消防用水由消防水箱保证。火栓泵组两路出水至室外环状消防管路，环网上均匀设置室外消火栓。设置室内消火防水池和冷却水池，供消防及生产使用。生活水水源直接取自开发区市政给水管网。消防系统消防水量消火栓给水系统室内外消火栓给水采用临时高压系统，由消防蓄水池电消火栓加压电泵高位消防水箱消火栓管网和室内外消火栓组成。消防蓄水池采用地下式钢筋混凝土水池消火栓泵采用消防专用泵，为自灌式吸水。除消防水箱设在最高处屋面上，其余设备均设于地下水泵房内。平时室内外消火栓给水管网压力由消防水箱保证，消火栓泵可以就地启停，也可在消防控制中心手动启停，同时室内消火栓泵可由室内消火栓箱内按钮远距离启动，消防时主泵启动前室内消防用水由消防水箱保证。火栓泵组两路出水至室外环状消防管路，环网上均匀设置室外消火栓。设置室内消火栓各建筑物均从该环状管路上引两路接至其室内环状消防管路。灭火器配置根拉速，使得晶体直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度不断调整，可使晶棒直径误差维持在正负之间，这段直径固定部分称为等径部分，单晶硅片取自于等径部分。等径结束后，必须将晶棒直径慢慢缩小，直到成尖点，而与液面分开，长完晶棒被升至上机硅块脱胶槽平板电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计表三期进口工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元开方机切片机切序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元打磨机硅料清槽泡料槽气相光普分析仪单晶炉单晶带锯截断机电阻率测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机废线切割机砂浆搅拌桶超声波清洗设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元开方机切片机切片机全自动硅片分选机非接触电阻率测试仪傅立叶红外光普仪红外探伤仪平面厚度仪合计表二期国产工艺设备仪器表测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机废线切割机砂浆搅拌桶超声波清洗机硅块脱胶槽平板电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计表二期进口工艺设备仪器表序号机非接触电阻率测试仪傅立叶红外光普仪红外探伤仪平面厚度仪合计表期国产工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元打磨机硅料清槽泡料槽气相光普分析仪单晶炉单晶带锯截断机电阻率费用万元。详细各期设备清单如下表期进口工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元开方机切片机日本切片机日本全自动硅片分选原则在保证产品质量和生产能力以及研究发展前提下，选择性价比高工艺设备。主要设备和仪器本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套，共计万元。其中进口设备仪器台套，进口费用万元国产设备仪器台套，取下硅片。硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。样片测试测试合格，包装入库。产品目标市场本项目产品全部内销。主要设备选型主要设备仪器选择本项目工艺设备选型洗干净。晶棒粘接将准方形单晶硅棒粘接在专用工作台上。线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切片，切片结束后，从多线切片机卸下工作台。硅片脱胶取样从工作台通过脱胶分，并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理长度。测试取样测试氧碳含量及电阻率等。圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角圆弧滚磨光滑。超声波清洗将方棒清片脱胶取样线锯切片晶棒粘接滚磨准方棒腐蚀或超声清洗成品测试入库拆炉待炉温冷却后，将炉内坩埚及余料取出。断头尾目是切除单晶硅棒头部尾部及超出客户规格部分称为等径部分，单晶硅片取自于等径部分。等径结束后，必须将晶棒直径慢慢缩小，直到成尖点，而与液面分开，长完晶棒被升至上炉室冷却段时间后取出，即完成了单晶硅棒生长过程。硅棒准备圆棒切方硅片清洗烘干硅栓各建筑物均从该环状管路上引两路接至其室内环状消防管路。灭火器配置根拉速，使得晶体直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度不断调整，可使晶棒直径误差维持在正负之间，这段直径固定部洗干净。晶棒粘接将准方形单晶硅棒粘接在专用工作台上。线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切片，切片结束后，从多线切片机卸下工作台。硅片脱胶取样从工作台通过脱胶分，并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理长度。测试取样测试氧碳含量及电阻率等。圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角圆弧滚磨光滑。超声波清洗将方棒清停，也可在消防控制中心手动启停，同时室内消火栓泵可由室内消火栓箱内按钮远距离启动，消防时主泵启动前室内消防用水由消防水箱保证。火栓泵组两路出水至室外环状消防管路，环网上均匀设置室外消火栓。设置室内消火防水池和冷却水池，供消防及生产使用。生活水水源直接取自开发区市政给水管网。消防系统消防水量消火栓给水系统室内外消火栓给水采用临时高压系统，由消防蓄水池电消火栓加压电泵高位消防水箱消火栓管网和室内外消火栓组成。消防蓄水池采用地下式钢筋混凝土水池消火栓泵采用消防专用泵，为自灌式吸水。除消防水箱设在最高处屋面上，其余设备均设于地下水泵房内。平时室内外消火栓给水管网压力由消防水箱保证，消火栓泵可以就地启停，也可在消防控制中心手动启停，同时室内消火栓泵可由室内消火栓箱内按钮远距离启动，消防时主泵启动前室内消防用水由消防水箱保证。火栓泵组两路出水至室外环状消防管路，环网上均匀设置室外消火栓。设置室内消火栓各建筑物均从该环状管路上引两路接至其室内环状消防管路。灭火器配置根拉速，使得晶体直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度不断调整，可使晶棒直径误差维持在正负之间，这段直径固定部分称为等径部分，单晶硅片取自于等径部分。等径结束后，必须将晶棒直径慢慢缩小，直到成尖点，而与液面分开，长完晶棒被升至上机硅块脱胶槽平板电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计表三期进口工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元开方机切片机切序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元打磨机硅料清槽泡料槽气相光普分析仪单晶炉单晶带锯截断机电阻率测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机废线切割机砂浆搅拌桶超声波清洗设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元开方机切片机切片机全自动硅片分选机非接触电阻率测试仪傅立叶红外光普仪红外探伤仪平面厚度仪合计表二期国产工艺设备仪器表测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机废线切割机砂浆搅拌桶超声波清洗机硅块脱胶槽平板电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计表二期进口工艺设备仪器表序号片脱胶取样线锯切片晶棒粘接滚磨准方棒腐蚀或超声清洗成品测试入库拆炉待炉温冷却后，将炉内坩埚及余料取出。断头尾目是切除单晶硅棒头部尾部及超出客户规格部分称为等径部分，单晶硅片取自于等径部分。等径结束后，必须将晶棒直径慢慢缩小，直到成尖点，而与液面分开，长完晶棒被升至上炉室冷却段时间后取出，即完成了单晶硅棒生长过程。硅棒准备圆棒切方硅片清洗烘干硅栓各建筑物均从该环状管路上引两路接至其室内环状消防管路。灭火器配置根拉速，使得晶体直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度不断调整，可使晶棒直径误差维持在正负之间，这段直径固定部洗干净。晶棒粘接将准方形单晶硅棒粘接在专用工作台上。线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切片，切片结束后，从多线切片机卸下工作台。硅片脱胶取样从工作台通过脱胶分，并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理长度。测试取样测试氧碳含量及电阻率等。圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角圆弧滚磨光滑。超声波清洗将方棒清片脱胶取样线锯切片晶棒粘接滚磨准方棒腐蚀或超声清洗成品测试入库拆炉待炉温冷却后，将炉内坩埚及余料取出。断头尾目是切除单晶硅棒头部尾部及超出客户规格部分称为等径部分，单晶硅片取自于等径部分。等径结束后，必须将晶棒直径慢慢缩小，直到成尖点，而与液面分开，长完晶棒被升至上炉室冷却段时间后取出，即完成了单晶硅棒生长过程。硅棒准备圆棒切方硅片清洗烘干硅栓各建筑物均从该环状管路上引两路接至其室内环状消防管路。灭火器配置根拉速，使得晶体直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度不断调整，可使晶棒直径误差维持在正负之间，这段直径固定部停，也可在消防控制中心手动启停，同时室内消火栓泵可由室内消火栓箱内按钮远距离启动，消防时主泵启动前室内消防用水由消防水箱保证。火栓泵组两路出水至室外环状消防管路，环网上均匀设置室外消火栓。设置室内消火停，也可在消防控制中心手动启停，同时室内消火栓泵可由室内消火栓箱内按钮远距离启动，消防时主泵启动前室内消防用水由消防水箱保证。火栓泵组两路出水至室外环状消防管路，环网上均匀设置室外消火栓。设置室内消火组成。消防蓄水池采用地下式钢筋混凝土水池消火栓泵采用消防专用泵，为自灌式吸水。除消防水箱设在最高处屋面上，其余设备均设于地下水泵房内。平时室内外消火栓给水管网压力由消防水箱保证，消火栓泵可以就地启系统消防水量消火栓给水系统室内外消火栓给水采用临时高压系统，由消防蓄水池电消火栓加压电泵高位消防水箱消火栓管网和室内外消火栓自来水消耗量最大使用量约新鲜水年消耗量约万水源与水池本项目水源来自开发区市政给水管网。场区内设置生产消防水池和冷却水池，供消防及生产使用。生活水水源直接取自开发区市政给水管网。消防系自来水消耗量最大使用量约新鲜水年消耗量约万水源与水池本项目水源来自开发区市政给水管网。场区内设置生产消防水池和冷却水池，供消防及生产使用。生活水水源直接取自开发区市政给水管网。消防系统消防水量消火栓给水系统室内外消火栓给水采用临时高压系统，由消防蓄水池电消火栓加压电泵高位消防水箱消火栓管网和室内外消火栓组成。消防蓄