【65页】年生产万万片高效单晶硅片项目投资立项申报书.doc文档极速下载

线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切片， 切片结束后，从多线切片机卸下工作台。

晶棒粘接将准方形的 拆炉待炉温冷却后，将炉内坩埚及余料取出。

断头尾目的是切除单晶硅棒的头部尾部及超出客户规格的部 分，并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度。

测试取样测试氧碳含量及电阻率等。

圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角的圆弧滚磨光 滑。

超声波清洗将方棒清洗干净。

及型号单价万元总价万元 打磨机 硅料清槽 泡料槽 气相光普分析仪 单晶炉 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机 硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计 配套工程设计方案 总平面布置本项目亩规划用地采用次规划，分期实施的原则建设。

本 次期工程用地亩，位于规划用地的东侧，总建筑面积平 方米。

在期工程用地内设置个出入口，分别位于用地的东侧淮南北 路和西侧规划道路上， 切片机 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪合计 表单晶硅片国产工艺设备仪器表 序号设备名称数量制造厂家把四角的圆弧滚磨光 滑。

超声波清洗将方棒清洗干净。

测试取样测试氧碳含量及电阻率等。

断头尾目的是切除单晶硅棒的头部尾部及超出客户规格的部 分，并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度。

拆炉待炉温冷却后，将炉内坩埚及余料取出。

，必 须将晶棒的直径慢慢缩小，直到成尖点，而与液面分开，长完的晶 棒被升至上炉室冷却段时间后取出，即完成了单晶硅棒的生长过程。

部分内容简介 定的部分称为等径部分，单晶硅片取自于等径部分。

部分内容简介 定的部分称为等径部分，单晶硅片取自于等径部分。

等径结束后，必 须将晶棒的直径慢慢缩小，直到成尖点，而与液面分开，长完的晶 棒被升至上炉室冷却段时间后取出，即完成了单晶硅棒的生长过程。

拆炉待炉温冷却后，将炉内坩埚及余料取出。

断头尾目的是切除单晶硅棒的头部尾部及超出客户规格的部 分，并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度。

测试取样测试氧碳含量及电阻率等。

圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角的圆弧滚磨光 滑。

超声波清洗将方棒清洗干净。

晶棒粘接将准方形的单晶硅棒粘接在专用工作台上。

线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切片， 切片结束后，从多线切片机卸下工作台。

硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。

硅片清洗甩干清洗硅片并进行甩干。

样片测试测试合格，包装入库。

产品目标市场 本项目产品全部内销。

主要设备选型 主要设备仪器选择 本项目的工艺设备选型原则在保证产品质量和生产能力以及研 究发展的前提下，选择性价比高的工艺设备。

主要设备和仪器 本项目共需购置工艺及辅助设备仪器台套，共计万元 元。

其中进口设备仪器台套，进口费用万元国产设备仪 器台套，费用万元。

详细设备清单如下 表单晶硅片进口工艺设备仪器表 序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元 开方机 切片机 切片机 全自动硅片分选机 非接触电阻率测试仪 傅立叶红外光普仪 红外探伤仪 平面厚度仪合计 表单晶硅片国产工艺设备仪器表 序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元 打磨机 硅料清槽 泡料槽 气相光普分析仪 单晶炉 单晶带锯截断机 电阻率测试仪 型号测试仪 单晶少子寿命仪 晶相显微镜 倒角机 单晶辊磨机 废线切割机 砂浆搅拌桶 超声波清洗机 硅块脱胶槽 平板电炉 全自动脱胶机 全自动硅片清洗机 全自动插片机 型号测试仪 平面厚度仪 合计 配套工程设计方案 总平面布置本项目亩规划用地采用次规划，分期实施的原则建设。

本 次期工程用地亩，位于规划用地的东侧，总建筑面积平 方米。

在期工程用地内设置个出入口，分别位于用地的东侧淮南北 路和西侧规划道路上，东侧入口为人员入口，西侧入口为货物入口， 与二期用地衔接。

在厂房的四周设计的环形道路，供消防和物 流使用。

变电站及动力设施位于期用地西北角，与市政供电线路和厂区 负荷中心较近三个单晶厂房位于用地东北角，与洗料厂房相临，有 利于物料传输切片厂房及仓库位于用地西南角，使用物料运输综 合楼等相关生活设施位于用地西南角，与生产设施相对隔离废水处 理区位于期用地西北侧的二期用地内，离主要废水排放点洗料厂 房和切片厂房较近，便于废水就近排放和综合治理。

土建 建筑 洗晶车间栋 洗晶车间为单层钢筋混凝土框架结构建筑，层高米。

长， 宽。

单晶厂房栋 单晶厂房均为二层钢筋砼框架结构，钢筋混凝土屋顶，层层高 米，二层米建筑火灾危险类别为丁类层主要为单晶炉下半 部分以及变压器泵等，建筑面积为主生 产区层为单晶炉炉体放置区，二楼为单晶炉上半部分操作区。

除生 产区外，还布置有生产管理更衣，以及生产配套的空调机房车间变配电等。

另外，车间还考虑有般物品库，包括暂存间物料入口 等，以利于物料的传输暂存。

切片厂房及仓库栋 切片厂房及仓库为单层钢结构厂房，层高米建筑火灾危险类 别为戊类，建筑面积为主生产区放置开方 切片清洗等生产设备。

除生产区外，还布置有生产管理更衣，以 及生产配套的空调机房车间变配电等。

另外，车间还考虑有般物 品库，包括暂存间物料入口等，以利于物料的传输暂存。

动力厂房 动力厂房为单层钢筋砼框架结构，钢筋混凝土屋顶，层高米 建筑火灾危险类别为戊类主要包括变电站冷冻机空压机等纯 水站控制室和值班室等，建筑面积为。

办公综合楼 办公综合楼为六层，总建筑面积。

其它 其它辅助建筑如氩气罐高压变电站甲类库化学品库废 水处理设施等。

建筑服务系统 空调及采暖系统 单晶厂房生产区硅料处理车间切片厂房综合楼各建筑的 辅助办公室等区域设置空调，温湿度要求为，系统采用新 风机组诱导风机使气流均匀。

通风排烟系统 单晶厂房部分辅助房间硅料处理车间等设置全室通风，通风方式为机械进风变配电站泵房空压冷冻站设置全室通风，根据 房间不同的风量设置相应的通风机各建筑的辅助办公室等设置卫生 通风，满足卫生要求卫生间设全室通风，各主要生产区设置局部通 风系统。

冷冻水系统 在动力厂房内设置低温水冷离心式冷冻机组，使用 冷媒为空调系统冷却水系统等设施提供冷源。

蒸汽及空调热水系统 本项目蒸汽主要为空调系统纯水系统等提供热源。

自来水系统 生活用水人升人天 生产用自来水 纯水站补水 冷却水补水 洗涤塔补水采用纯水站浓缩水，不消耗自来水 消耗量 最大使用量约 新鲜水年消耗量约万 水源与水池 本项目水源来自开发区市政缩后进入储气罐，再经预过滤 器无热再生干燥器干燥后进入终端过滤器，干燥净化后的压缩空气 经主配管送至生产厂房分配系统。

空压站设置在动力厂房内。

氩气系统 单晶炉使用氩气作保护气，最大量，平时用量。

氩气贮罐设在生产厂房动力区附近的室外空地。

液氩低温槽车到接卸区后，接通贮罐与槽车的汽液相管，利用槽 车的自身压力将低温液氩卸至贮罐。

液氩为低温贮存，液氩低温贮罐 为真空绝热容器。

使用时，利用贮罐的压力将液氩送入气化器自然气 化，再经减压阀组减压至后，通过氩气总管输送至主机房。

然 后分别通过各支管，经二级减压至后，接至各单晶炉。

纯水系统 生产中多晶硅料的清洗硅片的清洗，生产工具器具石英制 品清洗等使用纯水。

纯水用量为。

纯水系统分成前处理和后处理两部分，均设置在动力厂房内。

前处理部分首先由纯水原水泵从生产消防合用贮水池取水，加 压送至纯水站，经机械过滤活性碳过滤等预处理后，由热交换器换 热至，再经过过滤器过滤，进入二级装置，制成 纯水，进入初级纯水箱。

水同时作为工艺冷却水和机械冷冻水的补 充水，浓缩水作为洗涤塔用水。

后处理部分由纯水加压泵从初级纯水箱取水，经杀菌脱气离 子交换进入终端纯水箱，最终由纯水输送泵经杀菌热交换器混床 超滤送至用户，循环回水再回至终端纯水箱。

工艺排风系统 根据生产性质，工艺设备排风分为酸碱性废气排风和般排风， 项目工艺设备排风预计为，包括 酸碱性废气排风 般排风 酸碱性废气排风设置酸性废气洗涤塔，并设排气筒高空排放。

单晶炉等使用电能作热源的设备需要排出热废气。

酸碱性废气主要是多晶硅料和单晶硅在各类酸和碱中进行化学清 洗工艺中产生，以酸性气体为主要成分，主要污染物有 等。

电气 供电 项目用电装设功率，实际消耗功率，实际用电 量估计万度年。

本项目用电从开发区变电站引来，在动力中心内建设总 降压变电站座，内设高压配电设备主变压器， 将供电电压由降为，为终端变配电所供电，变电所 内设配电装置分配电变压器及低压配电装 置。

消防用电和部分生产用电为级负荷，其它为二级负荷。

级负 荷需用双回路供电，其中回路故障时，另回路能带大部分或全部负荷，使生产不致中断。

同时，为了保证单晶炉应急冷却水系统的供电， 该系统双电源供电的情况下，另设备用发电机。

接地 设置防雷接地保护接地防静电接地安全接地采用