1、“..... 并将 硅棒准备 圆棒切方 硅片清洗烘干 硅片脱胶取样后，必须将晶棒的 直径慢慢缩小，直到成尖点，而与液面分开，长完的晶棒被升至上炉 室冷却段时间后取出，即完成了单晶硅棒的生长过程。径误差维持在正负之间，这段直径固定的部分 称为等径部分，单晶硅片取自于等径部分。 装炉将配好的原料装入炉内抽真空和充氩气。 拉晶加温将原料溶化，按控制程序拉制单晶。 单晶生长当硅熔体的温度稳定之后，将籽晶慢慢浸入硅熔体中， 然后将籽晶快速向上提升，使长成的籽晶的直径缩小到定的大小，产 生零位错的晶体，这样，长完细颈之后，降低温度与拉速，使得晶体的 直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度的不 断调整，可使晶棒直 样片测试测试合格，包装入库。 产品目标市场 本项目产品全部内销......”。

2、“.....选择性价比高的工艺设备。 主要设备和仪器 本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套，共计万元。 其中进口通过脱胶取下硅片。 硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。晶体的 直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度的不 断调整，可使晶棒直 单晶生长当硅熔体的温度稳定之后，将籽晶慢慢浸入硅熔体中， 然后将籽晶快速向上提升 拉晶加温将原料溶化，按控制程序拉制单晶。性清洗液等除去原料表面的杂质。 配料根据拉单晶的电阻率要求，按重量比例配置原料。部分内容简介硅头尾料埚底料按类分选。部分内容简介硅头尾料埚底料按类分选。 清洗用氢氟酸硝酸或中性清洗液等除去原料表面的杂质。 配料根据拉单晶的电阻率要求，按重量比例配置原料。 装炉将配好的原料装入炉内抽真空和充氩气。 拉晶加温将原料溶化......”。

3、“..... 单晶生长当硅熔体的温度稳定之后，将籽晶慢慢浸入硅熔体中， 然后将籽晶快速向上提升，使长成的籽晶的直径缩小到定的大小，产 生零位错的晶体，这样，长完细颈之后，降低温度与拉速，使得晶体的 直径渐渐增长到所要大小。长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度的不 断调整，可使晶棒直径误差维持在正负之间，这段直径固定的部分 称为等径部分，单晶硅片取自于等径部分。等径结束后，必须将晶棒的 直径慢慢缩小，直到成尖点，而与液面分开，长完的晶棒被升至上炉 室冷却段时间后取出，即完成了单晶硅棒的生长过程。 硅棒准备 圆棒切方 硅片清洗烘干 硅片脱胶取样 线锯切片 晶棒粘接 滚磨 准方棒腐蚀或超声清洗 成品测试入库拆炉待炉温冷却后，将炉内坩埚及余料取出。 断头尾目的是切除单晶硅棒的头部尾部及超出客户规格的部分......”。

4、“..... 测试取样测试氧碳含量及电阻率等。 圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角的圆弧滚磨光滑。 超声波清洗将方棒清洗干净。 晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。 线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切片，切 片结束后，从多线切片机卸下工作台。 硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。 硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。 样片测试测试合格，包装入库。 产品目标市场 本项目产品全部内销。 主要设备选型 主要设备仪器选择 本项目的工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研究 发展的前提下，选择性价比高的工艺设备。 主要设备和仪器 本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套，共计万元。 其中进口设备仪器台套，进口费用万元国产设备仪器 台套，费用万元......”。

5、“..... 制造厂家及型 号单价万元总价万元 开方机 切片机日本 切片机日本 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 打磨机 硅料清槽 泡料槽 气相光普分析仪 单晶炉 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机 硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计表二期进口工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 开方机 切片机 切片机 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外......”。

6、“.....探伤仪 平面厚度仪 合计 表二期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 打磨机 硅料清槽 泡料槽 气相光普分析仪 单晶炉 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机 硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计表三期进口工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 开方机 切片机 切片机 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪 合计 表三期国产工艺设备仪器表 序 号设备名称 数 量 制造厂家及型 号单价万元总价万元 打磨机 ......”。

7、“.....分期实施的原则建设，总规划用地亩， 总建筑面积平方米。其中期工程用地亩，总建筑面积 平方米，位于规划用地的东侧二期工程用地亩，总建筑面积 平方米，位于规划用地的中部三期工程用地亩，位于规划用地的 西侧，总建筑面积平方米。 项目用地内设置个出入口，其中主入口位于期用地的北面，为 主要的人流出入口，另外四个出入口分别位于三块用地的交界路上，为 主要的货物出入口。在厂房的四周设计的环形道路，供消防和物 流使用......”。

8、“.....与生产设施相对隔离。变 电站位于期用地西北角，靠近市政供电线路。废水处理站位于二期用 地西北角，靠近黄太路，离主要废水排放点试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机 硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计配套工程设计方案 总平面布置 本项目采用次规划，分期实施的原则建设，总规划用地亩， 总建筑面积平方米。其中期工程用地亩，总建筑面积 平方米，位于规划用地的东侧二期工程用地亩，总建筑面积 平方米，位于规划用地的中部三期工程用地亩，位于规划用地的 西侧，总建筑面积平方米。 项目用地内设置个出入口，其中主入口位于期用地的北面，为 主要的人流出入口，另外四个出入口分别位于三块用地的交界路上......”。

9、“.....在厂房的四周设计的环形道路，供消防和物 流使用。 综合楼等相关生活设施位于用地西南角，与生产设施相对隔离。变 电站位于期用地西北角，靠近市政供电线路。废水处理站位于二期用 地西北角，靠近黄太路，离主要废水排放点洗料厂房和切片厂房较 近，便于废水就近排放和综合治理。各期分设动力中心动力站及水池， 并靠近各期的负荷中心，节约能源。综合仓库位于二期用地东侧，靠近 主要物流出入口，且与生产车间较近，有利于物料传输。 土建 主要建筑物 洗晶车间栋 洗晶车间为单层钢筋混凝土框架结构建筑，层高米。长， 宽。 单晶厂房栋 单晶厂房均为二层钢筋砼框架结构，钢筋混凝土屋顶，层层高米，二层米建筑火灾危险类别为丁类层主要为单晶炉下半部分 以及变压器泵等，建筑面积为主生产区层 为单晶炉炉体放置区，二楼为单晶炉上半部分操作区。除生产区外，还 布置有生产管理更衣......”。