七百万件套服装项目投资立项送审报告（底稿）

在半导体工业中用于生产芯片制造液晶显示器蚀刻生产的制程。

在核工业中用于反应堆及核工业真空获得化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂，在脂肪酸生产中用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物医药工业中用于回收药物及其药物中间体，为人造器官生产提供清洁无菌条件食品工业中用于香料香精浓缩食品包装等。

应用范围极为广泛。

且干泵的种类很多，目前已开发出来的有爪型泵涡旋泵往复活塞泵螺旋泵等。

三国内外研究现状及发展趋势自从第台工业上可运行的干式泵年在日本运行以来，许多无油真空泵如雨后春笋般迅速发展起来，其中日本美国法国德国最为先进。

美国公司生产的系列产品，其真空度可达到，这是目前报道的单级干式真空泵中真空度最高的产品之。

而德国公司在年研制成功的是世界上第台真正意义上的干式真空泵，他能满足流程工业中最苛刻的要求，该产品荣获年年度技术革新奖。

以上两种真空泵均于沿转子长度上填充聚四氟乙烯用作密封以保持良好性能，他们同时也是无油真空泵的典型产品。

国外关于螺杆干式真空泵研究有许多内容。

英国有限公司根据螺杆式压缩机原理设计出了种双螺杆式真空泵，采用了许多新技术，并已形成批量生产，该公司已成为时间低压与真空技术中的领军人物之。

美国真空设备有限公司年推出款用于气体处理的新型干式螺杆真空泵，该型螺杆式真空泵采用可变啮合设计，比其他类的真空泵耗能减少约。

普旭是全球最有影响力的真空设备制造商之，为客户提供了数量众多真空泵及真空系统。

普旭转动，由于齿的端逐渐脱离啮合形成了齿间容积，这个齿间容积又仅与吸气口连通，因此气体便在压差作用下流入其中。

在随后的转子旋转过程中，阳转子齿的齿槽中脱离出来，齿间容积不断扩大，并与吸气孔保持连通。

吸气过程结束时，其最显著的特点是齿间容积达到最大值。

随着转子的旋转，所研究的齿间容积不会再增加。

齿间容积在此位置与吸气孔口断开，吸气过程结束。

压缩过程螺杆泵的压缩过程。

转子于端面是排气端面。

在这里，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转子沿逆时针方向旋转。

下方端面为吸气端面，上方为排气端面。

螺杆泵压缩过程即将开始时的转子位置。

此时气体被转子齿和机壳包围在个封闭的空间中，齿间容积由于转子齿的啮合就要开始减小。

随着转子的旋转，齿间容积由于转子齿的啮合而不断减小。

被密封在齿间容积的气体被占据体积也随之减小，导致压力升高，从而实现气体的压缩过程，压缩过程可直持续到齿间容积即将于排气孔口连通之前。

排气过程螺杆泵的排气过程。

齿间容积与排气孔口连通后，即开始排气过程。

随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。

这个过程直持续到齿末端的型线完全啮合，此时，齿间容积内的气体通过排气孔口被完全排出，封闭的齿间容积的体积变为零。

从上述工作原理可看出，螺杆型干式真空泵是种工作容积作用回转运动的容积式机械真空泵。

气体的压缩依靠容积的变化来实现，而容积的变化又是借助螺杆泵的对转子在机壳内做回转运动来达到的。

他的工作容积在周期性扩大和缩小的同时，其空间位置也在变更。

两转子示意图本课题研究的重点及难点，前期已开展工作确定螺杆转子参数，计算极限真空度，设计螺杆结构。

拟定真空泵的装配图。

根据上述问题提出多种可能的设计方案，对各方案进行评价优选获得最佳设计方案。

结合设计方案，进行相关分析计算，包括关键零件或结构的计算校核，确定主要零部件的结构绘制出装配图，根据装配图，拆画主要零件的零件图。

完成本课题的工作方案及进度计划进度安排调研收集资料并完成开题报告周熟悉设计开发工具和确定总体设计方案周单头螺杆型干式真空泵及结构方案详细设计并完善周完成外文翻译中期报告周设计计算并完成零件图装配图周整理资料撰写毕业论文准备答辩周。

指导教师意见对课题的深度广度及工作量的意见指导教师年月日所在系审查意见系主管领导年月日参考文献董铺干泵世纪照耀真空工业的新星，真空，徐成海等，干式螺杆机械真空泵及其应用，真空电子技术，江浩，新取真空技术干式真空泵，通用机械，年第期创新的化学干式真空泵，中国科学仪器网编辑，年月日周宝洪，干式螺杆真空泵的螺杆设计与计算，真空，年月第期何云信容积式真空泵结构形式的探讨广西大学，王鑫螺杆型干式真空泵参数化软件的开发东北大学，李锦云，杜经民，李宝仁基于真空泵的正负压连续控制系统江浩新型真空技术干式真空泵通用机械，王宝民真空泵运行优化的探究华北电力技术，姜燮昌真空泵的计算通用机械，谌乾坤干式真空泵的优化选择集成电路应用毕业设计论文开题报告题目单头螺杆型干式真空泵的建模和仿真系别机电系专业机械设计制造及其自动化班级姓名学号导师年月日毕业设计综述课题研究的目的和意义随着科学技术的发展，真空技术越来越广泛的应用在国民经济的各个领域之中。

真空技术的应用，必须以性能优良的真空泵为前提。

随着高新技术尤其是行业的飞速发展，给真空行业也拓展了更为宽阔的发展空间。

同时对平衡性好。

螺杆式真空泵没有不平衡的惯性力，机器平稳地高速运行。

适应性强。

螺杆式真空泵具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力影响。

多项混输。

由于螺杆式真空泵转子齿面留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性有毒含有粉尘可凝性蒸汽等多种气体。

然而我国些公司正在使用的螺杆型干式真空泵均是从国外进口，价格非常昂贵，所以应用并不广泛，造成这现象的主要原因由于螺杆转子型线比较复杂，加工难度大，需用特制刀具在专用机床上进行加工，另外，对螺杆干式真空泵体的加工精度也有较高的要求，而国内的加工水平目前还难以达到这个水平。

螺杆干式真空泵广泛应用于电子核能化工医药食品工业等领域。

在半导体工业中用于生产芯片制造液晶显示器蚀刻生产的制程。

在核工业中用于反应堆及核工业真空获得化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂，在脂肪酸生产中用安排调研收集资料并完成开题报告周熟悉设计开发工具和确定总体设计方案周单头螺杆型干式真空泵及结构方案详细设计并完善周完成外文翻译中期报告周进行评价优选获得最佳设计方案。

结合设计方案，进行相关分析计算，包括关键零件或结构的计算校核，确定主要零部件的结构绘制出装配图，根据装配图，拆画主要零件的零件图。

完成本课题的工作方案及进度计划进度扩大和缩小的同时，其空间位置也在变更。

两转子示意图本课题研究的重点及难点，前期已开展工作确定螺杆转子参数，计算极限真空度，设计螺杆结构。

拟定真空泵的装配图。

根据上述问题提出多种可能的设计方案，对各方案从上述工作原理可看出，螺杆型干式真空泵是种工作容积作用回转运动的容积式机械真空泵。

气体的压缩依靠容积的变化来实现，而容积的变化又是借助螺杆泵的对转子在机壳内做回转运动来达到的。

他的工作容积在周期性，即开始排气过程。

随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。

这个过程直持续到齿末端的型线完全啮合，此时，齿间容积内的气体通过排气孔口被完全排出，封闭的齿间容积的体积变为零。

合而不断减小。

被密封在齿间容积的气体被占据体积也随之减小，导致压力升高，从而实现气体的压缩过程，压缩过程可直持续到齿间容积即将于排气孔口连通之前。

排气过程螺杆泵的排气过程。

齿间容积与排气孔口连通后旋转。

下方端面为吸气端面，上方为排气端面。

螺杆泵压缩过程即将开始时的转子位置。

此时气体被转子齿和机壳包围在个封闭的空间中，齿间容积由于转子齿的啮合就要开始减小。

随着转子的旋转，齿间容积由于转子齿的啮到最大值。

随着转子的旋转，所研究的齿间容积不会再增加。

齿间容积在此位置与吸气孔口断开，吸气过程结束。

压缩过程螺杆泵的压缩过程。

转子于端面是排气端面。

在这里，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转子沿逆时针方向间容积，这个齿间容积又仅与吸气口连通，因此气体便在压差作用下流入其中。

在随后的转子旋转过程中，阳转子齿的齿槽中脱离出来，齿间容积不断扩大，并与吸气孔保持连通。

吸气过程结束时，其最显著的特点是齿间容积达该型螺杆式真空泵采用可变啮合设计，比其他类的真空泵耗能减少约。

普旭是全球最有影响力的真空设备制造商之，为客户提供了数量众多真空泵及真空系统。

普旭转动，由于齿的端逐渐脱离啮合形成了齿计出了种双螺杆式真空泵，采用了许多新技术，并已形成批量生产，该公司已成为时间低压与真空技术中的领军人物之。

美国真空设备有限公司年推出款用于气体处理的新型干式螺杆真空泵，。

以上两种真空泵均于沿转子长度上填充聚四氟乙烯用作密封以保持良好性能，他们同时也是无油真空泵的典型产品。

国外关于螺杆干式真空泵研究有许多内容。

英国有限公司根据螺杆式压缩机原理设的单级干式真空泵中真空度最高的产品之。

而德国公司在年研制成功的是世界上第台真正意义上的干式真空泵，他能满足流程工业中最苛刻的要求，该产品荣获年年度技术革新奖自从第台工业上可运行的干式泵年在日本运行以来，许多无油真空泵如雨后春笋般迅速发展起来，其中日本美国法国德国最为先进。

美国公司生产的系列产品，其真空度可达到，这是目前报道造器官生产提供清洁无菌条件食品工业中用于香料香精浓缩食品包装等。

应用范围极为广泛。

且干泵的种类很多，目前已开发出来的有爪型泵涡旋泵往复活塞泵螺旋泵等。

三国内外研究现状及发展趋势的制程。

在核工业中用于反应堆及核工业真空获得化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂，在脂肪酸生产中用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物医药工业中用于回收药物及其药物中间体，为人杆干式真空泵体的加工精度也有较高的要求，而国内的加工水平目前还难以达到这个水平。

螺杆干式真空泵广泛应用于电子核能化工医药食品工业等领域。

在半导体工业中用于生产芯片制造液晶显示器蚀刻生产杆干式真空泵体的加工精度也有较高的要求，而国内的加工水平目前还难以达到这个水平。

螺杆干式真空泵广泛应用于电子核能化工医药食品工业等领域