年生产14000万片高效单晶硅片项目立项申报材料.doc_中文版高速下载

平时室内外消火栓给水管网的压力由消防水箱保证，消火栓泵可 以就地启停，也可在消防控制中心手动启停，同时室内消火栓泵可由 室内消火栓箱内按钮远距离启动，消防时主泵启动前的室内消防用水 由消防水箱保证。

火栓泵组两路出水至室外环状消防管路，环网上均匀设置室外消 火栓。

设置室内消火栓的各建筑物均从该环状管路上引两路接至其室 内环状消防管路。

灭火器配置 根据建筑灭火器配置设计规范的规定，本工程灭火器配置场 所危险等级为中危险级，可能的火灾种类为类类和带电火灾， 采用磷铵干粉灭火器。

工艺服务系统 工艺设备冷却水系统 工艺设备冷却水供给生产设备冷却用，流量，单晶炉进 水温度，切片机进水温度和。

系统补充水水质为反渗透水，工艺设备冷却水 系统采用板式水水换热器，。

长， 宽。

单晶厂房栋 单晶厂房均为二层钢筋砼框架结构，钢筋混凝土屋顶，层层高 米，二层米建筑火灾危险类别为丁类层主要为单晶炉下半 部分以及变压器泵等，建筑面积为 理区位于期用地西北侧的二期用地内，离主要废水排放点洗料厂 房和切片厂房较近，便于废水就近排放和综合治理。

土建 建筑 洗晶车间栋 洗晶车间为单层钢筋混凝土框架结构建筑，层高米和厂区 负荷中心较近三个单晶厂房位于用地东北角，与洗料厂房相临，有 利于物料传输切片厂房及仓库位于用地西南角，使用物料运输综 合楼等相关生活设施位于用地西南角，与生产设施相对隔离废水处 侧淮南北 路和西侧规划道路上，东侧入口为人员入口，西侧入口为货物入口， 与二期用地衔接。

在厂房的四周设计的环形道路，供消防和物 流使用。

变电站及动力设施位于期用地西北角，与市政供电线路配套工程设计方案 总平面布置 本项目亩规划用地采用次规划，分期实施的原则建设。

本 次期工程用地亩，位于规划用地的东侧，总建筑面积平 方米。

在期工程用地内设置个出入口，分别位于用地的东晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机 硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计 艺设备仪器表 序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元 打磨机 硅料清槽 泡料槽 气相光普分析仪 单晶炉 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 开方机 切片机 切片机 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表单晶硅片国产工元。

其中进口设备仪器台套，进口费用万元国产设备仪 器台套，费用万元。

详细设备清单如下 表单晶硅片进口工艺设备仪器表 序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元 主要设备仪器选择 本项目的工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研 究发展的前提下，选择性价比高的工艺设备。

主要设备和仪器 本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套，共计万元 片机卸下工作台。

硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。

硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。

样片测试测试合格，包装入库。

产品目标市场 本项目产品全部内销。

主要设备选型 把四角的圆弧滚磨光 滑。

超声波清洗将方棒清洗干净。

晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。

线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切片， 切片结束后，从多线切出。

断头尾目的是切除单晶硅棒的头部尾部及超出客户规格的部 分，并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度。

测试取样测试氧碳含量及电阻率等。

圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型于等径部分。

等径结束后，必 须将晶棒的直径慢慢缩小，直到成尖点，而与液面分开，长完的晶 棒被升至上炉室冷却段时间后取出，即完成了单晶硅棒的生长过程。

拆炉待炉温冷却后，将炉内坩埚及余料取完细颈之后，降低温度与拉速，使得晶 体的直径渐渐增长到所要大小。

长完细颈和肩部之后，借着拉速与温 度的不断调整，可使晶棒直径误差维持在正负之间，这段直径固 定的部分称为等径部分，单晶硅片取自拉晶加温将原料溶化，按控制程序拉制单晶。

单晶生长当硅熔体的温度稳定之后，将籽晶慢慢浸入硅熔体中， 然后将籽晶快速向上提升，使长成的籽晶的直径缩小到定的大小， 产生零位错的晶体，这样，长尾料埚底料按类分选。

清洗用氢氟酸硝酸或中性清洗液等除去原料表面的杂质。

配料根据拉单晶的电阻率要求，按重量比例配置原料。

装炉将配好的原料装入炉内抽真空和充氩气。

拉尾料埚底料按类分选。

清洗用氢氟酸硝酸或中性清洗液等除去原料表面的杂质。

配料根据拉单晶的电阻率要求，按重量比例配置原料。

装炉将配好的原料装入炉内抽真空和充氩气。

拉晶加温将原料溶化，按控制程序拉制单晶。

单晶生长当硅熔体的温度稳定之后，将籽晶慢慢浸入硅熔体中， 然后将籽晶快速向上提升，使长成的籽晶的直径缩小到定的大小， 产生零位错的晶体，这样，长完细颈之后，降低温度与拉速，使得晶 体的直径渐渐增长到所要大小。

长完细颈和肩部之后，借着拉速与温 度的不断调整，可使晶棒直径误差维持在正负之间，这段直径固 定的部分称为等径部分，单晶硅片取自于等径部分。

等径结束后，必 须将晶棒的直径慢慢缩小，直到成尖点，而与液面分开，长完的晶 棒被升至上炉室冷却段时间后取出，即完成了单晶硅棒的生长过程。

拆炉待炉温冷却后，将炉内坩埚及余料取出。

断头尾目的是切除单晶硅棒的头部尾部及超出客户规格的部 分，并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度。

测试取样测试氧碳含量及电阻率等。

圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角的圆弧滚磨光 滑。

超声波清洗将方棒清洗干净。

晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。

线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切片， 切片结束后，从多线切片机卸下工作台。

硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。

硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。

样片测试测试合格，包装入库。

产品目标市场 本项目产品全部内销。

主要设备选型 主要设备仪器选择 本项目的工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研 究发展的前提下，选择性价比高的工艺设备。

主要设备和仪器 本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套，共计万元 元。

其中进口设备仪器台套，进口费用万元国产设备仪 器台套，费用万元。

详细设备清单如下 表单晶硅片进口工艺设备仪器表 序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元 开方机 切片机 切片机 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表单晶硅片国产工艺设备仪器表 序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元 打磨机 硅料清槽 泡料槽 气相光普分析仪 单晶炉 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机 硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计 配套工程设计方案 总平面布置 本项目亩规划用地采用次规划，分期实施的原则建设。

本 次期工程用地亩，位于规划用地的东侧，总建筑面积平 方米。

在期工程用地内设置个出入口，分别位于用地的东侧淮南北 路和西侧规划道路上，东侧入口为人员入口，西侧入口为货物入口， 与二期用地衔接。

在厂房的四周设计的环形道路，供消防和物 流使用。

变电站及动力设施位于期用地西北角，与市政供电线路和厂区 负荷中心较近三个单晶厂房位于用地东北角，与洗料厂房相临，有 利于物料传输切片厂房及仓库位于用地西南角，使用物料运输综 合楼等相关生活设施位于用地西南角，与生产设施相对隔离废水处 理区位于期用地西北侧的二期用地内，离主要废水排放点洗料厂 房和切片厂房较近，便于废水就近排放和综合治理。

土建 建筑 洗晶车间栋 洗晶车间为单层钢筋混凝土框架结构建筑，层高米。

长， 宽。

单晶厂房栋 单晶厂房均为二层钢筋砼框架结构，钢筋混凝土屋顶，层层高 米，二层米建筑火灾危险类别为丁类层主要为单晶炉下半 部分以及变压器泵等，建筑面积为主生 产区层为单晶炉炉体放置区，二楼为单晶炉上半部分操作区。

除生 产区外，还布置有生产管理更衣，以及生产配套的空调机房车间 变配电等。

另外，车间还考虑有般物品库，包括暂存间物料入口 等，以利于物料的传输暂存。

切片厂房及仓库栋 切片厂房及仓库为单层钢结构厂房，层高米建筑火灾危险类 别为戊类，建筑面积为主生产区放置开方 切片清洗等生产设备。

除生产区外，还布置有生产管理更衣，以 及生产配套的空调机房车间变配电等。

另外，车间还考虑有般物 品库，包括暂存间物料入口等，以利于物料的传输暂存。

动力厂房 动力厂房为单层钢筋砼框架结构，钢筋混凝土屋顶，层高米 建筑火灾危险类别为戊类主要包括变电站冷冻机空压机等纯 水站控制室和值班室等，建筑面积为。

办公综合楼 办公综合楼为六层，总建筑面积。

其它 其它辅助建筑如氩气罐高压变电站甲类库化学品库废 水处理设施等。