水平砷化镓单晶材料产业化项目立项投资可行性分析报告(word文档)_中文版高速下载

同时，采用这特种加热炉，通 过高温区中温区和固液界面区温度分布的控制，很容易调平固液界面。

当 然，这种加热体如何单独控制又协调配合形成所需的温度分布，也要经过反复 实验研究不断优化。

经过几年的开发，本项目单位已在国内独家掌握了该项 技术，该项技术达到世界先进水平。

关键技术的先进性 本项目产品年月通过了中国有色金属工业协会组织的科技成果鉴定， 鉴定结论为该项目利用本单位独创的石英舟预处理技术生长系统设计和制造 技术，固液界面特种加热炉设计和制造技术，研究开发了本项目产品生长工艺技 术和晶片加工工艺技术。

通过提高单晶单炉产量和成品率，提高晶片加工成品率， 实现了水平砷化镓单晶材料的产业化，达到了预期的目标。

该项目的技术达到国成型产品，本项目单位根据多年工艺技术积累，选用精密的温控仪表 欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组 合，可保证在长达天的单晶生长过程中温控精度籽晶走车生长单晶降温出炉晶体测试 工艺及设备的合理性和成熟性自行设计的单晶生长系统 本项目研发生产采用自行设计的水平砷化镓单晶生长系统，该生长系统在国 际上未见成单晶生长晶体加工 工艺流程为装管脱氧封管多晶合成约小时多 晶清洁处理封管余掺杂剂放籽晶装入单晶炉单晶生长天 熔料接中树立了良好的形象。

这为本项目的顺利实施提供了 制度上的保障。

第二章技术可行性分析 项目技术路线工艺设备的合理性和成熟性关键技术 的先进性 项目技术路线 多晶合励制度等。

实行物质奖励与 精神奖励相结合，奖酬激励人才使用激励与企业文化激励相结合，短期激励与 长期激励相结合的综合激励方式。

自公司成立以来，凭借自身雄厚的实力和良好 的管理体制，在国内外用户 质量控制管理体系严格按照施行，公司已于年通过该认证。

公司按照建立现代企业制度的要求，制定了整套完备的管理制度，包括人事管 理制度财务管理制度销售管理制度技术开发奖管理经验。

高素质的员工群体现代科学的管理方式可 靠的质量保证体系的完美结合，使产品质量得到充分保证。

公司在日常生产和管 理中，注重提升员工的质量意识，在员工头脑中筑起了质量保证的长城。

公司的 集团，说明本产品极具竞争力。

管理优势我公司拥有支素质高业务精专业搭配合理的管理队伍， 的公司员工具有大专以上学历。

管理团队知识层次高，具有高度的凝聚力勇于 开拓的创新性和丰富的类产品，因此在国际上具有强竞争力。

目前产品已经进入国际市场，被日本住友电工集团韩国公司等世界 知名企业应用。

日本住友电工集团向对外来产品要求极为严格，本公司产品能够大量进入该晶片的企业。

公司成立了由具有多年水平研究开发经验的专业人员组成的销售队 伍，这支队伍熟悉本项目产品各项性能指标，了解客户需求，比较利于开展工作。

同时，由于本项目产品性价比高于国外同 营销优势公司位于廊坊市经济技术开发区，拥有水平生产厂房，公 司研发基地在北京有研总院。

公司在水平生产技术方面处于国际先进水平， 公司是国内唯的批量生产水平晶片威部门检测和 鉴定，鉴定结果为国际先进。

项目目前已有部分产品销售国内外，用户中包括日 本住友电工公司韩国公司等世界知名企业和中科镓英公司等国内用 户，对该产品用户致反映良好。

拥有支由该领域知名专家教授及长期从事该项目研究的高工组成的研发 队伍，这支队伍对该项目产品拥有绝对技术优势。

该项目技术路线设计合理，关 键技术已经突破，其余技术完全能够实现，项目产品目前已通过权到。

本企业实施该项目的优势 技术优势项目承担单位国瑞公司前身是北京有色金属研究总院化合物半 导体材料研究室，从年就开始水平单晶研究，已有多年研究开发 经验，企业计划投资扩大 生产规模，增加产量，提高市场占有率，实现产品产业化。

预期经济效益 本项目年达产，达产期年销售收入万元，年净利润万元，上 缴利税万元，利税率达技术产品质量均达到 国际先进水平，同类商品国际市场占有率接近。

随着在各个应用领域用量的大幅度增长，本项目产品的市场越来越广 阔。

为进步满足不断增长的国内外市场对该产品的需求，本 本公司在原有产品的基础上，组织研发人员进行了该产品研究开发工作，目前该 产品技术已基本成熟，关键问题已经解决，产品于年月通过了中国有色金属工业协会组织的科技成果鉴定，鉴定结果为该项目技 本公司在原有产品的基础上，组织研发人员进行了该产品研究开发工作，目前该 产品技术已基本成熟，关键问题已经解决，产品于年月通过了中国有色金属工业协会组织的科技成果鉴定，鉴定结果为该项目技术产品质量均达到 国际先进水平，同类商品国际市场占有率接近。

随着在各个应用领域用量的大幅度增长，本项目产品的市场越来越广 阔。

为进步满足不断增长的国内外市场对该产品的需求，本企业计划投资扩大 生产规模，增加产量，提高市场占有率，实现产品产业化。

预期经济效益 本项目年达产，达产期年销售收入万元，年净利润万元，上 缴利税万元，利税率达到。

本企业实施该项目的优势 技术优势项目承担单位国瑞公司前身是北京有色金属研究总院化合物半 导体材料研究室，从年就开始水平单晶研究，已有多年研究开发 经验，拥有支由该领域知名专家教授及长期从事该项目研究的高工组成的研发 队伍，这支队伍对该项目产品拥有绝对技术优势。

该项目技术路线设计合理，关 键技术已经突破，其余技术完全能够实现，项目产品目前已通过权威部门检测和 鉴定，鉴定结果为国际先进。

项目目前已有部分产品销售国内外，用户中包括日 本住友电工公司韩国公司等世界知名企业和中科镓英公司等国内用 户，对该产品用户致反映良好。

营销优势公司位于廊坊市经济技术开发区，拥有水平生产厂房，公 司研发基地在北京有研总院。

公司在水平生产技术方面处于国际先进水平， 公司是国内唯的批量生产水平晶片晶片的企业。

公司成立了由具有多年水平研究开发经验的专业人员组成的销售队 伍，这支队伍熟悉本项目产品各项性能指标，了解客户需求，比较利于开展工作。

同时，由于本项目产品性价比高于国外同类产品，因此在国际上具有强竞争力。

目前产品已经进入国际市场，被日本住友电工集团韩国公司等世界 知名企业应用。

日本住友电工集团向对外来产品要求极为严格，本公司产品能够大量进入该集团，说明本产品极具竞争力。

管理优势我公司拥有支素质高业务精专业搭配合理的管理队伍， 的公司员工具有大专以上学历。

管理团队知识层次高，具有高度的凝聚力勇于 开拓的创新性和丰富的管理经验。

高素质的员工群体现代科学的管理方式可 靠的质量保证体系的完美结合，使产品质量得到充分保证。

公司在日常生产和管 理中，注重提升员工的质量意识，在员工头脑中筑起了质量保证的长城。

公司的 质量控制管理体系严格按照施行，公司已于年通过该认证。

公司按照建立现代企业制度的要求，制定了整套完备的管理制度，包括人事管 理制度财务管理制度销售管理制度技术开发奖励制度等。

实行物质奖励与 精神奖励相结合，奖酬激励人才使用激励与企业文化激励相结合，短期激励与 长期激励相结合的综合激励方式。

自公司成立以来，凭借自身雄厚的实力和良好 的管理体制，在国内外用户中树立了良好的形象。

这为本项目的顺利实施提供了 制度上的保障。

第二章技术可行性分析 项目技术路线工艺设备的合理性和成熟性关键技术 的先进性 项目技术路线 多晶合成单晶生长晶体加工 工艺流程为装管脱氧封管多晶合成约小时多 晶清洁处理封管余掺杂剂放籽晶装入单晶炉单晶生长天 熔料接籽晶走车生长单晶降温出炉晶体测试 工艺及设备的合理性和成熟性自行设计的单晶生长系统 本项目研发生产采用自行设计的水平砷化镓单晶生长系统，该生长系统在国 际上未见成型产品，本项目单位根据多年工艺技术积累，选用精密的温控仪表 欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组 合，可保证在长达天的单晶生长过程中温控精度，炉体移动速度 最低时小时爬行不大于。

采用优质管支撑石英反应管使石 英反应管长期处于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径 扩大不超过。

石英舟的预处理技术 单晶生长是在密封于石英反应管中的石英舟中进行的，因此首先要 解决的是石英舟与熔体的粘舟问题。

只有不粘舟才能保证单晶生长顺利，不出 多晶孪晶。

生长完成后，晶体易从舟中取出脱舟良好且生长的晶体完整 性好符合产品技术指标。

这个问题曾是困扰单晶生长的个较 严重问题。

很多单位曾试用过石英舟表面涂碳，碳舟虽可避免粘接问题，但 碳易大量掺入反应生成气相 逸出，二者差值，造成中的并入。

高温区的气相扩散到中温区发生如下反应 反应消耗了，使反应向右继续进行，加剧了向中 的并入。

反应与温度关系密切，如将温度升到以上，反应基 本停止，从而可抑制反应向右方进行故将该温区温度维持在以上。

我们对多段炉的设计，各段炉温的单独控制及其协调配合控制也进行 了反复实验研究并不断进行了优化，对提高单晶生长成品率发挥了重要作用。

单晶生长速度有时也称为结晶速度本工艺中视为石英反应管相对于加热 炉的相对移动速度是另个重要的技术参数因为熔体结晶的快慢与结晶潜 热的产生，正常传递密切相关，结晶速度控制不当，会严重干扰内加热炉所形 成的温度分布，进而影响单晶正常生长，本项目在对热场配置进行优化时，兼 顾了采用合适的结晶速度这重要参数。

固液界面特种加热炉 可很好调整固液界面形状，这对生长不同晶向晶体降低位错密度，提高 成品率都十分重要。

单晶生长过程中固液界面形状的控制是提高成品率的关键技 术。

在水平单晶生长过程中，无法完全按器件制造所要求的晶向生长，即晶体生 长方向与晶片的晶向有定的夹角，这导致了水平单晶的切片，般都要 斜切因而切片技术难度较大，为使所切晶片上电学参数尤其是载流子 浓度均匀分布，固液界面也必须与生长方向成定角度。

因为杂质主要是掺 杂剂的分凝是以固液界面为界线的，如果单晶生长过程中固液界面与生长 方向之间角度和所切晶片晶向与单晶生长方向之间角度不致，所切晶片上的载 流子浓度会形成浓度梯度，即得不到均匀分布，这会对在晶片上生长 外延材料及器件的成品率和性能造成不良影响。

角度不致还有可能在晶体内部 出现热应力而导致晶体完整性差，使增大，从而降低成品率。

国内外在水平 单晶研究开发中，多年来都是使用管状加热炉。

因此，固液界面只能与生 长方向垂直，无法得到所需要的偏角。

管状加热炉除了无法得到所需偏角以外，还很难调制固液界面本身 的平坦度