展集成电路平板显示器件设备，随着太阳能电池技术不断进步，扩大半导体工艺设备应用市场，从而带动和促进我国整个半导体设备发展。加快技术进步提高核心竞争力我国太阳能电池产业虽然发展很快，但技术进步却不明显，创新能力不强，自主创新核心技术很少，产品总体质量不如欧美日等发达国家和地区，包括设备制造在内总体技术水平与发达国家有比较明显差距。为此，在扩大行业规模同时，应把更大力气花在全行业技术进步包括技术效应，这个问题至今尚未解决。微晶硅可以在接近室温低温下制备，特别是使用大量氢气稀释硅烷，可以生成晶粒尺寸微晶硅薄膜。到上世纪年代中期，微晶硅效率已经超过非晶硅，达到以上。而且，没有出现光致衰退效应。微晶硅薄膜太阳能电池微晶硅薄膜厚度般在，现在单结微晶硅薄膜太阳能电池转换效率在左右，还达不到大规模工业化生产转换效率水平。但是，以非晶硅太阳能电池为顶层微晶硅太阳能电池为底层来开发出叠层太阳能电池，其理论转换效率则可达到。目前，微晶硅和非晶硅叠层太阳能电池转换效率已经达到，显示出良好应用前景。然而，由于微晶硅薄膜中含有第二章项目建设背景及意义大量非晶硅，所以不能像单晶硅或非晶硅那样直接形成结，而必须做成结。因此，如何制备获得缺陷密度很低本征层，以及在比较低工艺温度下制备非晶硅含量很低微晶硅薄膜，是今后进步提高微晶硅太阳能电池转换效率关键。染料敏化太阳能电池染料敏化太阳能电池原理上诸多优势由于几乎所有染料激发态上电子可以有效地注入到半导体导带中，减少了电子与空穴复合机会，有利于提高光电转换效率此外，不仅原料和制造成本低，而且所用材料对环境影响小，具有代表性增感色素色素毒性很低，电池生命周期评估也较好。要把理论优势转化为实际优势，还取决于实际电池中材料状态与理想状态符合程度。在条件下，染料敏化太阳能电池转换效率已经超过，其实用化研究开发已经开始。染料敏化太阳能电池主要问题之是长期稳定性。最近研究表明，染料敏化太阳能电池组件在暗环境下放臵不会造成转换效率降低，但是同样组件在光照环境下，经过小时转换效率降低了。现在，正在开发能在条件下具有小时热稳定性染料敏化太阳能电池材料。但是，无论是小时还是小时，以及目前此类电池所能达到光电转换效率，都没有显示出大规模应用迹象。化合物太阳能电池化合物半导体材料，由于其组成元素和组合多样性，具有极多种类和各种特性，这个特点有利于开发不同特性各具特色太阳能电池。具有代表性化合物太阳能电池是砷化镓太阳能电第二章项目建设背景及意义池，其特点是高效率耐辐照，是重要宇宙空间用太阳能电池。小面积多结单晶太阳能电池最高转换效率已经达到，但由于其原材料成本与系相比较高，资源量极其有限，这极大限制了它在地面应用。以族化合物中另阳能电池，其理论转换效率则可达到。目前，微晶硅和非晶硅叠层太阳能电池转换效率已经达到，显示出良好应用前景。然而，由于微晶硅薄膜中含有第二章项目建设背景及意义大量非晶硅，所以不能像单晶硅或非晶硅那样直接形成结，而必须做成结。因此，如何制备获得缺陷密度很低本征层，以及在比较低工艺温度下制备非晶硅含量很低微晶硅薄膜，是今后进步提高微晶硅太阳能电池转换效率关键。染料敏化太阳能电池染料敏化太阳能电池原理上诸多优势由于几乎所有染料激发态上电子可以有效地注入到半导体导带中，减少了电子与空穴复合机会，有利于提高光电转换效率此外，不仅原料和制造成本低，而且所用材料对环境影响小，具有代表性增感色素色素毒性很低，电池生命周期评估也较好。要把理论优势转化为实际优势，还取决于实际电池中材料状态与理想状态符合程度。在条件下，染料敏化太阳能电池转换效率已经超过，其实用化研究开发已经开始。染料敏化太阳能电池主要问题之是长期稳定性。最近研究表明，染料敏化太阳能电池组件在暗环境下放臵不会造成转换效率降低，但是同样组件在光照环境下，经过小时转换效率降低了。现在，正在开发能在条件下具有小时热稳定性染料敏化太阳能电池材料。但是，无论是小时还是小时，以及目前此类电池所能达到光电转换效率，都没有显示出大规模应用迹象。化合物太阳能电池化合物半导体材料，由于其组成元素和组合多样性，具有极多种类和各种特性，这个特点有利于开发不同特性各具特色太阳能电池。具有代表性化合物太阳能电池是砷化镓太阳能电第二章项目建设背景及意义池，其特点是高效率耐辐照，是重要宇宙空间用太阳能电池。小面积多结单晶太阳能电池最高转换效率已经达到，但由于其原材料成本与系相比较高，资源量极其有限，这极大限制了它在地面应用。以族化合物中另代表性化合物电池是太阳能电池。与相比，它不需要制成异相机结构。此类电池最高转换效率已经达到，但大部分研究结果显示为左右，且研发以空间应用为目标，同样存在成本高问题，这限制了其地面应用。铜铟镓硒薄膜太阳能电池以铜铟镓硒为太阳光吸收层高效薄膜太阳能电池，简称为铜铟镓硒电池或电池，典型结构为。它既具有高光电可再生能源法‣公布以来，国家有关部门相继公布了•可再生能源产业发展指导目录‣•可再生能源中长期发展规划‣•可再生能源发展“十五”规划‣等文件，出台了系列政策措施，营造了较好鼓励国内市场发展政策环境。我们希望，国内光伏市场能够由此进入个快速发展时期，从而为我国太阳能电池产业开辟更好市场前景。第二章项目建设背景及意义三是要以太阳能电池发展为契机，以大半导体工艺设备概念，统筹布局和筹划我国专用设备制造业。以集成电路制造设备为代表半导体工艺设备，由于其在工艺加工制造方面先进性，已经逐步渗透到许多电子产品制造领域，其中最典型是平板显示器件和太阳能电池领域二者均含有半导体工艺及设备，其主流材料也未离开硅，例如晶硅太阳能电池生产线中单晶炉扩散炉等离子增强化学气相淀积设备，薄膜太阳能电池生产线中离子镀膜设备等。在集成电路平板显示器件和太阳能电池三种制造设备中，国产太阳能电池设备是其中发展最快和最好。据有关行业协会统计，年我国半导体设备销售收入比年增长了，占整个电子专用设备销售收入，其中太阳能电池设备亿元，占半导体设备总销售收入，从事研制企业已有几十家。从国内外经验看来，生产太阳能电池设备厂家很多都是原来生产半导体集成电路设备厂家。因此，我们应抓住太阳能电池设备市场契机，统筹考虑晶硅太阳能电池设备和薄膜太阳能电池设备发展，统筹考虑和协调发展集成电路平板显示器件设备，随着太阳能电池技术不断进步，扩大半导体工艺设备应用市场，从而带动和促进我国整个半导体设备发展。加快技术进步提高核心竞争力我国太阳能电池产业虽然发展很快，但技术进步却不明显，创新能力不强，自主创新核心技术很少，产品总体质量不如欧美日等发达国家和地区，包括设备制造在内总体技术水平与发达国家有比较明显差距。为此，在扩大行业规模同时，应把更大力气花在全行业技术进步包括技术效应，这个问题至今尚未解决。微晶硅可以在接近室温低温下制备，特别是使用大量氢气稀释硅烷，可以生成晶粒尺寸微晶硅薄膜。到上世纪年代中期，微晶硅效率已经超过非晶硅，达到以上。而且，没有出现光致衰退效应。微晶硅薄膜太阳能电池微晶硅薄膜厚度般在，现在单结微晶硅薄膜太阳能电池转换效率在左右，还达不到大规模工业化生产转换效率水平。但是，以非晶硅太阳能电池为顶层微晶硅太阳能电池为底层来开发出叠层太阳能电池，其理论转换效率则可达到。目前，微晶硅和非晶硅叠层太阳能电池转换效率已经达到，显示出良好应用前景。然而，由于微晶硅薄膜中含有第二章项目建设背景及意义大量非晶硅，所以不能像单晶硅或非晶硅那样直接形成结，而必须做成结。因此，如何制备获得缺陷密度很低本征层，以及在比较低工艺温度下制备非晶硅含量很低微晶硅薄膜，是今后进步提高微晶硅太阳能电池转换效率关键。染料敏化太阳能电池染料敏化太阳能电池原理上诸多优势由于几乎所有染料激发态上电子可以有效地注入到半导体导带中，减少了电子与空穴复合机会，有利于提高光电转换效率此外，不仅原料和制造成本低，而且所用材料对环境影响小，具有代表性增感色素色素毒性很低，电池生命周期评估也较好。要把理论优势转化为实际优势，还取决于实际电池中材料状态与理想状态符合程度。在条件下，染料敏化太阳能电池转换效率已经超过，其实用化研究开发已经开始。染料敏化太阳能电池主要问题之是长期稳定性。最近研究表明，染料敏化太阳能电池组件在暗环境下放臵不会造成转换效率降低，但是同样组件在光照环境下，经过小时转换效率降低了。现在，正在开发能在条件下具有小时热稳定性染料敏化太阳能电池材料。但是，无论是小时还是小时，以及目前此类电池所能达到光电转换效率，都没有显示出大规模应用迹象。化合物太阳能电池化合物半导体材料，由于其组成元素和组合多样性，具有极多种类和各种特性，这个特点有利于开发不同特性各具特色太阳能电池。具有代表性化合物太阳能电池是砷化镓太阳能电第二章项目建设背景及意义池，其特点是高效率耐辐照，是重要宇宙空间用太阳能电池。小面积多结单晶太阳能电池最高转换效率已经达到，但由于其原材料成本与系相比较高，资源量极其有限，这极大限制了它在地面应用。以族化合物中染料敏化太阳能电池染料敏化太阳能电池原理上诸多优势由于几乎所有染料激发态上电子可以有效地注入到半导体导带中，减少了电子与空穴复合机会，有利于提高光电转换效率此外，不仅原料和制造成本低，而