1、“..... 泡生法已由国外多家公司验证，并正在实施产业化，本技术在其 基础上的改进，具有较好的成熟性到适用性，目前公司已利用冷 心放肩微量提拉法开始生产直径为的蓝宝石晶体，成 品率可达利用超声振动结合磨削工艺生产蓝宝石晶棒，蓝宝 石材料利用率可超过，产品已销往台湾和国内多家企业。 产品的生产制造过程分析 产品制造成本相对较低成本优势 原材料来源充足，价格稳定 工艺稳定且全部由计算机自动控制，产品质量稳定性好 管理工作到位后，成本可大幅度降低 曾经承担过的国家高技术产业化示范工程项目情况 公司承担了年度国家高技术产业化示范工程项目，英寸 半导体衬底晶圆及其关键设备的产业化，并于年月份通过国 家发改委的产业化验收，项目验收结论如下 年月日，受国家发展改革委的委托，国防科工委科技 与质量司在北京主持召开了国家发展改革委软生长技术取得 了定的进展......”。

2、“.....生长出国内最大尺寸的蓝宝石 晶体，用于国家氧碘强激光工程窗口材料，这是目前为止我国材料利 用率低加工表面质量差表面损伤层大加工后衬底材料定向精度 难以满足使用要求，国内规模化生产用高品质蓝宝石衬底材料目 前尚属空白。 国内在九十年代后期，针对大尺寸蓝宝石单晶体的设计不合理等问 题，很难满足晶体生长的基本条件。制备的晶体质量成本很难满足 使用要求，成为困扰相关产业发展的技术难题。我国在蓝宝石晶体材 料的加工技术方面和国际先进水平存在明显差距，主要是晶体国外有较大的差距，尤其 在蓝宝石晶体的生长技术生长装备及加工技术方面，至今不少单位 仍然使用较为传统的提拉法熔焰法生长氧化物单晶材料，由于机械 传动过程中震动很大，电器自动控制精度低，温度场制备了大尺 寸板状晶体......”。

3、“.....并且用廉价的碳材料代替热交换器用的昂贵金属 材料，极大的降低了生产成本。 我国在大尺寸蓝宝石单晶的合成方面与研 究所报道了采用法合成的蓝宝石晶体。乌克兰的单晶研 究所采用定向凝固法法泡生法 等多种制备方法，而适于生长大尺寸蓝宝石单晶的技术主要有热交 换法水平定向凝固法泡生法及温度梯度法及本项目所采用的冷 心放肩微量提拉法等。 年，俄罗斯的前已有提拉法熔焰法 坩锅移动法温度梯度法 导模法热交换法水平定向凝固害气 体检测仪和火灾监测仪的窗口光纤通讯接头盒等。 蓝宝石单晶制备的研究开始于世纪末，年，法国人用熔 焰法最先获得了较大尺寸的蓝宝石晶体，经过近百年的发展，制备蓝 宝石单晶的技术日趋完善。目发光二极管 及微电子电路，从而替代高价的氮化硅衬底，制作超高速集 成电路可以做成光学传感器以及其它些光学通信和光波导器件......”。

4、“.....其内部缺陷很少，没有 晶界孔隙等散射源，强度的损失很小，透波率很高，是目前透波部 件的首选材料此外，由于蓝宝石电绝缘透明易导热硬度高， 因此可以用来作为集成电路的衬底材料，可广泛用于有良好的透过率，可以满足多模式复合制导电视红外成 像雷达等的要求，在军事工业等领域被用作窗口材料及整流罩部 件，在光电通讯领域作为重要的窗口材料使用。 蓝宝石材料可以生长制备大尺寸的单晶 热膨胀系数 比热 热容 泊松比 抗热冲击品质因子 电阻率 蓝宝石单晶作为种优良透波材料......”。

5、“.....其特点是光洁度高硬度高耐 磨损。表给出了蓝宝石单晶的基本性能。 表蓝宝石单晶材料基本性能 晶体性能 化学式 式量 晶系六方晶系 晶格常数及方向 口等光学元件以及红外军事装置空间飞行器 高强度激光器的窗口材料。以白宝石单晶片为绝缘衬底材料的器 件则具有高集成度高速度低功耗和抗辐射能力强等优点。近年来 民用手表的表面大量使用白口等光学元件以及红外军事装置空间飞行器 高强度激光器的窗口材料。以白宝石单晶片为绝缘衬底材料的器 件则具有高集成度高速度低功耗和抗辐射能力强等优点。近年来 民用手表的表面大量使用白蓝宝石，其特点是光洁度高硬度高耐 磨损。表给出了蓝宝石单晶的基本性能......”。

6、“.....在紫外可见光红外波段 微波都具有良好的透过率，可以满足多模式复合制导电视红外成 像雷达等的要求，在军事工业等领域被用作窗口材料及整流罩部 件，在光电通讯领域作为重要的窗口材料使用。 蓝宝石材料可以生长制备大尺寸的单晶，其内部缺陷很少，没有 晶界孔隙等散射源，强度的损失很小，透波率很高，是目前透波部 件的首选材料此外，由于蓝宝石电绝缘透明易导热硬度高， 因此可以用来作为集成电路的衬底材料，可广泛用于发光二极管 及微电子电路，从而替代高价的氮化硅衬底......”。

7、“..... 如高温高压或真空容器的观察窗液晶显示投影仪的散热板有害气 体检测仪和火灾监测仪的窗口光纤通讯接头盒等。 蓝宝石单晶制备的研究开始于世纪末，年，法国人用熔 焰法最先获得了较大尺寸的蓝宝石晶体，经过近百年的发展，制备蓝 宝石单晶的技术日趋完善。目前已有提拉法熔焰法 坩锅移动法温度梯度法 导模法热交换法水平定向凝固法泡生法 等多种制备方法，而适于生长大尺寸蓝宝石单晶的技术主要有热交 换法水平定向凝固法泡生法及温度梯度法及本项目所采用的冷 心放肩微量提拉法等。 年，俄罗斯的研 究所报道了采用法合成的蓝宝石晶体。乌克兰的单晶研 究所采用定向凝固法制备了大尺 寸板状晶体，该工艺采用保护性气氛代替了晶体生 长时的高真空环境，并且用廉价的碳材料代替热交换器用的昂贵金属 材料，极大的降低了生产成本......”。

8、“.....尤其 在蓝宝石晶体的生长技术生长装备及加工技术方面，至今不少单位 仍然使用较为传统的提拉法熔焰法生长氧化物单晶材料，由于机械 传动过程中震动很大，电器自动控制精度低，温度场设计不合理等问 题，很难满足晶体生长的基本条件。制备的晶体质量成本很难满足 使用要求，成为困扰相关产业发展的技术难题。我国在蓝宝石晶体材 料的加工技术方面和国际先进水平存在明显差距，主要是晶体材料利 用率低加工表面质量差表面损伤层大加工后衬底材料定向精度 难以满足使用要求，国内规模化生产用高品质蓝宝石衬底材料目 前尚属空白。 国内在九十年代后期，针对大尺寸蓝宝石单晶体的生长技术取得 了定的进展，中国科学院上海光学精密机械研究所采用导向温梯法 与热交换法类似，生长出国内最大尺寸的蓝宝石 晶体，用于国家氧碘强激光工程窗口材料......”。

9、“..... 我国蓝宝石晶体的产业化属起步阶段，目前主要产品为中低档产 品，如用火焰法和提拉法制备直径范围在以下的蓝宝石晶体， 晶体质量只有少部分能达到光学级水平，如云南玉溪蓝晶晶体有限 公司南京恒炼蓝宝石表面有限公司大连淡宁光电技术有限公司等 企业上海光学精密机械研究所导向温梯法的产业化工作尚在起步阶 段，据报道能加工制造英寸以下的蓝宝石晶体，由于受 生长方向的限制，可加工基片直径尺寸小于，材料利用率较低。 在国际上能够通过产业化生产制造直径超过大尺寸蓝宝石晶 体的国家只有美国和前苏联，有代表性的公司有俄罗斯的公 司公司和等公司，生长出晶体尺寸最大为， 工艺方法为泡生法美国的是世界上最高水平 的晶体制造公司，可生产的大尺寸蓝宝石单晶体......”。