【22页】钽靶材、钽环件成品加工技术改造项目资金申请报告.doc文档全文免费阅读

为推动我国集成电路制造产业的发展，提升我国集成电路制造装风险能力。

国家的推动力。

同时借助产业化的装备与技术实力，为拓展其 它金属靶材的技术开发奠定基高。

以同种型号靶材和环件市场价格举例出口块钽靶材坯料，售 价约块，而块成品钽靶材的售价是块出口套钽 环件散件，售价约套，而套成品钽环件的售价是套。

提升企业形象，稳定世界三强地位。

项目形成产业化后，除进步稳定我们世界钽铌三强地位外，也 进步提高了我们在钽深加工领域上的技术实力，逐步形成我们在世 界市场上的主导地位。

同时借助产要求是材料内部组织符合要求并能保持加工的致性。

在材料的控制 方面，我们通过自治区科技攻关项目高性能钽靶材研制和公司科 技攻关项目溅射钽环件生产工艺研究，获得稳定可靠的高性能钽 靶材坯料以及钽环件坯料的加工工艺。

具体取得的成果分述如下 高性能钽靶材研制 高性能钽靶材研制被列入年度自治区科技攻关项目， 该项目于年完成，并形成批量销售。

宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 取得的技术突破 化学成份和力学性能均符合标准，其中 纯度 二项目的技术基础 高性能钽靶材和钽环件用坯料制备技术基础 应用于半导体行业的高性能钽靶材和钽环件，其中最重要的技术 进步稳定我们世界钽铌三强地位外，也 进步提高了我们在钽深加工领域上的技术实力，逐步形成我们在世 界市场上的主导地位。

提升企业形象，稳定世界三强地位。

材坯料，售 价约块，而块成品钽靶材的售价是块出口套钽 环件散件，售价约套，而套成品钽环件的售价是套。

项目必要性 产品技术附加值大幅提高。

的风险能力，完善钽材加工产业链，还可以为 中国的半导体产业发展提供坚实的材料基础，意义重大。

部分内容简介部分内容简介，不但可以提升我们企业的技术水平，增 加利润，增强抵御市场的风险能力，完善钽材加工产业链，还可以为 中国的半导体产业发展提供坚实的材料基础，意义重大。

项目必要性 产品技术附加值大幅提高。

以同种型号靶材和环件市场价格举例出口块钽靶材坯料，售 价约块，而块成品钽靶材的售价是块出口套钽 环件散件，售价约套，而套成品钽环件的售价是套。

提升企业形象，稳定世界三强地位。

项目形成产业化后，除进步稳定我们世界钽铌三强地位外，也 进步提高了我们在钽深加工领域上的技术实力，逐步形成我们在世 界市场上的主导地位。

同时借助产业化的装备与技术实力，为拓展其 它金属靶材的技术开发奠定基础，如 靶等，逐步可实现金属靶产业多元化，增强我们抵御市场风险能力。

国家的推动力。

为推动我国集成电路制造产业的发展，提升我国集成电路制造装宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 备工艺及材料技术的自主创新能力，年月日，国务院总 理温家宝主持召开国务院常务会议，审议并通过核心电子器件高 端通用芯片及基础软件产品和极大规模集成电路制造装备及成套 工艺两个国家科技重大专项。

中色东方集团已经以项目主承担单位 的身份，和其他八家企业和大学联合承担完成国家在 超高纯大尺寸靶材产业技术开发项目。

原材料优势。

美国和日本制造企业，其制造钽靶材及环件的原材料均需对外采 购，而我们集团具备原料的生产能力，从而使得产品的致性能够得 到充分的保证，这是个很重要的优势所在。

地理位置优势。

中国及亚洲是最大的高性能能钽靶材及钽环的消耗市场，并且将 继续保持以较高速率发展，目前中国及亚洲市场钽靶材主要来自美国 和日本。

二项目的技术基础 高性能钽靶材和钽环件用坯料制备技术基础 应用于半导体行业的高性能钽靶材和钽环件，其中最重要的技术 要求是材料内部组织符合要求并能保持加工的致性。

在材料的控制 方面，我们通过自治区科技攻关项目高性能钽靶材研制和公司科 技攻关项目溅射钽环件生产工艺研究，获得稳定可靠的高性能钽 靶材坯料以及钽环件坯料的加工工艺。

具体取得的成果分述如下 高性能钽靶材研制 高性能钽靶材研制被列入年度自治区科技攻关项目， 该项目于年完成，并形成批量销售。

宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 取得的技术突破 化学成份和力学性能均符合标准，其中 纯度 晶粒度控制在之间，并且均匀致 再结晶度 平整度 粗糙度 结晶取向在厚度方向呈织构。

市场情况 通过该项目的研究，已确定出合理科学的溅镀膜用高性能钽靶材 生产工艺，产品质量执行美国哈尼威尔公司 标准，技术水平达到国际先进。

制定了企业标准钽铌 靶材表面质量检测标准。

产品已得到等国内外用 户的认可，填补国内空白。

产品质量得到等国际上大的半导体靶材提供商的认证，质量 稳定可靠，已形成批量销售。

详细销售情况见表所有钽靶材 表年至年月钽靶材销售表 溅射钽环件生产工艺研究 溅射钽环件生产工艺研究年立题，年完成阶段性 成果，即完成溅射钽环件坯料的制备工艺研究。

取得的技术突破 项目时间合计 重量 销售额万元宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 溅射钽环件用钽条晶粒尺寸在，并均匀致 溅射钽环件用钽条同板差小于 溅射钽环件用钽凸结体的加工工艺，采用压力成型及精加工工 艺，保证钽凸结体对尺寸公差及形位公差的要求。

市场情况 产品研发成功后，产品质量得到国外多家用户认可，形成批量销 售。

详细销售情况见表，表 表年至年月钽条销售表 项目时间合计 重量 销售额万元 表年至年月钽环件销售表 项目时间合计 重量 销售额万元 高性能能钽靶材和钽环件成品加工技术基础 通过自治区科技攻关项目高性能钽靶材成品加工工艺研究和 公司科技攻关项目型钽靶材生产工艺研究溅射钽环件生产工 艺研究，获得成品钽靶材型钽靶材 已申请国家发明专利有项 磁控溅射环件用环体表面柔性滚花方法及刀具，专利申请号 磁控溅射环件用钽凸台结体生产方法及冲压模具，专利申请 号 磁控溅射环，专利申请号。

正在申请的发明专利 正在申请的发明专利有项 钽靶材的织构控制 钽和铜铝钛异种金属的扩散焊接 溅射钽环件用钽条制备工艺。

三建设方案 项目规模及主要内容 建设规模为钽靶材套年，钽环件套年。

主要内容是厂 房改造和部分关键设备购买，改造厂房面积约，购买关键设备 如表 表购买关键设备明细 序号设备名称数量工艺要求用途 电子束焊机台最大加速电压电子束功率焊接室容积。

靶焊接及环件焊接宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 数控车床大台回转直径通用卧式数控车床。

焊接后靶材成品车削 数控车床小台回转直径通用卧式数控车床。

钽环用钽凸结体成品车削 镗铣加工中心台工作台尺寸为通用镗铣加工中心。

成品靶材铣削及环件焊接槽和端头滚花 热喷涂设备套电弧喷涂机。

靶材成品喷涂 喷砂设备套吸入式干喷砂。

钽环件的成品喷砂和钽靶材喷涂前喷砂工艺。

精密卷圆机台最大厚度，宽度。

环件卷园 超声波扫描设备台专用设备靶材焊接质量检验 清洗设备台专用设备。

环件及靶材成品清洗包装 专用轧辊对用于靶材及环件轧制 购买设备多为通用设备，也可用于分厂其它产品生产。

热等静压 机和三座标检测设备现在公司都有，可共用。

产品工艺稳定，并有稳 定的用户后，再进行扩能建设，扩能建设主要补充机加设备和检测设 备三坐标仪。

实施的工艺路线 成品钽靶材工艺路线宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 工艺可行性分析，此工艺是经过多次试验最终确定的生产工艺， 加工产品既通过实验室的分析检测织构检测，金相检测，焊接强度 检测，焊接结合率检测，尺寸检测，外观检测，也通过最终用户的 上机测试，工艺先进，在国内属领先水平。

成品钽环件工艺路线 成品钽环件工艺路线及所用设备 焊接 粗加 喷砂 喷涂 检验 精加 检验清洗封装包装 热等静压 数控车大 三坐标 喷砂机 车铣 热喷涂 封装机清洗线 洁净室 卷圆 内外表面滚花 划窝 焊接 端头滚花 喷砂 检验清洗封装包装 卷圆机 数控车大 三坐标 电子束焊机 喷砂机 加工中心 封装机清洗线 钽凸台精加工 加工中心 数控车小 洁净室宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 工艺可行性分析，此工艺是经过多次试验最终确定的生产工艺， 加工产品通过实验室的分析检测焊接检测，金相检测，尺寸检测， 外观检测，已送到最终用户等待上机测试。

建设工期和进度安排 根据国内同类型工程建设的实践经验，结合本项目设备制造周 期工程设计以及设备施工招投标本地区及企业的建设力量和条 件，确定本项目建设周期年热等静压机需要年半的加工周期， 前期可以外协。

表期建设进度表 序 号 计划进度 项目阶段 年年 可行性研究报告 设备调研 设备招标 厂房改造设计 厂房改造施工 设备制造与交货 设备安装调试 试生产 四项目投资 总投资规模 本项目总投资万元。

投资使用方案 投资构成 投资构成见表 序号设备名称数量用途金额万元 电子束焊机台靶焊接及环件焊接宁夏东方钽业股份有限公司项目管理 表投资构成表 五经济效益分析期 成本计算 材料成本 钽靶材 每件成品靶材钽材重，材料直收率，原料价格 元，废料价格元 钽材成本元 每件成品靶材铜材重，材料直收率，原料价格元 ，废料价格元