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本项目选择改良西门子法生产多晶硅。
该工艺流程采用三氯氢硅和氢气分别经过精制,进入还原炉,在高温下进行还原,获得的多晶硅棒经过后处理而获得高纯度的多晶硅。
同时对还原尾气进行处理,回收三氯氢硅,四氯化硅和氢气。
回收的三氯氢硅四氯化硅氢气经精制后再进入还原炉中生产多晶硅。
多晶硅的产品质量达到的要求。
工艺流程简述氢气精制工序由该公司相临的蓝恒达化工管道送来的氢气及回收氢气进入氢气气柜,经水环泵加压后的氢气经分离器氢气冷却器片碱干燥器活性碳吸附器除氧器冷却器冷冻除水器硅胶干燥器,再进入二次氢气净化器进行净化得到精制氢气。
该项目同时建设有电解水制氢系统。
采用纯化水经电解槽电解,制氢装臵分离氢氧等初步处理,再进入氢气净化装臵净化,得到高纯氢气供还原车间等生产使用。
三氯氢硅精制工序自制的三氯氢硅放入三氯氢硅储槽,再经泵送往高位槽,经控罐制氮机雷蒙磨机型三氯氢硅储罐四氯化硅储罐二多晶硅装臵砾石阻火器缓冲罐阻火器片碱干燥器活性碳吸附器除氧器冷却器冷冻除水器罐热水槽热水泵组合件接收槽阻火器氢气缓冲罐序号设备名称规格型号材质数量阻火器冷水冷凝器干燥器除氧器塔釜加热器螺旋冷冻机计量空冷器冷凝器接受槽粗品收集槽氮气缓冲罐水喷射器石棉酚醛尾气洗涤塔精馏塔前冷凝器后冷凝器过滤器尾气缓冲称规格型号材质数量三氯氢硅装臵氯气缓冲罐氯化氢合成炉氯化氢缓冲罐水环真空泵型组合件真空缓冲罐硅粉干燥器沸腾炉网袋过滤器万元其中固定资产投资万美元折合人民币万元,铺底流动资金万美元折合人民币万元。
以上美元与人民币的比率均为比。
期前期工程主要工艺设备表如下期前期工程主要工艺设备览表序号设备名处理系统地磅综合办公楼研发楼门卫门卫二门卫三根据宜春市发改委宜市发改外经字号关于核准中外合资硅材料有限公司年产吨多晶硅项目的通知,期前期工程投资总额为万美元折合人民币应急池深污水处理系统地磅综合办公楼研发楼门卫门卫二门卫三根据宜春市发热水池及泵房发配电间循环消防水池深循环消防水池泵房辅助车间冷冻空压事故应急池深污水模单位备注精馏车间尾气回收车间氢气气柜乙类仓库贮罐区三氯氢硅四氟化硅盐酸贮罐区泵房热水池及泵房发配电间循环消防水池深循环消防水池泵房辅助车间冷冻空压事故,现正安装并调试。
期前期工程主要建设内容期前期工程土建工程如下表期前期工程土建工程览表序号子项号项目名称规模单位备注氢气净化车间还原主车间三氯氢硅车间序号子项号项目名称规熔料,后者则送入专用还原炉,以生产拉制硅芯的硅芯料。
主要建设内容二七年七月,经宜春市发展和改革委员会核准,期前期年产吨多晶硅项目正式开工建设。
至目前,期前期工程土建已基本完工,大部分设备已进厂四氯化硅储槽,不合格品则返回粗产品罐,再重新送入高位槽进行精馏。
精馏残液塔釜排液及轻组份液体则送往高低沸物储槽,装车外卖。
回收的三氯氢硅和回收的四氯化硅经汽化后进入不同的还原炉,前者生产直拉料或区洗涤,再经丝网阻火器进入氢气气柜。
洗涤水则进入中和池进行处理。
尾气回收器冷凝下来的回收液体进入计量槽,经控制流量进入回收精馏塔,塔顶气相经二级全凝器冷凝得到的液体经分析,合格品流入回收精三氯氢硅储槽或下还原沉积为多晶硅。
通过调节电流强度,控制载体温度,使炉内载体直径变粗,达到供直拉单晶硅所需直径要求的多晶硅。
还原尾气经两级螺旋板换热器降温后进入尾气回收器,未凝气体与还原尾气经换热后进入水喷淋洗涤塔达标排空。
洗涤水进入中和池进行处理。
精馏的釜底残液及轻组分三氯氢硅则进入高低沸物槽,装车外卖。
还原系统及尾气回收系统精制的三氯氢硅经过鼓泡气化后与精制氢气在还原炉内,在以硅芯作为载体的表面,在高温得到的冷凝液再经过滤器,路返回精馏塔顶作为回流液,路作为产品流入计量槽。
经分析,合格的精制三氯氢硅进入精三氯氢硅储槽,不合格的则返回三氯氢硅储槽。
二级全凝器的尾气进入尾气缓冲罐,再经尾气洗涤塔洗涤处理,再进入氢气净化装臵净化,得到高纯氢气供还原车间等生产使用。
三氯氢硅精制工序自制的三氯氢硅放入三氯氢硅储槽,再经泵送往高位槽,经控制流量后进入精馏塔釜,从塔顶出来的气相经全凝器二级进行冷凝气冷却器片碱干燥器活性碳吸附器除氧器冷却器冷冻除水器硅胶干燥器,再进入二次氢气净化器进行净化得到精制氢气。
该项目同时建设有电解水制氢系统。
采用纯化水经电解槽电解,制氢装臵分离氢氧等初步处气冷却器片碱干燥器活性碳吸附器除氧器冷却器冷冻除水器硅胶干燥器,再进入二次氢气净化器进行净化得到精制氢气。
该项目同时建设有电解水制氢系统。
采用纯化水经电解槽电解,制氢装臵分离氢氧等初步处理,再进入氢气净化装臵净化,得到高纯氢气供还原车间等生产使用。
三氯氢硅精制工序自制的三氯氢硅放入三氯氢硅储槽,再经泵送往高位槽,经控制流量后进入精馏塔釜,从塔顶出来的气相经全凝器二级进行冷凝得到的冷凝液再经过滤器,路返回精馏塔顶作为回流液,路作为产品流入计量槽。
经分析,合格的精制三氯氢硅进入精三氯氢硅储槽,不合格的则返回三氯氢硅储槽。
二级全凝器的尾气进入尾气缓冲罐,再经尾气洗涤塔洗涤达标排空。
洗涤水进入中和池进行处理。
精馏的釜底残液及轻组分三氯氢硅则进入高低沸物槽,装车外卖。
还原系统及尾气回收系统精制的三氯氢硅经过鼓泡气化后与精制氢气在还原炉内,在以硅芯作为载体的表面,在高温下还原沉积为多晶硅。
通过调节电流强度,控制载体温度,使炉内载体直径变粗,达到供直拉单晶硅所需直径要求的多晶硅。
还原尾气经两级螺旋板换热器降温后进入尾气回收器,未凝气体与还原尾气经换热后进入水喷淋洗涤塔洗涤,再经丝网阻火器进入氢气气柜。
洗涤水则进入中和池进行处理。
尾气回收器冷凝下来的回收液体进入计量槽,经控制流量进入回收精馏塔,塔顶气相经二级全凝器冷凝得到的液体经分析,合格品流入回收精三氯氢硅储槽或四氯化硅储槽,不合格品则返回粗产品罐,再重新送入高位槽进行精馏。
精馏残液塔釜排液及轻组份液体则送往高低沸物储槽,装车外卖。
回收的三氯氢硅和回收的四氯化硅经汽化后进入不同的还原炉,前者生产直拉料或区熔料,后者则送入专用还原炉,以生产拉制硅芯的硅芯料。
主要建设内容二七年七月,经宜春市发展和改革委员会核准,期前期年产吨多晶硅项目正式开工建设。
至目前,期前期工程土建已基本完工,大部分设备已进厂,现正安装并调试。
期前期工程主要建设内容期前期工程土建工程如下表期前期工程土建工程览表序号子项号项目名称规模单位备注氢气净化车间还原主车间三氯氢硅车间序号子项号项目名称规模单位备注精馏车间尾气回收车间氢气气柜乙类仓库贮罐区三氯氢硅四氟化硅盐酸贮罐区泵房热水池及泵房发配电间循环消防水池深循环消防水池泵房辅助车间冷冻空压事故应急池深污水处理系统地磅综合办公楼研发楼门卫门卫二门卫三根据宜春市发热水池及泵房发配电间循环消防水池深循环消防水池泵房辅助车间冷冻空压事故应急池深污水处理系统地磅综合办公楼研发楼门卫门卫二门卫三根据宜春市发改委宜市发改外经字号关于核准中外合资硅材料有限公司年产吨多晶硅项目的通知,期前期工程投资总额为万美元折合人民币万元其中固定资产投资万美元折合人民币万元,铺底流动资金万美元折合人民币万元。
以上美元与人民币的比率均为比。
期前期工程主要工艺设备表如下期前期工程主要工艺设备览表序号设备名称规格型号材质数量三氯氢硅装臵氯气缓冲罐氯化氢合成炉氯化氢缓冲罐水环真空泵型组合件真空缓冲罐硅粉干燥器沸腾炉网袋过滤器空冷器冷凝器接受槽粗品收集槽氮气缓冲罐水喷射器石棉酚醛尾气洗涤塔精馏塔前冷凝器后冷凝器过滤器尾气缓冲罐热水槽热水泵组合件接收槽阻火器氢气缓冲罐序号设备名称规格型号材质数量阻火器冷水冷凝器干燥器除氧器塔釜加热器螺旋冷冻机计量罐制氮机雷蒙磨机型三氯氢硅储罐四氯化硅储罐二多晶硅装臵砾石阻火器缓冲罐阻火器片碱干燥器活性碳吸附器除氧器冷却器冷冻除水器硅胶干燥器螺旋板换热器不锈钢加热器不锈钢磁力泵不锈钢挥发器不锈钢氢气过滤器不锈钢还原炉还原炉电控装臵螺旋板换热器不锈钢序号设备名称规格型号材质数量尾气回收器不锈钢喷淋水洗塔衬丝网阻火器水环压缩机计量罐计量罐硅芯炉氮气装臵无油空压机冷冻机组万大卡塔釜不锈钢塔柱不锈钢全凝器后凝器过滤器尾气缓冲罐粗三氯氢硅罐精三氯氢硅罐不锈钢污水处理系统冷却塔冷却器及氢气冷却器带经济器螺旋杆盐水机开启式螺杆冷水机组空压机轴流风机主要水泵干式变压器高压开关柜低压开关柜序号设备名称规格型号材质数量发电机穿墙套管防火门家悦电脑及移动硬盘微机高频直流开关电源装臵方阻测试仪其他辅助设备及五金机电约二百万期增资扩建工程主要建设内容期增资扩建工程土建工程如下增资扩建工程土建工程览表序号子项号项目名称规模单位备注还原主车间二预留乙类仓库乙类仓库二机修车间车库辅助车间冷冻空压污水处理系统地磅二研发楼期增资扩建工程主要工艺设备如下表增资扩建工程工艺设备览表序号设备名称规格型号材质数量三氯氢硅装臵氯化氢合成炉氯化氢缓冲罐硅粉干燥器序号设备名称规格型号材质数量沸腾炉网袋过滤器空冷器冷凝器接受槽精馏塔前冷凝器后冷凝器过滤器热水泵组合件接收槽阻火器干燥器螺旋冷冻机计量罐三氯氢硅储罐二多晶硅装臵原料水罐电解槽外形尺寸复合件制氢装臵外形尺寸复合件砾石阻火器氢气冷却器缓冲罐阻火器阻火器片碱干燥器活性碳吸附器除氧器冷却器序号设备名称规格型号材质数量冷冻除水器硅胶干燥器加热器加热器不锈钢氢气二次净化器不锈钢螺旋板换热器不锈钢高位槽磁力泵不锈钢高低沸储罐挥发器不锈钢氢气过滤器不锈钢还原炉还原炉还原炉电控装臵尾气回收器不锈钢喷淋水洗塔衬填料水洗塔衬丝网阻火器氢气气柜水环压缩
