【69页】高纯三氯氧磷工程投资立项申请报告.doc文档全套完整下载

电子级三氯氧磷产品是超大规模集成电路制作过程中的关键性 基础化工材料之，主要用于芯片的型掺杂，它的纯度和洁净度对集成 均需三氯氧磷千克月的用量计算，年需相当 于Ⅳ级大约在吨年的规模，并呈每年以上增长 第二章市场需求预测和拟建规模 项目产品市场调查与竞争能力预测 项目产品市场调查 项目产品可广泛应用于半导体光电子产业太阳能电池高纯化合 物半导体等工业。

产品生产技术处于国内先进地位。

目前，中小规模 上技术分立器阜生产厂家及晶体硅太阳能电池光纤制造厂家对于 级三氯氧磷的需求总量将达到吨年以上大规模集成电路英 寸晶圆，技书术及超大规模集成电路和英 寸晶圆和英 寸晶圆，技书术及超大规模集成电路和英 寸晶圆和技术极大规 模集成电路英寸晶圆，技术生产线及厂家按月生产 万片硅片生产线平目前，中小规模 上技术分立器阜生产等工业。

产品生产技术处于国内先进地位。

第二章市场需求预测和拟建规模 项目产品市场调查与竞争能力因此该项目的建设是 有意义的，项目是可行的。

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因此该项目的建设是 有意义的，项目是可行的。

第二章市场需求预测和拟建规模 项目产品市场调查与竞争能力预测 项目产品市场调查 项目产品可广泛应用于半导体光电子产业太阳能电池高纯化合 物半导体等工业。

产品生产技术处于国内先进地位。

目前，中小规模 上技术分立器阜生产厂家及晶体硅太阳能电池光纤制造厂家对于 级三氯氧磷的需求总量将达到吨年以上大规模集成电路英 寸晶圆，技书术及超大规模集成电路和英 寸晶圆和技术极大规 模集成电路英寸晶圆，技术生产线及厂家按月生产 万片硅片生产线平均需三氯氧磷千克月的用量计算，年需相当 于Ⅳ级大约在吨年的规模，并呈每年以上增长的态势三 氯氧磷国内外需求量国内吨年，国际吨年。

电子级三氯氧磷产品是超大规模集成电路制作过程中的关键性 基础化工材料之，主要用于芯片的型掺杂，它的纯度和洁净度对集成 电路的成品率电性能及可靠性都有着十分重要的影响。

目前国际上从事 工艺化学品研发及生产的主要有德国的及公司占 全球市场份额的美国的公司占全球市场份额的， 公司占全球市场份额的，公司占全球市场 份额的日本的占全球市场份额的，占全 球市场份额的。

另外还有日本的关东株式会社住友合成德川三 菱，我国台湾地区的长春中华长新化学，韩国的等公司。

在技术方面，美国德国 日本韩国及我国的台湾地区目前已经在规模生产技术用的 工艺化学品，技术用工艺化学品也已经完成了实验室工艺 研究并开始规模生产。

项目所需主要原材料为工业黄磷。

目前有黄磷生产企业家，黄磷生 产能力为万吨，实际产量已超过万吨位于全国第二位，黄磷供 应量足够满足公司生产所需并具有地域上的优势。

竞争能力预测 公司已掌握了生产电子级三氯氧磷产品的核心技术，投入生产可以替 代进口，填补国内生产电子级三氯氧磷产品的空白。

提升我国在该领域的 技术水平，打破国内外产品的垄断。

目前，国内尚无大规模的同类产品生产企业，所以生产产品竞争优势 明显。

第三章产品方案及生产规模 产品方案 产品吨年高纯三氯氧磷 生产规模 高纯三氯氧磷生产规模为吨年 年生产天数天 项目的技术可行性和成熟性分析 项目产品检测情况 电子级三氯氧磷经过了国家微分中心检测，其产品的纯度已达到或超 过国际半导体设备与材料协会所制定的产品质量标准达到日本 公司和德国公司同类产品的水平。

电子级三氯氧磷经科技部西南信息中心进步确认，结论为国内来 见生产电子级三氯氧磷单项杂质不大子的文献报道，也未见采用本 工艺生产三氧氧磷的报道，故本项目具有新颖性。

工艺特点及与现有工艺比较所具有的优势 电子级三氯氧磷创新点论述 本项目创新点在于从原材料黄磷或红磷开始严格控制各道工 序的提纯及防止杂质元素的进入，能有效的保证产品的质量，产品质量达 到国际标准。

国内外工艺流程的对比 德国默克流程图 产品可达级。

国内生产企业 由于工艺技术设备材料的限制，产品顼级为级。

县化工有限公司工艺流程 产品可以达到级 黄磷 高纯 合成蒸馏 馏 合成精馏精馏 精馏精馏在千级超净环境下 在百级超净环境 下 工业级精馏 在通风厨里包装，包 装瓶用焰或乙炔 封口 精馏 工业级精馏净化包装升华回收 对行业技术进步的重要意义和作用 掌握核心技术，打破国外产品对我国的市场垄断 公司经过多年的研究开发已掌握了高纯黄磷电子级红磷电子级 三氯氧磷的核心技术。

目前，在我国微电子行业使用的电子级红磷和三氯氧 磷，几乎全部是美国日本德国等国家的产品。

项目成受性和可靠性论述 项目的成熟性和可靠性见附件用户使用报告和权威机构分析报告 技术方案 技术特点 电子级三氧氧化磷技术特点 本技术的创新点在于从基础原材料高纯磷开始严格控制各道工序 的提纯以及防止杂质元素的二次污染，能有效的保证产品质量的稳定性，保 证产品质量达到国际标准。

产品纯度高，稳定性好达到国际标准其单项杂质最高含量为 。

原材料可以是黄磷，也可以是红磷。

但其纯度必须为 三氯氧磷的精馏在石英塔板精馏器中进行，其设备便于保持蒸馏过程 的干净及使用后便于清洗。

④原材料利用率高过程无环境污染过程副产品稀盐酸和磷酸采用氢 氧化钠和生石灰中和处理。

产品包装要求条件高，必须在超净环境下进行。

第四章工艺技术方案 工艺技术路线 电子级三氯氧磷工艺技术路线腐蚀品 理 化 性 质 性状白色不透明固体，易潮解 熔点溶解性易溶于水乙醇甘油 沸点相对密度水 饱和蒸气压相对密度空气无资料 燃 爆 特 性 与 消 防 燃爆危险本品不燃，具强腐蚀性强刺激性， 可致人体灼伤 有害燃烧产物可能产生有害的毒性烟雾 禁配物强酸水二氧化碳过氧化物易燃或可燃物。

危险特性与酸发生中和反应并放热。

遇潮时对铝锌和锡有腐蚀性，并放出易燃易爆的 氢气。

本品不会燃烧，遇水和水蒸气大量放热，形成腐蚀性溶液。

具有强腐蚀性。

灭火方法消防人员必须穿全身耐酸碱消防服。

用水砂土扑救，但须防止物品遇水产生 飞溅，造成灼伤。

毒 性家兔经眼家兔经眼重度刺激。

家兔经皮小时，重度刺激。

健 康 危 害 本品有强烈刺激和腐蚀性。

粉尘刺激眼和呼吸道，腐蚀鼻中隔皮肤和眼直接接触可引起 灼伤误服可造成消化道灼伤，粘膜糜烂出血和休克。

急 救 措 施 皮肤接触立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少分钟。

就医。

眼睛接触立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少分钟。

就医。

吸入迅速脱离现场至空气新鲜处。

保持呼吸道通畅。

如呼吸困难，给输氧。

如呼吸停止， 立即进行人工呼吸。

就医。

食入用水漱口，给饮牛奶或蛋清。

就医。

防 护 措 施 车间卫生标准中国工程控制密闭操作。

提供安全淋浴和洗眼设备。

呼吸系统防护可能接触其粉尘时，必须佩戴头罩型电动送风过滤式防尘呼吸器。

必要时， 佩戴空气呼吸器。

眼睛防护呼吸系统防护中已作防护。

身体防护穿橡胶耐酸碱服。

手 防护戴橡胶耐酸碱手套。

其它防护工作现场禁止吸烟进食和饮水。

工作完毕，淋浴 更衣。

保持良好的卫生习惯。

泄 漏 处 理 迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，隔离泄漏污染区，限制出入。

建议应急处理人员戴防 尘面具全面罩，穿防酸碱工作服。

不要直接接触泄漏物。

小量泄漏避免扬尘，用洁 净的铲子收集于干燥洁净有盖的容器中。

也可以用大量水冲洗，洗水稀释后放入废水 系统。

大量泄漏收集回收或运至废物处理场所处置。

操 作 与 储 存 操作注意事项 密闭操作。

操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。

建议操作人员佩戴头罩型电 动送风过滤式防尘呼吸器，穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。

远离易燃可燃物。

避 免产生粉尘。

避免与酸类接触。

搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。

配备泄漏应急 处理设备。

倒空的容器可能残留有害物。

稀释或制备溶液时，应把碱加入到水中，避免沸 腾和飞溅。

储存注意事项储存于阴凉干燥通风良好的库房。

远离火种热源。

库内湿度最好不 大于。

包装必须密封，切勿受潮。

应与易可燃物酸类等分开存放，切忌混储。

储区应备有合适的材料收容泄漏物。

表石灰的危险有害性分析 标 识 中文名石灰氧化钙英文名 分子式危规号编号 分子量危险性类别第类碱性 腐蚀品 号 理 化 性 质 性状白色无定形粉末，含有杂质时呈灰色或淡黄色，具有吸湿性。

熔点溶解性不溶于醇溶于酸甘油。

沸点相对密度水 饱和蒸汽压相对密度空气 临界温度燃烧热无意义 临界压力最小点火能无意义 燃 爆 特 性 与 消 防 燃烧性不燃燃烧分解产物氧化钙 闪点无意义聚合危害不聚合 爆炸极限体积分数无意义稳定性稳定 引燃温度无意义禁忌物水酸类易燃或可燃物。

危险特性与酸类物质能发生剧烈反应。

具有较强的腐蚀性。

灭火方法灭火剂干粉二氧化碳干砂。

毒 性