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体等热场系统元件采用高纯石墨超高纯石墨材料制造,产品要求材料的金属杂质含量要求不超过。


同时硅单晶生长炉最主要的易损件的消耗量特别大。


根据权威部门统计,台小型晶体生长炉如英寸每年消耗的石墨坩埚加热器投资估算依据„„„„„„„„„„„„„„„„„„二估算范围„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„二人力资源配置„„„„„„„„„„„„„„„„„„第十二章项目实施进度„„„„„„„„„„„„„„„„第十三章投资估算„„„„„„„„„„„„„„„„„„„未经允许,请勿外传,组织机构„„„„„„„„„„„„„„消防设施„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„第十章组织机构与人力资源配置„„„„„„„„„„„核准通过,归档资料。


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未经允许,请勿外传,组织机构„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„二人力资源配置„„„„„„„„„„„„„„„„„„第十二章项目实施进度„„„„„„„„„„„„„„„„第十三章投资估算„„„„„„„„„„„„„„„„„„„投资估算依据„„„„„„„„„„„„„„„„„„二估算范围„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„三项目建设投资„„„„„„„„„„„„„„„„„„四资金筹措„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„第十四章财务评价„„„„„„„„„„„„„„„„„„评价依据范围及指标„„„„„„„„„„„„„„二经济评价„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„三财务评价„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„第十五章研究结论与建议„„„„„„„„„„„„„„„„总论项目背景项目名称油茶籽的综合开发利用承办单位项目提出的理由与过程当今世界新材料的发展日新月异,特别是电子通讯等相关领域发展迅猛,对硅材料需求十分旺盛。


数十年以来,硅材料行业直以提高硅单晶的尺寸和质量为主要目标,先后生产了英寸硅片。


据最新的国家半导体技术介绍,直径英寸硅单晶抛光片是英寸的下代产品,也是未来线宽的集成电路的衬底材料。


集成电路产业是信息产业的核心,全世界以集成电路为核心的电子元器件,以上是硅材料制成的,其中直拉硅单晶的用量超过。


随着超大规模集成电路集成度的迅速提高,迫切要求采用大直径的直拉硅单晶抛光片。


超纯及完整晶体结构的硅晶体是条长长的价值链的起点。


没有硅晶体就没有半导体光电子通讯技术及光电技术。


硅晶体棒用于制作晶圆,晶圆是半导体工业中制作芯片的基础材料。


硅材料的另个大的需求来自太阳能。


从长远看,世界上半以上的能源生产要采用可再生能源。


可再生资源主要有风水太阳能。


太阳能直接转换成电能光电效应靠太阳能电池完成。


电池的原材料是带特定晶体结构的硅。


专家预测在今后的十年,结晶硅将在太阳能电池的生产中成为在最主要的材料。


硅片工业目前在生产与市场方面已经形成了垄断,日本德国等国的资本控制的八大硅片公司的销量占硅片总销量的,当前用主流硅片是英寸,并向英寸过渡。


市场调研预测,到年,英寸的硅片的比例将由目前的增加到。


在和太阳能发电等领域对硅单晶的巨大需求和消费,对其生产能力对生产技术提出了更高的要求。


其中生产高纯半导体材料的高温电热真空炉硅单晶生长炉正在向大型化自动化的方向发展。


硅单晶生长炉隔热保温筒坩埚发热体等热场系统元件采用高纯石墨超高纯石墨材料制造,产品要求材料的金属杂质含量要求不超过。


同时硅单晶生长炉最主要的易损件的消耗量特别大。


根据权威部门统计,台小型晶体生长炉如英寸每年消耗的石墨坩埚加热器保温隔热材料的价值,达到万元以上台大型晶体生长炉的热场系统备件损耗,可达万元以上。


由于生产大型高纯石墨超高纯石墨材料工艺控制难,需要大型的等静压设备等,其投资极大。


因此,高纯石墨尺寸受到限制,经常不能满足制造较大硅单晶生长炉的热场零件的要求另外,石墨脆性大,机械强度不高,使用可靠性不强,使用寿命短。


本项目提出的炭炭复合材料单晶生长热场系统零件的材料及热场解决方案,经过实践验证,对解决以上问题起到了很好的效果。


实施本案对发展大型硅单晶生长设备,制造大尺寸的晶体,提升我国微电子技术水平具有极为重大的意义。


二项目概况拟建地点本项目拟建于工业集中区。


位于村杨家洞,距公里交通区位优势非常明显。


建设规模与目标本项目的产品以硅单晶生长炉的坩埚保温筒和固化保温毡为主要产品,首先重点针对国内当前面大量广的热场系统进行开发。


生产能力按年生产,公斤炭炭复合材料和吨碳石墨材料的规模计算。


大规模化的生产炭炭复合材料,使本项目在同行业中具备了强大的优势。


第二章市场预测产品市场供应预测国内供需现状国内现有生产单晶的设备余台,近年来,每年递增台左右。


目前的设备主要拉制从〞至〞,少量为〞的晶棒。


由于单炉投料量仅为几十公斤,因此,多采用高纯石墨制造坩埚,而这些高纯石墨多为进口冷等静压石墨。


英寸的热系统的隔热保温套,则多为进口件。


相当部分较大型的进口设备,其热系统完全依靠进口。


复合材料热场系统研究组,为满足半导体工业的要求,与西安理工大学单硅晶基地有研硅股等单位合作,对复合材料热场系统进行试验和使用。


在西安用复合材料制作的坩埚及加热器,装在加有横向磁场的上,使用情况很好。


国外的发展现状年东芝陶瓷申请的美国专利介绍用二维纤维织物绕制作成单晶生长炉坩埚坯体,浸渍树脂后碳化制成坩埚。


随后,在年美国等用三维复合材料制造了单晶生长炉用坩埚埚帮埚托发热体隔热屏及支撑块等等人制备的高纯复合材料,制造的硅单晶生长炉的热场零部件,通过系列的高温处理,金属杂质含量控制到很低的程度。


年,等采用复合材料在硅单晶生长炉的底部设置个容积等于坩埚的容积的环槽,在硅单晶生长炉出现意外漏硅时,可以防止其他热场零件受到损伤。


东洋炭素,等国外厂商在其产品介绍中,也提到复合材料制造单硅晶生长炉的坩埚发热体等产品。


其中提到的个别产品已经投入使用,大多数则仍处于研究阶段。


二产品目标市场分析目标市场确定超高纯及晶体结构完整的硅晶圆是半导体工业中制作芯片的基础材料。


集成电路的出现及发展,使人类步入了微电子时代。


随着微电子元件尺寸小型化管芯面积大

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