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年生产1000吨电子级高纯多晶硅建设项目立项申报材料.doc_中文版高速下载 年生产1000吨电子级高纯多晶硅建设项目立项申报材料.doc_中文版高速下载

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《年生产1000吨电子级高纯多晶硅建设项目立项申报材料.doc_中文版高速下载》修改意见稿

1、“.....办公楼前设置花坛绿地,形成优 美的生产环境。 加强环境监测与治理,对生产过程中产生的三废应达到标准排放。 办公区和生产区应设置消防设施,以满足生产生活和消防需要。 土建施工 硅化镁车间采用钢结构,层,高米,建筑面积平方米。 硅化烷车间机房和结晶部分采用钢筋混凝土结构,建筑层,高度为 米工艺装置部分采用钢架结构,共两层,总高度为米,个车 间总建筑面积约平方米,个车间总建筑面积平方米。 氢气回收车间采用钢结构,层,高米,建筑面积平方米。 硫酸氨吸收车间采用钢结构,二层,高米,建筑面积约平 方米。仓储用房座,采用彩钢板活动房,层,总建筑面积平方米。 办公楼采用钢混结构,四层,层用于存放成品等贵重物品和布置成 品切割房加工拉丝房,其余三层用于办公,总建筑面积平方米。 质检科行分离。液氨被压 缩进入液氨罐,氯化镁和未反应的硅镁硅化镁采用塑料包装......”

2、“..... 硅甲烷混合气体含有氨气,经压缩冻干收反应在密闭条件下进行, 为连续循环反应,硅甲烷和氨气不断生成,经反应釜顶部冷凝器出口 进行收集氯化镁和多余的液氨从反应釜底部间歇排除 氯化镁和多余的液氨从反应釜底部出口进入真空干燥器进存备用,未反应的硅粒镁粒由 设备自动筛分真空状态下后返回真空炉内继续反应。 硅甲烷合成 将硅化镁和氯化铵混合后,在液氨溶媒条件下,在硅 甲烷发生器中生产硅甲烷氯化镁和氨气。整个硅晶体析出 多晶硅产品 液碱硅酸钠溶液 氢气高空火炬排放 工艺流程说明 硅化镁合成 硅粒和镁粒在惰性气体氩气保护下,在真空内加热个小时,反 应生成硅化镁......”

3、“.....再经热分解使硅晶体沉积在钼丝电极上形 成硅棒。采用这种方法生产的多晶硅,般纯度很高,其生产工艺流程及 产污环节见图 硅粒镁粒 氩气 硅化镁工业粉尘 氯化铵式 工艺流程及产污环节 建设项目选择氢硅烷气相沉积法生产多晶硅。工业硅与工业镁在真空 炉内转化成硅化镁,硅化镁与氯化氨化学反应生产硅甲烷混合气体,硅甲 烷混合气体经过提 硅化镁和氯化铵在液氨内反应,生成硅化烷。 反应式 硅甲烷纯化去除氨硼磷硫氧水分等 硅甲烷分解成硅和氢 反应蚀性......”

4、“.....设备般仅能使用年。 主要反应机理 本项目选择氢硅烷法生产多晶硅,共分四个步骤 硅和镁反应,生成硅化镁。 反应式次能完成百分之九十 五左右而三氯硅烷结晶,次最大量仅能完成百分之二十七,十分耗能。 纯度高,氢硅烷法是很容易结晶出以上的多晶硅,而氯硅烷法达 到已属不易。 成本低,硅甲烷没有腐染硅烷法使用氯气剧毒,产生 的大量四氯硅烷废物,既无法利用又不能排放,很难处理 节能,氢硅烷法生产晶硅,原材消耗显著低于氯氢烷法,电力消耗仅 为氯硅烷法的三分之。硅甲烷分解成硅和氢,联合研发。 国际上传统生产多晶硅采用的是氢硅烷气相沉淀法西门子工艺,氢 硅烷法作为氯硅烷法替代技术,日本和美国已有少数厂家在使用,优点显 著于氯硅烷法。 环保,氢硅烷法几乎对环境没有污项目采用的生产工艺为氢硅烷气相沉淀法,属企业自主研发工艺, 该工艺已完成中试......”

5、“.....建设项目生产关键装置如硅烷 发生器硅结晶炉硅化镁感应炉等由公司与国家航天火箭发动机研究 院在作物生长的月份, 日较差月份最大为,月份最小为,积温平均为 平均无霜期为天年平均降水量为毫米,保证率的降水量为 毫米。 第二章技术设备及工程方案 技术方案 生产工艺 本最冷,平均为,月最热平均为。平均降水量为 毫米。全县地形复杂,光热水等资源差异明显。全年平均日照 时数为小时,月份日照时数最长,为小时月份日照时 数最短,为小时。全年平均日照率为得税前年 项目投资财务内部收益率所得税后 项目投资财务净现值所得税后万元 项目投资回收期所得税后年 项目资本金财务内部收益率 盈亏平衡点生产能力利用率......”

6、“.....月最冷,平均为,月最热平均为。平均降水量为 毫米。全县地形复杂,光热水等资源差异明显。全年平均日照 时数为小时,月份日照时数最长,为小时月份日照时 数最短,为小时。全年平均日照率为在作物生长的月份, 日较差月份最大为,月份最小为,积温平均为 平均无霜期为天年平均降水量为毫米,保证率的降水量为 毫米。 第二章技术设备及工程方案 技术方案 生产工艺 本项目采用的生产工艺为氢硅烷气相沉淀法,属企业自主研发工艺, 该工艺已完成中试,可直接用于工业化。建设项目生产关键装置如硅烷 发生器硅结晶炉硅化镁感应炉等由公司与国家航天火箭发动机研究 院联合研发。 国际上传统生产多晶硅采用的是氢硅烷气相沉淀法西门子工艺,氢 硅烷法作为氯硅烷法替代技术,日本和美国已有少数厂家在使用,优点显 著于氯硅烷法。 环保,氢硅烷法几乎对环境没有污染硅烷法使用氯气剧毒......”

7、“.....既无法利用又不能排放,很难处理 节能,氢硅烷法生产晶硅,原材消耗显著低于氯氢烷法,电力消耗仅 为氯硅烷法的三分之。硅甲烷分解成硅和氢,次能完成百分之九十 五左右而三氯硅烷结晶,次最大量仅能完成百分之二十七,十分耗能。 纯度高,氢硅烷法是很容易结晶出以上的多晶硅,而氯硅烷法达 到已属不易。 成本低,硅甲烷没有腐蚀性,绝大数设备可运行年而氯硅烷 对不锈钢腐蚀性大,设备般仅能使用年。 主要反应机理 本项目选择氢硅烷法生产多晶硅,共分四个步骤 硅和镁反应,生成硅化镁。 反应式 硅化镁和氯化铵在液氨内反应,生成硅化烷。 反应式 硅甲烷纯化去除氨硼磷硫氧水分等 硅甲烷分解成硅和氢 反应式 工艺流程及产污环节 建设项目选择氢硅烷气相沉积法生产多晶硅。工业硅与工业镁在真空 炉内转化成硅化镁,硅化镁与氯化氨化学反应生产硅甲烷混合气体......”

8、“.....再经热分解使硅晶体沉积在钼丝电极上形 成硅棒。采用这种方法生产的多晶硅,般纯度很高,其生产工艺流程及 产污环节见图 硅粒镁粒 氩气 硅化镁工业粉尘 氯化铵排放 液氨 尾气 硅甲烷混合气体液氨和氯化镁 液氨液氨氯化镁硅镁硅化镁 工业粉尘 硅甲烷 废分子筛 催化剂再生 废分子筛 硅甲烷 尾气 合成 混合 浓硫酸吸收 分离压缩 硅甲烷合成 成 氨 收 集 罐 塑封包 装 氨罐 镧镍吸 收氢气 冻干 浓硫酸吸收 分子筛吸附 钯催化脱氧 混合 分子筛吸附 裂解硅晶体析出 多晶硅产品 液碱硅酸钠溶液 氢气高空火炬排放 工艺流程说明 硅化镁合成 硅粒和镁粒在惰性气体氩气保护下,在真空内加热个小时,反 应生成硅化镁。硅化镁直接密闭干燥保存备用......”

9、“..... 硅甲烷合成 将硅化镁和氯化铵混合后,在液氨溶媒条件下,在硅 甲烷发生器中生产硅甲烷氯化镁和氨气。整个反应在密闭条件下进行, 为连续循环反应,硅甲烷和氨气不断生成,经反应釜顶部冷凝器出口 进行收集氯化镁和多余的液氨从反应釜底部间歇排除 氯化镁和多余的液氨从反应釜底部出口进入真空干燥器进行分离。液氨被压 缩进入液氨罐,氯化镁和未反应的硅镁硅化镁采用塑料包装。真空干燥 器尾气主要成分为氨气经浓硫酸吸收塔稀硫酸吸收装置吸收后排放。 硅甲烷混合气体含有氨气,经压缩冻干收回液氨,回收的液氨返回硅甲烷 发生器,冻干处理后的硅甲烷气体经过浓硫酸吸收除去残余氨气进入分子筛 吸附钯催化脱氧和分子吸附工序。 建设项目浓硫酸吸收塔会有硫酸雾产生,但由于硫酸吸收是在密闭系统内完 成的,酸雾不进入大气......”

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