晶材料产业化项目可行性研究建议报告书 长期从事电池材料与有色金属冶金工作，取得多项国家和部级成果国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书其中锂 离子电池及其电池材料的研究及产业化获中国有色工业科技进步等奖黄 金洞金矿浮选工艺优化研究与应用获国家经贸委科技进步等奖国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书发表论文近 篇，获专利项，享受政府特殊津贴，兼任中国稀有金属学会钛锆铪学会主 任，中国电池工业协会常务理事，北京金属学会理事，美国电子电器工程师协会 高级会员国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书 技术负责人郑安生，公司总经理，男，年月出生，中共党员， 年毕业于兰州大学，材料科学硕士学位同年来北京有色金属研究总院工作至今国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书 历任研究专题组长国家半导体材料工程研究中心主任助理副主任，现任国瑞 电子材料有限责任公司总经理国家半导体材料工程研究中心副主任，兼任中国 电子材料行业协会光电子分会副理事长国家科学技术部秘密技术审查专家国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书年被聘为教授级高级工程师国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书具有系统坚实的专业理论知识和跟踪本专 业国内外科技发展前沿的能力，对ⅢⅤ族化合物半导体单晶材料制系密切，如将温度升到以上，反应基 本停止，从而可抑制反应向右方进行故将该温区温度维持在以上国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书 我们对多段炉的设计，各段炉温的单独控制及其协调配合控制也进行 了反复实验研究并不断应 反应消耗了，使反应向右继续进行，加剧了向中 的并入国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书反应与温度关 分别表示液固气相国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书 反应使进入，反应使部分与反应生成气相 逸出，二者差值，造成中的并入国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书 高温区的气相扩散到中温区发生如下反长中，高温区发生熔体中的与石英反应 国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书这种加热结构既 得到所需的温度分布，又可抑制生长过程中的污染国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书 污染是由于舟石英管都是石英即材料易于使并入熔体和单 晶中国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书抑制污染的机理是 在合成和晶体生创造了又个有利条件国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书本项目中，单晶生长采用两步法，即先合成多晶然后再次备料生长单 晶，备好的多晶放入两温区多段加热炉中生长单晶谓之无砷端生长技术国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书两 温区炉高温区温度为国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书中温区为种多段式两温区炉，只有热场配置合理即温度梯 度合适才有可能生长出合格单晶，公司技术人员经过反复实验比较不断优化， 设计出了合理热场，优化了温度分布，为提高单晶生长成品率实现该工艺的产 业化在长达天的单晶连续生长中，熔体与舟不粘接，单晶生长 完成后，单晶顺利脱舟国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书 纵向温度分布技术 通过中高温热场的合理配置，提高晶片的纵向均匀性，有利于提高成品率国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书 本项目所设计的水平单晶炉是，从而使晶体报废国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书本项目承担单位国瑞 公司经多年研究实践找到了解决粘接问题的良好方法，成为本公司项 独特的专有技术石英舟预处理技术，该项技术主要是在适当的溶剂中进行 热处理，它可保证完整 性好符合产品技术指标国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书这个问题曾是困扰单晶生长的个较 严重问题国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书很多单位曾试用过石英舟表面涂碳，碳舟虽可避免粘接问题，但 碳易大量掺入晶体成为有害杂质单晶生长是在密封于石英反应管中的石英舟中进行的，因此首先要 解决的是石英舟与熔体的粘舟问题国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书只有不粘舟才能保证单晶生长顺利，不出 多晶孪晶国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书生长完成后，晶体易从舟中取出脱舟良好且生长的晶体最低时小时爬行不大于国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书采用优质管支撑石英反应管使石 英反应管长期处于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径 扩大不超过国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书 石英舟的预处理技术 ，本项目单位根据多年工艺技术积累，选用精密的温控仪表 欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组 合，可保证在长达天的单晶生长过程中温控精度，炉体移动速度 籽晶走车生长单晶降温出炉晶体测试 工艺及设备的合理性和成熟性自行设计的单晶生长系统 本项目研发生产采用自行设计的水平砷化镓单晶生长系统，该生长系统在国 际上未见成型产品线 多晶合成单晶生长晶体加工 工艺流程为装管脱氧封管多晶合成约小时多 晶清洁处理封管余掺杂剂放籽晶装入单晶炉单晶生长天 熔料接管理体制，在国内外用户中树立了良好的形象国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书这为本项目的顺利实施提供了 制度上的保障国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书 第二章技术可行性分析 项目技术路线工艺设备的合理性和成熟性关键技术 的先进性 项目技术路管理制度技术开发奖励制度等国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书实行物质奖励与 精神奖励相结合，奖酬激励人才使用激励与企业文化激励相结合，短期激励与 长期激励相结合的综合激励方式国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书自公司成立以来，凭借自身雄厚的实力和良好 的管管理制度技术开发奖励制度等国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书实行物质奖励与 精神奖励相结合，奖酬激励人才使用激励与企业文化激励相结合，短期激励与 长期激励相结合的综合激励方式国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书自公司成立以来，凭借自身雄厚的实力和良好 的管理体制，在国内外用户中树立了良好的形象国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书这为本项目的顺利实施提供了 制度上的保障国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书 第二章技术可行性分析 项目技术路线工艺设备的合理性和成熟性关键技术 的先进性 项目技术路线 多晶合成单晶生长晶体加工 工艺流程为装管脱氧封管多晶合成约小时多 晶清洁处理封管余掺杂剂放籽晶装入单晶炉单晶生长天 熔料接籽晶走车生长单晶降温出炉晶体测试 工艺及设备的合理性和成熟性自行设计的单晶生长系统 本项目研发生产采用自行设计的水平砷化镓单晶生长系统，该生长系统在国 际上未见成型产品，本项目单位根据多年工艺技术积累，选用精密的温控仪表 欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组 合，可保证在长达天的单晶生长过程中温控精度，炉体移动速度 最低时小时爬行不大于国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书采用优质管支撑石英反应管使石 英反应管长期处于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径 扩大不超过国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书 石英舟的预处理技术 单晶生长是在密封于石英反应管中的石英舟中进行的，因此首先要 解决的是石英舟与熔体的粘舟问题国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书只有不粘舟才能保证单晶生长顺利，不出 多晶孪晶国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书生长完成后，晶体易从舟中取出脱舟良好且生长的晶体完整 性好符合产品技术指标国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书这个问题曾是困扰单晶生长的个较 严重问题国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书很多单位曾试用过石英舟表面涂碳，碳舟虽可避免粘接问题，但 碳易大量掺入晶体成为有害杂质，从而使晶体报废国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书本项目承担单位国瑞 公司经多年研究实践找到了解决粘接问题的良好方法，成为本公司项 独特的专有技术石英舟预处理技术，该项技术主要是在适当的溶剂中进行 热处理，它可保证在长达天的单晶连续生长中，熔体与舟不粘接，单晶生长 完成后，单晶顺利脱舟国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书 纵向温度分布技术 通过中高温热场的合理配置，提高晶片的纵向均匀性，有利于提高成品率国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性研究建议报告书 本项目所设计的水平单晶炉是种多段式两温区炉，只有热场配置合理即温度梯 度合适才有可能生长出合格单晶，公司技术人员经过反复实验比较不断优化， 设计出了合理