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工艺路线本项目生产电子气体全部是氟化物，氟元素来源于电解制氟。
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全球用量吨以上，国内用量超过吨，年均增长率以上。
目前国内只有少量粗气生产。
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预计年后国内三氟化氮需求将达到吨以上，亚太地区将超过吨。
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