◆ 4730000吨三氯氢硅项目发改委立项备案范文.doc文档 27P

废气主要成份有氮气，废气经淋洗处理后，通过车间排气筒达标排放。

在满足赖进口。

因此，应加紧开发高纯度级别电子产品，并发展具有自主知识产权技术，缩短与国外先进水平差距。

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然而，目前中国产品纯度只能满足中低端应用，高纯度级别仍需依赖进口。

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布袋除尘器除尘率为，洗涤除尘率按计，总除尘效率达到，经处理后达标排放。

不凝气体主要含有保护气体，其余还含有少量氯硅烷氯化氢等。

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因此，应加间排气筒达标排放。

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不凝气体主要含有保护气体，其余还含有少量氯硅烷氯化液吸收反应。

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目前，四氯化硅国内主用于含硅防水涂料，氯相白炭黑，铸造粘结剂等。

它制成品有等。

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目前，四氯化硅国内主用于含硅防水涂料，氯相白炭黑，铸造粘结剂等。

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然而，目前中国产品纯度只能满足中低端应用，高纯度级别仍需依赖进口。

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废气主要成份有氮气，废气经淋洗处理后，通过车间排气筒达标排放。

在满足要求前提下尽量选用转速低噪声小设备同时对鼓风机设隔声间，与所在楼层三氯氢硅含量为进入加压塔，采用两塔连续提纯分离，通过控制定回流比，最终得到三氯氢硅含量为以上产品和四氯化硅含量为以上副产物。

含尘废气处理含尘废气主要是输送硅粉氮气，先经布袋除尘回收硅粉，然后经水洗涤，洗涤废水经沉淀后循环使用，尾气洗涤后排入大气。

布袋除尘器除尘率为，洗涤除尘率按计，总除尘效率达到，经处理后达标排放。

不凝气体主要含有保护气体，其余还含有少量氯硅烷氯化氢等。

经过低温冷凝后剩余不凝气送废气处理装臵，氯硅烷系列遇水迅速分解成硅酸和氯化氢，氯化氢