TOP45纳米聚晶金刚石安全高效生产项目可行性投资论证建议报告.doc文档免费在线阅读

本项目技术与专利对比见下表。

表本技术与美国杜邦公司专利对比次用炸药量公斤爆炸工序周期每公斤炸药得金刚石克拉粒度形貌成本售价克拉专利数天小于微米为主，需破碎砾石状，需整形高美元本项目技术小于分钟亚微米为主，无需破碎类球状，无需整形低成本元人民币项目承担单位在实施本项目中优势第章项目成熟度技术可靠性中科院力学所和物理所于年在国内首先联合开展了爆炸合成金刚石实验研究。

七十年代初，国内先后有多家开展了此项工作，但由于缺乏改进和持续发展能力而先后停止。

中科院力学所多位科学家坚持研究，完成了批颇具特色成果，发表后获得国内外同行好评。

年力学所专家为有关公司创建了中国第家规模化生产爆炸合成金刚石厂。

每公斤炸药金刚石产量约为克拉，年产能力为万克拉片碳化硅晶片太阳能光伏电池硅片以及磁头等产业制品超精细加工中。

在集成电路硅片领域，纳米聚晶金刚石微粉用作研磨材料可实现大尺寸集成电路硅圆片表面超精细加工。

在太阳能光伏电池方面，降低损伤层厚质被称为自锐性。

自锐性使得磨削效率高工件表面平整度高损伤层浅，最适合应用于高档硅片研磨和抛光。

在高新技术产业和传统支柱产业中均有重要应用。

项目产品应用领域纳米聚晶金刚石广泛应用于集成电路硅，各向同性，无解理面。

它既具有超常硬度，又有纳米材料高强度和高韧性。

作为超精细加工磨料，它不易划伤工件表面，能满足最苛刻加工要求。

在磨削过程中，随着纳米晶粒适时自动剥落，不断出现新锋利微观刃口，这种性企业。

项目建成并达产后，企业将成为国内最大纳米聚晶金刚石生产企业。

为我国芯片太阳能光伏机床刀具等产业发展奠定基础。

项目产品特点及应用领域项目产品特点本项目生产纳米聚晶金刚石，具有独特类球状形貌力学专家经过长期理论和时间研究对技术方案和工艺流程做了重大改进和更新，使纳米聚晶金刚石得以产业化生产。

项目内容本项目引入中科院成熟技术，利用山西省丰富石墨资源，建成年产万克拉纳米聚晶金刚石生产高新技术中有着广泛应用前景。

爆炸合成聚晶金刚石已有多年历史，但规模并不大。

这是由于其本身存在些未能克服缺点，主要表现为每公斤炸药产量不高操作不够简便，难以规模化。

为了改善这种供不应求局面，中国科学院爆炸石微粉制成磨具或研磨剂，可用于各种坚硬材料制品精细加工和抛光，与单晶金刚石微粉相比，其加工效率高表面光洁度高，显示了优异性能。

用纳米聚晶金刚石加工芯片在计算机领域以及传统支柱产业如汽车航空工业成为硅片加工主流工艺。

由于化学腐蚀抛光法无法保证硅片整体平整度，随着硅片尺寸越来越大，精度要求越来越高，这种工艺已不能满足需要，这就为在硅片超精细加工中使用纳米聚晶金刚石微粉提供了契机。

由纳米聚晶金刚金刚石沿解理面脆断形成锋利刃口不可避免会划伤工件表面，而硅材料微电子性能对表面轻度损伤又极端敏感。

在这种背景下逐渐发展了另种硅片加工工艺，即化学腐蚀抛光法。

这工艺对于小尺寸硅片发挥了良好作用，现已发现困难，价值昂贵，不能满足生产需要。

由于以半导体工业为基础微电子产业迅速发展，自年代以来美国公司就看到了硅片精加工中所蕴涵巨大商机和挑战，积极开展了静压法单晶金刚石在硅片加工应用方面研究。

但单晶天然是种名贵聚晶金刚石，各向同性，质地非常致密坚韧，冲击韧性可达到单晶金刚石倍，工业使用价值极高。

但聚晶金刚石蕴藏在地下数百公里岩体里，只有火山喷发时才被带出地表，并且储量少纳米聚晶金刚石安全高效生产技术项目背景金刚石是世界上最坚硬物质，它有两种形态，种是单晶金刚石，它具有无可比拟硬度，但性脆不耐冲击另种是聚晶金刚石，其外表呈灰黑色，被称作，划项目实施内容工艺流程原辅材料来源及供应渠道生产设备建设周期公用工程第章项目安全与环保项目生产安全生产安全标准火工品使用资格审批火工品使用与保管项目环保噪声废液和废气第章结论与展望第章项目概述项目名称估算及资金筹措项目投资估算投资规模主要设备概算生产占地生产人员资金筹措方案第章经济和社会效益分析经济效益分析产品成本分析经济效益项目盈亏平衡社会效益第章项目实施方案项目开发计划产能规划和实施步骤产品规切削加工方面副产品纳米单晶金刚石应用纳米聚晶金刚石主要生产单位情况国外生产情况国内生产情况本项目产品在国内外市场地位超精细加工工艺路线发展趋势给本项目产品带来机遇与国际产品竞争市场预测第章项目投资创新性项目承担单位在实施本项目中优势第章项目成熟度核准通过，归档资料。

未经允许，请勿外传，技术可靠性产品及性能第章市场需求情况和风险分析产品应用前景硅片加工应用方面碳化硅晶片加工方面巨磁阻磁头加工方面目录第章项目概述项目名称项目背景项目内容项目产品特点及应用领域项目产品特点项目产品应用领域投资必要性和预期经济效益投资必要性预期经济效益本企业实施该项目优势第章技术可行性分析国内外发展现状本项目技术创目录第章项目概述项目名称项目背景项目内容项目产品特点及应用领域项目产品特点项目产品应用领域投资必要性和预期经济效益投资必要性预期经济效益本企业实施该项目优势第章技术可行性分析国内外发展现状本项目技术创新性项目承担单位在实施本项目中优势第章项目成熟度核准通过，归档资料。

未经允许，请勿外传，技术可靠性产品及性能第章市场需求情况和风险分析产品应用前景硅片加工应用方面碳化硅晶片加工方面巨磁阻磁头加工方面切削加工方面副产品纳米单晶金刚石应用纳米聚晶金刚石主要生产单位情况国外生产情况国内生产情况本项目产品在国内外市场地位超精细加工工艺路线发展趋势给本项目产品带来机遇与国际产品竞争市场预测第章项目投资估算及资金筹措项目投资估算投资规模主要设备概算生产占地生产人员资金筹措方案第章经济和社会效益分析经济效益分析产品成本分析经济效益项目盈亏平衡社会效益第章项目实施方案项目开发计划产能规划和实施步骤产品规划项目实施内容工艺流程原辅材料来源及供应渠道生产设备建设周期公用工程第章项目安全与环保项目生产安全生产安全标准火工品使用资格审批火工品使用与保管项目环保噪声废液和废气第章结论与展望第章项目概述项目名称纳米聚晶金刚石安全高效生产技术项目背景金刚石是世界上最坚硬物质，它有两种形态，种是单晶金刚石，它具有无可比拟硬度，但性脆不耐冲击另种是聚晶金刚石，其外表呈灰黑色，被称作，天然是种名贵聚晶金刚石，各向同性，质地非常致密坚韧，冲击韧性可达到单晶金刚石倍，工业使用价值极高。

但聚晶金刚石蕴藏在地下数百公里岩体里，只有火山喷发时才被带出地表，并且储量少发现困难，价值昂贵，不能满足生产需要。

由于以半导体工业为基础微电子产业迅速发展，自年代以来美国公司就看到了硅片精加工中所蕴涵巨大商机和挑战，积极开展了静压法单晶金刚石在硅片加工应用方面研究。

但单晶金刚石沿解理面脆断形成锋利刃口不可避免会划伤工件表面，而硅材料微电子性能对表面轻度损伤又极端敏感。

在这种背景下逐渐发展了另种硅片加工工艺，即化学腐蚀抛光法。

这工艺对于小尺寸硅片发挥了良好作用，现已成为硅片加工主流工艺。

由于化学腐蚀抛光法无法保证硅片整体平整度，随着硅片尺寸越来越大，精度要求越来越高，这种工艺已不能满足需要，这就为在硅片超精细加工中使用纳米聚晶金刚石微粉提供了契机。

由纳米聚晶金刚石微粉制成磨具或研磨剂，可用于各种坚硬材料制品精细加工和抛光，与单晶金刚石微粉相比，其加工效率高表面光洁度高，显示了优异性能。

用纳米聚晶金刚石加工芯片在计算机领域以及传统支柱产业如汽车航空工业中有着广泛应用前景。

爆炸合成聚晶金刚石已有多年历史，但规模并不大。

这是由于其本身存在些未能克服缺点，主要表现为每公斤炸药产量不高操作不够简便，难以规模化。

为了改善这种供不应求局面，中国科学院爆炸力学专家经过长期理论和时间研究对技术方案和工艺流程做了重大改进和更新，使纳米聚晶金刚石得以产业化生产。

项目内容本项目引入中科院成熟技术，利用山西省丰富石墨资源，建成年产万克拉纳米聚晶金刚石生产高新技术企业。

项目建成并达产后，企业将成为国内最大纳米聚晶金刚石生产企业。

为我国芯片太阳能光伏机床刀具等产业发展奠定基础。

项目产品特点及应用领域项目产品特点本项目生产纳米聚晶金刚石，具有独特类球状形貌，各向同性，无解理面。

它既具有超常硬度，又有纳米材料高强度和高韧性。

作为超精细加工磨料，它不易划伤工件表面，能满足最苛刻加工要求。

在磨削过程中，随着纳米晶粒适时自动剥落，不断出现新锋利微观刃口，这种性质被称为自锐性。

自锐性使得磨削效率高工件表面平整度高损伤层浅，最适合应用于高档硅片研磨和抛光。

在高新技术产业和传统支柱产业中均有重要应用。

项目产品应用领域纳米聚晶金刚石广泛应用于集成电路硅片碳化硅晶片太阳能光伏电池硅片以及磁头等产业制品超精细加工中。

在集成电路硅片领域，纳米聚晶金刚石微粉用作研磨材料可实现大尺寸集成电路硅圆片表面超精细加工。

在太阳能光伏电池方面，降低损伤层厚度是提高太阳能光伏电池光电转化率最关键，也是最难解决问题。

采用纳米聚晶金刚石加工硅片，可以降低其表面损伤层厚度，光电转化率则可跨上个台阶。

在硬盘存储方面，随着存储密度提高，巨磁阻磁头平整度要求达到，甚至小于。

这种由多层硬度迥异材料构成元件，要求达到如此高平整度，其超精细加工难度是当今最高。

采用类球状纳米聚晶金刚石加工表面平整度基本达到了要求。

在切削道具方面，金刚石以其高硬度高耐磨性高传热而成为理想切削刀具，具有高精高效长寿低耗等优点，适用于有色金属材料高速精密和自动化加工，能以车铣代磨，目前已在汽车航天航空精密机械家电木材等行业得到广泛应用。

此外纳米金刚石还在众多工业领域得到应用。

投资必要性和预期经济效益投资必要性制约我国集成电路硅片碳化硅晶片太阳能光伏电池硅片以及磁头等