年生产1千吨电子级高纯多晶硅建设项目投资立项申请报告.doc_中文版高速下载

多晶硅价格下滑有国际经济疲软的外在因素，国际原油价格 大幅下挫以及金融危机影响了太阳能产业的增长预期，而随着电 子消费产品市场的萎缩，集成电路用多晶硅需求量减少也是内因之。

在需求增长预期放缓的同时，多晶硅供给却大规模扩容。

有关统计显示，年全球多晶硅产量可达到万吨，其中 太阳能用多晶硅为万吨，但年太阳能用多晶硅需求为 万吨。

几年后，太阳能用多晶硅可能出现供大于求的现象。

国内企业满产之日也是多晶硅暴利结束之时，国内企业将重 新面临以质量和价格取胜的竞争市场，而无论在产品质量还是生 产成本方面，国内企业的优势并不明显。

按照多晶硅的投产周期， 去年底今年初投产的多晶硅项目两年后才能达产。

在此期 间，国内多晶硅制造商还需要提升自己的多晶硅生产效率，逐渐 提升产能以及完善废物回收技术。

综上所述，无论国际还是国内的多晶硅的缺 氨冷凝器 航天六院 硅甲烷换热器 航天六院 尾气换热器航天六院 二非标准设备航天六院 固体料斗航天六院 反应釜及换热空泵 千瓦氨冷机烟台冰轮 千瓦氟利昂制冷机烟台冰轮 变压器烟台冰轮 变压器瓦总变电 金属隔膜泵二次变电 水泵德国史密迪 氨气冷凝器 氨回流冷凝器 成熟压缩机选择金属隔膜压缩机，通用标准设备，进口不受限制。

具体详见主要设备明细表 主要设备明细 序号设备名称规格型号数量备注 标准设备 金属隔膜压缩机英国 真 设备方案 根据所选用的生产工艺要求，本项目所用的主要设备包括硅甲烷发 生器钯催化装置结晶炉压缩机制冷机氨储罐氢回收装置等。

除压缩机外，其他设备及安装工程全部由国内设计制造技术 碱淋洗塔淋洗处理以除去少量的硅甲烷杂质，反 应式 经碱淋洗处理后的氢气，经高空火炬排放 包装 裂解炉产生的硅棒，经检测到达规定的质量指标后送去包装。

，裂解炉尾 气为氢气及硅甲烷混合气体，裂解炉尾气通过镧镍储氢材料吸收 氢气，未反应的硅甲烷重新进入裂解炉反应。

镧镍储氢材料吸收 达到饱和后释放氢气，释放氢气纯度在以上， 释放的氢气通过杂质成分含量在以下。

硅甲烷裂解 将硅甲烷通入裂解炉，硅甲烷在裂解炉中分解成硅和氢气，硅沉 积在钼丝电极上，形成硅棒。

该过程周期在天，硅棒直径 可达到毫米左右。

该步骤转化率约百分之九十五，建设项目无硫 酸雾排放。

分子筛吸附和钯催化 硅甲烷分子经分子筛变温吸附去除酸雾水分氮气等气体，然 后通过钯催化去除少量的氧气，再经分子筛吸附除去水分，使硅甲烷 纯度达到以上，即工序，建设项目拟在硫酸吸收工 段没有硫酸沉积罐，沉积罐上部有不锈钢除沫过滤器专用除雾，可截留微米的液珠，而且硫酸吸收塔后设有分子筛吸附装置，可吸 附气体中可能存留的微量硫酸酸雾。

经过上述处理后分子筛吸附钯催化脱氧和分子吸附工序。

建设项目浓硫酸吸收塔会有硫酸雾产生，但由于硫酸吸收是在密 闭系统内完成的，酸雾不进入大气，仅会被硅甲烷携带到下步工序， 而且为防止雾状硫酸被携带到下步要成分为氨气经浓硫酸吸 收塔稀硫酸吸收装置吸收后排放。

硅甲烷混合气体含有氨气，经压缩冻干收回液氨，回收的液氨 返回硅甲烷发生器，冻干处理后的硅甲烷气体经过浓硫酸吸收除 去残余氨气进入氯化镁和多余的液氨从反应釜底部 间歇排除 氯化镁和多余的液氨从反应釜底部出口进入真空干燥器进行分 离。

液氨被压缩进入液氨罐，氯化镁和未反应的硅镁硅化镁 采用塑料包装。

真空干燥器尾气主将硅化镁和氯化铵混合后，在液氨溶媒条件下，在硅 甲烷发生器中生产硅甲烷氯化镁和氨气。

整个反应在密闭条件 下进行，为连续循环反应，硅甲烷和氨气不断生成，经反应 釜顶部冷凝器出口进行收集镁粒在惰性气体氩气保护下，在真空内加热 个小时，反应生成硅化镁。

硅化镁直接密闭干燥保存备用，未 反应的硅粒镁粒由设备自动筛分真空状态下后返回真空炉 内继续反应。

硅甲烷合成 集 罐 塑封包 装 氨罐 碱淋洗 镧镍吸 收氢气 冻干 浓硫酸吸收 分子筛吸附 钯催化脱氧 混合 分子筛吸附 裂解硅晶体析出 包装 释放氢气硅化镁合成 硅粒和 催化剂再生 废分子筛 硅甲烷 尾气 多晶硅产品 液碱硅酸钠溶液 氢气高空火炬排放 工艺流程说明 合成 混合 浓硫酸吸收 分离压缩 硅甲烷合成 成 氨 收 硅粒镁粒氩气 硅化镁工业粉尘 氯化铵排放 液氨 尾气 硅甲烷混合气体液氨和氯化镁 液氨液氨氯化镁硅镁硅化镁 工业粉尘 硅甲烷 废分子筛 硅粒镁粒氩气 硅化镁工业粉尘 氯化铵排放 液氨 尾气 硅甲烷混合气体液氨和氯化镁 液氨液氨氯化镁硅镁硅化镁 工业粉尘 硅甲烷 废分子筛 催化剂再生 废分子筛 硅甲烷 尾气 多晶硅产品 液碱硅酸钠溶液 氢气高空火炬排放 工艺流程说明 合成 混合 浓硫酸吸收 分离压缩 硅甲烷合成 成 氨 收 集 罐 塑封包 装 氨罐 碱淋洗 镧镍吸 收氢气 冻干 浓硫酸吸收 分子筛吸附 钯催化脱氧 混合 分子筛吸附 裂解硅晶体析出 包装 释放氢气硅化镁合成 硅粒和镁粒在惰性气体氩气保护下，在真空内加热 个小时，反应生成硅化镁。

硅化镁直接密闭干燥保存备用，未 反应的硅粒镁粒由设备自动筛分真空状态下后返回真空炉 内继续反应。

硅甲烷合成 将硅化镁和氯化铵混合后，在液氨溶媒条件下，在硅 甲烷发生器中生产硅甲烷氯化镁和氨气。

整个反应在密闭条件 下进行，为连续循环反应，硅甲烷和氨气不断生成，经反应 釜顶部冷凝器出口进行收集氯化镁和多余的液氨从反应釜底部 间歇排除 氯化镁和多余的液氨从反应釜底部出口进入真空干燥器进行分 离。

液氨被压缩进入液氨罐，氯化镁和未反应的硅镁硅化镁 采用塑料包装。

真空干燥器尾气主要成分为氨气经浓硫酸吸 收塔稀硫酸吸收装置吸收后排放。

硅甲烷混合气体含有氨气，经压缩冻干收回液氨，回收的液氨 返回硅甲烷发生器，冻干处理后的硅甲烷气体经过浓硫酸吸收除 去残余氨气进入分子筛吸附钯催化脱氧和分子吸附工序。

建设项目浓硫酸吸收塔会有硫酸雾产生，但由于硫酸吸收是在密 闭系统内完成的，酸雾不进入大气，仅会被硅甲烷携带到下步工序， 而且为防止雾状硫酸被携带到下步工序，建设项目拟在硫酸吸收工 段没有硫酸沉积罐，沉积罐上部有不锈钢除沫过滤器专用除雾，可截留微米的液珠，而且硫酸吸收塔后设有分子筛吸附装置，可吸 附气体中可能存留的微量硫酸酸雾。

经过上述处理后，建设项目无硫 酸雾排放。

分子筛吸附和钯催化 硅甲烷分子经分子筛变温吸附去除酸雾水分氮气等气体，然 后通过钯催化去除少量的氧气，再经分子筛吸附除去水分，使硅甲烷 纯度达到以上，即杂质成分含量在以下。

硅甲烷裂解 将硅甲烷通入裂解炉，硅甲烷在裂解炉中分解成硅和氢气，硅沉 积在钼丝电极上，形成硅棒。

该过程周期在天，硅棒直径 可达到毫米左右。

该步骤转化率约百分之九十五，裂解炉尾 气为氢气及硅甲烷混合气体，裂解炉尾气通过镧镍储氢材料吸收 氢气，未反应的硅甲烷重新进入裂解炉反应。

镧镍储氢材料吸收 达到饱和后释放氢气，释放氢气纯度在以上， 释放的氢气通过碱淋洗塔淋洗处理以除去少量的硅甲烷杂质，反 应式 经碱淋洗处理后的氢气，经高空火炬排放 包装 裂解炉产生的硅棒，经检测到达规定的质量指标后送去包装。

设备方案 根据所选用的生产工艺要求，本项目所用的主要设备包括硅甲烷发 生器钯催化装置结晶炉压缩机制冷机氨储罐氢回收装置等。

除压缩机外，其他设备及安装工程全部由国内设计制造技术 成熟压缩机选择金属隔膜压缩机，通用标准设备，进口不受限制。

具体详见主要设备明细表 主要设备明细 序号设备名称规格型号数量备注 标准设备 金属隔膜压缩机英国 真空泵 千瓦氨冷机烟台冰轮 千瓦氟利昂制冷机烟台冰轮 变压器烟台冰轮 变压器瓦总变电 金属隔膜泵二次变电 水泵德国史密迪 氨气冷凝器 氨回流冷凝器 氨冷凝器 航天六院 硅甲烷换热器 航天六院 尾气换热器航天六院 二非标准设备航天六院 固体料斗航天六院 反应釜及换热器立方航天六院 氯化镁真空干燥器立方航天六院 液氨工艺罐航天六院 换热器航天六院 冷阱及收集釜航天六院 硫酸喷淋塔系统航天六院 分子筛塔柱航天六院钯催化剂塔柱航天六院 结晶炉航天六院 氨吸收塔系统航天六院 硫酸氨储罐立方航天六院 金属储氢系统航天六院 冷媒槽立方航天六院 水循环槽航天六院 碱吸收罐航天六院 防吸缓冲罐航天六院 真空缓冲罐航天六院 硫酸氨废液罐航天六院 稀碱配制釜航天六院 硫酸吸收塔航天六院 氨气缓冲罐航天六院 液氨循环罐航天六院 液氨罐航天六院 固体料仓航天六院 加料斗航天六院 液氨缓冲罐航天六院 反应器航天六院 氯化镁真空干燥器航天六院 液氨收集罐航天六院 固体氨捕集器航天六院 硅甲烷缓冲罐航天六院 硫酸高位罐航天六院 硫酸收集罐航天六院 硫酸吸收塔航天六院 分子筛吸附器航天六院 钯催化吸附器航天六院 结晶炉航天六院 尾气缓冲罐，台航天六院 工程方案 设计依据原则 建筑工程设计施工标准。

版工程建设标准强制性条文厂房建筑部分中 有关建筑消防安