膜温度低可靠性好系统简单等优点而发展很快,在制备多晶硅微晶硅传感器方面有许多报道......”。
3、“.....目前已极少采用机械方法加工硅杯,而改为可控的化学腐蚀方法,如各向异性腐蚀凸角补偿和法等,化学腐蚀方法,可做到工艺稳定,硅杯尺寸很小,膜片均匀度很高,结构从形形双岛发展到梁膜式,性能和生产率都有很大提高。传感器集成化包括两种定义,是同功能的多元件并列化,即将同类型的单个传感元件用集成工艺在同平面上排列起来,排成维的为线性传感器,图象传感器就属于这种情况。集成化的另个定义是多功能体化,即将传感器与放大运算以及温度补偿等环节体化,组装成个器件。目前,各类集成化传感器已有许多系列产品,有些已得到广泛应用。集成化已经成为传感器技术发展的个重要方向。随着集成化技术的发展,各类混合集成和单片集成式压力传感器相继出现,有的已经成为商品。集成化压力传感器有压阻式电容式等类型,其中压阻式集成化传感器发展快应用广。自从压阻效应发现后,有人把个力敏电阻构成的全桥做在硅膜上,就成为个集成化压力传感器......”。
4、“.....其性能与国外同类产品相当。由于采用了集成工艺,将压敏部分和集成电路分为几个芯片,然后混合集成为体。提高了输出性能及可靠性,有较强的抗干扰能力,完全消除了二次仪表带来的误差。年代国外就出现了集成温度传感器,它基本上是利用晶体管作为温度敏感元件的集成电路。其性能稳定,使用方便,温度范围在。国内在这方面也有不少进展,例如近年来研制集成热电堆红外传感器等。集成化温度传感器具有远距离测量和抗干扰能力强等优点,具有很大的实用价值。传感器的多功能化也是其发展方向之。所谓多功能化的典型实例,美国大学传感器研究发展中心研制的单片硅多维力传感器可以同时测量个线速度个离心加速度角速度和个角加速度。主要元件是由个正确设计安装在个基板上的悬臂梁组成的单片硅结构,个正确布置在各个悬臂梁上的压阻敏感元件。多功能化不仅可以降低生产成本,减小体积......”。
5、“.....为同时测量几种不同被测参数,可将几种不同的传感器元件复合在起,作成集成块。例如种温气湿三功能陶瓷传感器已经研制成功。把多个功能不同的传感元件集成在起,除可同时进行多种参数的测量外,还可对这些参数的测量结果进行综合处理和评价,可反映出被测系统的整体状态。由上还可以看出,集成化对固态传感器带来了许多新的机会,同时它也是多功能化的基础。传感器与微处理机相结合,使之不仅具有检测功能,还具有信息处理逻辑判断自诊断以及思维等人工智能,就称之为传感器的智能化。借助于半导体集成化技术把传感器部分与信号预处理电路输入输出接口微处理器等制作在同块芯片上,即成为大规模集成智能传感器。可以说智能传感器是传感器技术与大规模集成电路技术相结合的产物,它的实现将取决于传感技术与半导体集成化工艺水平的提高与发展。这类传感器具有多能高性能体积小适宜大批量生产和使用方便等优点,可以肯定地说,是传感器重要的方向之。智能传感器又叫灵巧传感器......”。
6、“.....飞船上天后需要知道其速度位置姿态等数据。为使宇宙员能正常生活,需要控制舱内的温度湿度气压加速度空气成分的工作来协助这些类型的客户的问题。有时,设计师通常认为个霍尔效应传感器将不能够解决小电流的问题。只要我们有人们手中的样本,我们就有使得最终成功很好的设计迈克说。当然,迈克指出,有个领域,所有的买家和供应商必须正视你显然仍希望看到的下列情况,购买成本不如购买欲低。找到二者之间的折中的办法,可能是我们面临的更困难的任务之。附录程序代码相关源程序如下显示内容,定义到代码段函数声明延时,函数名称入口参数型出口参数无功能描述短暂延时,使用晶体,约函数名称入口参数型出口参数无功能描述写数据到短暂延时,代替检测忙状态短暂延时,代替检测忙状态函数名称入口参数型出口参数无功能描述写命令到短暂延时,代替检测忙状态短暂延时......”。
7、“.....型出口参数无功能描述设置光标位置,是列号,是行号函数名称入口参数型,型,型出口参数无功能描述在具体位置显示单个字符,是列号,是行号,函数名称入口参数型,型,指针型出口参数无功能描述在具体位置显示字符串,以结束,是列号,是行号显示第行,从第个位置开始显示第二行,从第个位置开始初始化定时器工作方式初始化定时器值初始化定时器值启动定时器启动定时器定时器使能定时器使能总中断允许显示清屏标志到清标志计算频率值循环八次将八个显示换冲区清零计算每位数值缓冲区循环六次将数值缓冲区中的数存入显示缓冲区循环六次循环八次将八个显示换冲区清零计算每位数值缓冲区循环六次将数值缓冲区中的数存入显示缓冲区次计数值清零脉冲计数值清零计数值清零计数值清零再次启动下次的计数定时器中断,满个脉冲,则重新规定计数初值为如果满足个......”。
8、“.....本设计中就介绍了种气压的实时显示设备。它是利用软硬件基础知识,通过单片机与气压传感器的结合,使得在液晶显示器上显示出当前大气压值。本文详尽的描述了基于气压计的软硬件实现过程。设计是基于气压传感器的精密数字气压计系统。通过气压传感器获得与大气压相对应的模拟电压值,并经过电压频率转换模块转换为数字脉冲,通过单片机接收该脉冲信号,得到单位时间内获得的脉冲数,依据电压与频率的线性关系式计算出所对应的实际气压值,最后在单片机的控制下由液晶显示电路显示出实际气压值......”。
9、“.....般把作用于单位面积上空气柱的重量称为大气压力,简称气压。气象学研究表明,在空间垂直方向上气压随高度增加而降低,这种变化的幅度在近表面和高空时又有所不同,近地表时气压随高度增加而降低的幅度最大,越到高空这种变化越缓慢。气压还会受空气中的气流影响,若空气中有下降气流,气压会增加若空气中有上升气流,气压会减小。本课题要求利用单片机控制实现气压计功能,而单片机的接口信号必须是数字信号,因此想要用单片机获取气压这类非电信号的信息,必须使用气压传感器。气压传感器的作用是气压信息转换成电流或电压输出,转换后的电流或电压输出常为模拟信号因此还必须进行转换......”。
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