这种磁场结构的主要因素是线圈位置和电流大小，调节线圈电流和线圈位置，可改变磁场分布形态。根据次级线圈电流大小当电流大于零时，是相对于主线圈来说的可以将磁场分布形态分为发散型磁场分布磁镜型磁场分布和会切型磁场分布。在广泛的体流量工作气压微波功率基体偏压等宏观参数对金刚石薄膜的生长薄膜的刻蚀等有着非常重要的影响，而实际真正起决定作用武汉工程大学邮电与信息工程学院毕业论文的却是空间电位等离子体密度电子及离子温度等微观参数。而在实际操作中，控制的是宏观工艺参数，但是这些参数的改变是随着设备的不同而改变，所以这就使得般的工艺参数对结果的影响变得十分困难，因此等离子体诊断显得尤为重要，它可以为实验和生产提供指导和依据。离子体参数诊断子参数的诊断随着科技的日新月异，微波电子回旋共振离子体在新材料的制备绿色能源微电子加工表面改性等方面占有越来越重要的地位。在实际的应用过程中，离子参数如离子密度子温度及离子分布等的测量对于分析和了解离子成分性质及它们的作用有着重要的意义。就目前而言，国内外对于离子的测量般采用的方法有光发射谱测定法静电离子分析器法激光诱发荧光谱测定法离子灵敏探针法等。在这些测量方法中，离子灵敏探针法具有设备价格便宜操作过程简单操作原理简单等优点，所以相比较其它方法，是种较为可取的测量方法。而我们实验室就是采用的离子灵敏探针进行测量的。子参数的诊断在电子回旋共振等离子体中测量电子参数的方法很多，如光发射谱法微波透射法射法郎缪尔探针等等。而光发射谱法和郎缪尔探针是目前测量低温等离子体参数使用最多的方法。以下就这两种方法进行介绍。光发射谱法的基本测量原理是因为在等离子体中的激发态粒子和解离态的粒子会以电磁波的形式发出特定波长的光，继而据之即可判断等离子体中发光粒子的种类与能阶能量差粒子吸收的能量。许多等离子体内部特性，例如等离子体反应物物种的分析反应物浓度的变化与电子能量及气体温度变化等，都可经由光发射光谱分析而获知。在等离子体达到热平衡或局域热平衡，根据该谱图中各峰的相对强度，可以由下式计算等离子体的电子温度上式中为谱线和谱线的强度分别为辐射跃迁几率上能级统计权重,分别为波长激发能量曼常数据实验数据可得，通过积分特征谱线下的面积计算谱线的强度比，便可计算出电子温度子密度可以采用斯塔克展计算得出。光发射光谱法的优点它只是将等离子发出的光收集起来分析，并不干扰等离子体行为缺点是计算过程太复杂，设备太过昂贵。相比较于光发射光谱法，最初的朗谬尔探针是收集探针，它有许多技术弊端，比如武汉工程大学邮电与信息工程学院毕业论文测量的等离子体空间电位不准确，电子饱和电流的测量有很大的随意性等，故其基本上不用于诊断电子密度和空间电位。之后又逐步发展了双悬浮探针发射探针和差分探针。双悬浮探针的测量回路相对于等离子体是悬浮的，因此对等离子体的干扰不大，用于测量电子温度与饱和离子电流非常合适，它的主要优点是阻断了探针与等离子体之间的导电回路，避免了探针尖的二次辉光问题其缺点是应用于等离子体电子密度的诊断不太准确，空间分辨率不高，且放电过程中探针的污染问题依然没有解决。离子体应用由于所以它的应用也极为广泛。如利用其高离子密度的特点，可进行固体薄膜的物理气相淀积离子体刻蚀利用其高活性自由基，可实现薄膜的室温等离子体化学气相沉积金属表面的氧化氮化改性有机物的灰化和聚合另外，在利用行离子注入掺杂制备薄膜图形散细加工离子注入掺杂等方面的应用中，微波以上应用以外，它还在新材料微电子光电子集成电路制造工艺等方面表现出极大的优越性。下面分别就上述的三个特点简单介绍以下应用。波等离子体的工作气压低于子密度大于离子能量小于离子能量分布在较窄的范围内，因此在刻蚀技术方面有很大的发展潜力，早期的波等离子体就是用于刻蚀硅的，高密度的波等离子体出现后，可以在晶片上刻蚀出图样，且精度较高。目前应用该技术已经使得多种材料的刻蚀速率达到以上。离子体反应离子刻蚀是种低能离子反应，离子能量在内，与射频反应离子刻蚀和离子束刻蚀中的高能离子相比，它减少了粒子对样品表面的损伤，另外由于它采用的是反应离子刻蚀法，在样品上加有射频装置。适合于各向异性刻蚀，而且其剖面控制可达以上，这种方法的刻蚀线宽为择性高。在离子体刻蚀过程中，当被刻蚀的图形和宽度与离子鞘层的宽度大致相当时，刻蚀图形对入射离子产生干扰作用，致使离子不能垂直入射，般将这种现象称为微负载效应，造成的后果往往是刻蚀的图形宽度不同，刻蚀速率各异图形间距不同，刻蚀形状有别。为避免这种情况出现，需要在电磁铁的布置等方面采取措施，如将满足件的区域，在基板附近扩大为平面状，此外，保证基板附近的磁场不为发散状，而为平行的磁场分布，在大电流下，以均匀，平行的等离子体流照射基板，来抑制微负载效应，达到均匀，微细化刻蚀的目的。离子体镀膜在镀膜方面离子体主要有两大用途是离子体化学气相沉积二是离子体溅射镀膜。如下图所示为离子体镀膜装置结构图。武汉工程大学邮电与信息工程学院毕业论文图离子体构示意图因为电离度工作气压低无电极污染等优点，可以在低温下快速沉积出高质量的薄膜。所以类金刚石薄膜准物上较合理的感觉，图珠大厦来源本人拍摄表现出个好的居住环境。地制宜及乡土文化在绿化设计中，许多开发商都盲目追风，追赶潮流，如在些不该挖湖的地段，为了营造所谓湿地景观，溪流景观等，生硬套弄，再加上未充分考虑植物生长习性，以此营造出的景观不伦不类，失去应有的光彩，以致绿化变样。如图所示的这幅景观图，景观效果还是挺不错。图春花园来源本人拍摄第二章小区住宅绿地设计应考虑和注意的内容体化设计，节省空间在对住宅小区绿化的植物配置上，不单平面化设计，更要起到丰富层次的效果，提倡种林荫式的立体化模式。这种模式化下，可以充分的将乔木，灌木，草不能等科学化，合理性的复层种植。在当前，这种模式不仅营造种大自然的氛围，与地面建立起良好的视觉联系，并且也发挥这些植物的林荫效果。比如，像室外花架这种能引导，如卷须类植物绕类植物这些可丰富建筑小品的单图藤花架来源网络调，还能营造出种氛围。立体化设计不仅能增添住宅区间的美化效果，彩化效果，同时使它富有柔和的生命力，展现美的特征。重植物配置的季节因素植物配置在形态外，植物的色彩四季的变化在园林中的效果也很重要。因此，植物配置既要四季常青，又要四季变化，花开不断。如宋代文学家欧阳修就曾写过浅深红白宜相间，先后仍须次第栽，我欲四时携酒来，莫叫日不开花，来表达植物四季变化所带来的丰富。故季节的时间性上，要多做功夫，比如相应的季节，可以略微调整些植物。意早临花争艳春天是生机勃勃的季节。为了在能表达这意境，让人有种生气澎湃的感觉，所以在设计植物配置上，颜色都比较倾向于有活力的色彩，如嫩绿色，淡黄色等。比如落叶乔木这些树的本身，在这季节，会有发芽抽梢展叶的过程。而常绿乔木这些树种，则在长新叶的新鲜和老叶的成熟，两者表现出不同的色彩，富有趣味性以及特色。树种选择则喜欢选择玉兰合欢等。烈浓荫好乘凉夏季的炎热，人容易闷热烦躁。这里要避免种植香味浓，或易招引蝇蚊的植物。因为炎热的天气加上浓郁的花香，会让人有种头晕，恶心的感觉。昆虫对植物的喜爱，也会加重防虫负担，不利于提高生活质量。所以，在植物选择上，应考虑些四季长青植物，树种方面提供种林荫感觉，花草又提供种清爽心情。两者相互搭配，有助于提高小区综合实力。风多变看叶果秋季给人的印象是橙色的，这季节也有着回味的意思。所以，秋季的植物选择上比较趋于如金黄色橙红色红色等这样富有成熟的气息。而且在植物配置上，秋色叶树种的选择，如红枫元宝枫槭树栾树柑橘等。同时，在常绿植物中或有视角的地带设为主景树。寒苍翠不萧条冬季这个季节对小区植物来说，不是个好季节。因为许多植物在东西，都是萧条，冷清。为了在植物配置上有所估计，让其体现生命力。冬季的植物应多考虑常绿植物和观枝干的植物。冬季，印象最多的就是梅花了，宋代诗人卢梅坡梅须逊雪三分白，雪却输梅段香，说明梅的内涵。在有条件下，山茱萸的选择，其红色的果实，更能给人种眼前亮的感觉，加深对植物的图路来源本人拍摄好感。第三章绿化设计上园林植物的运用据植物不同形态进行配置运用乔，灌，花草的结合的配置方式，实现在景观上，注重色彩远景近景的搭配，选用常绿植物，落叶植物，速生植物，慢长植物相结合，乔灌与地被植物，观叶植物与观花植物相结合，构成多层次的复合结构。丰沛的植物栽植设计，空间的景观规划，创造四季景观，使人们回归自然，亲近自然。应需求，营造生态效益在居住区中各类绿地均发挥着各自的功能，但最主要功能是发挥生态效益，保护和改善住宅区的生态环境。在充分考虑居民享用绿地需求的同时，建设人工生态植物群落。比如说，可以在有假山石的条件下，增加小瀑布效果。在利用小瀑布形成的小水池，种植或养殖动植物。创造人和自然的种贴切，给人种，手跟水的接触的亲切，眼与动植物近距离的观察等。物造型运用，创造个性环境树种造型有丰富变化，这些都是避免单调，突出个性。树木创造出优美的林冠线，也打破建筑群体的单调和呆板感。其中，注重选用不同的植物的树形，如塔形柱形球形等。这里举例些植物，如龙柏广玉兰香樟等，这些植物构成变化强烈，形成的林冠线突出。再则，不同高度的植物，也构成变化适中的林冠线。物的合理运用在许多的绿化设计中，很多设计是看似完美，有所缺陷。在植物的种植位置上，就应有所考虑到植物其保持与建筑地下管线等设施的适当距离，避免有碍植物的生长和管线的使用与维修。如般乔木需距建筑物至米。灌木距建筑和地下管网。在高层建筑四周气流较强，不宜种植高大乔木。在近窗处不宜种高大灌木，以免影响采光。表瑞安市部分居住小区些植物调查情况序号植物名称科属乔灌木习性苏铁苏铁科常绿乔木喜温湿气候，不耐寒等银杏银杏科落叶乔木喜光耐旱，对土壤适应性强等侧柏柏科常绿灌乔喜光，温湿且抗盐性强等南方红豆杉红豆杉科常绿乔木喜温湿等广玉兰木兰科常绿乔木喜温湿有光，有定抗耐力等含笑木兰科灌木喜弱荫，有定抗寒能力等海桐海桐科常绿乔灌木喜光，耐修剪但耐寒能力差等杜英杜英科乔木喜温湿，但不耐寒，且不耐积水等枸骨冬青冬青科常绿灌木喜光耐荫，但耐寒能力较差等鸡爪槭槭树