1、“.....这也导部分技术用超净高纯试剂 相当于国际标准水平的工艺制备技术及分析测试技术有所突破，但由 于受相关配套条件的制约，产业化技术还有待进步的完善。技术用超净高纯试剂相当于国际标准水平的产业化技术基本规模生产技术用的 超净高纯试剂，其中的过氧化氢硫酸异丙醇等主要品种般在吨 年的规模，技术用超净高纯试剂也已完成前期的工艺研究并形成 规模生产，以下技术用工艺化学品也已完成技术研究，具备相应的生产能力。 国内超净高纯试剂的研发水平及生产技术水平与国际上的先进技术水平相比 尚有定的差距，目前技术用级试剂的生产技术已经成熟，并已转化 为规模生产。技术用超净高纯试剂相当于国际标准水平的产业化技术基本成熟，初步形成生产规模。平与国际上的先进技术水平相比 尚有定的差距，目前技术用级试剂的生产技术已经成熟......”。

2、“.....术用工艺化学品也已完成技术研究，具备相应的生产能力。台湾地区目前已经在大规模生产技术用的 超净高纯试剂，其中的过氧化氢硫酸异丙醇等主要品种般在吨 年的规模，技术用超净高纯试剂也已完成前期的工艺研究并形成 规模生产，以下技等公司。外还有日本住友合成德川三菱，我国台湾地区主要有台湾长春中 华友发长新化学台硝股份及恒谊等，韩国主要有东友 东进部分内容简介部分内容简介市场份额市场份额， 另外还有日本住友合成德川三菱，我国台湾地区主要有台湾长春中 华友发长新化学台硝股份及恒谊等，韩国主要有东友 东进等公司。在技术方面，美国 德国日本韩国及我国台湾地区目前已经在大规模生产技术用的 超净高纯试剂，其中的过氧化氢硫酸异丙醇等主要品种般在吨 年的规模，技术用超净高纯试剂也已完成前期的工艺研究并形成 规模生产，以下技术用工艺化学品也已完成技术研究......”。

3、“..... 国内超净高纯试剂的研发水平及生产技术水平与国际上的先进技术水平相比 尚有定的差距，目前技术用级试剂的生产技术已经成熟，并已转化 为规模生产。技术用超净高纯试剂相当于国际标准水平的产业化技术基本成熟，初步形成生产规模。技术用超净高纯试剂 相当于国际标准水平的工艺制备技术及分析测试技术有所突破，但由 于受相关配套条件的制约，产业化技术还有待进步的完善。部分产品的产业化 技术也将能够形成规模化生产，相关分析测试方法的研究也有了较大的突破，但 总体上仍然受支撑条件落后配套设施基础差等客观因素的制约，关键的仪器设 备包括容器等必须依赖进口，超净高纯试剂工艺先进技术如气体吸收离子交换 膜处理技术等的应用要达到国外的先进水平也有定的差距，这也导致真正要实 现超净高纯试剂的工业化规模生产存在较大的差距。 我国半导体市场规模在不断扩大，年我国市场已达亿元......”。

4、“.....平均增长率。目前国内英寸英寸毫米 生产线条，英寸线条，占国内条生产线总数的，产能已占全国的， 英寸以上高端生产线已开始成为国内芯片制造业主体。按十二五计划新建 的生产线对于超净高纯试剂耗用量将有较大幅度增长。此外，随着国内平板显示 器大发展，上广电产能将达到月，京东方产能将达到 月，二厂三厂建成后将达万枚月。工艺与是类似的，需求的超净 高纯试剂也要几万吨。 在市场供应方面，目前级超净高纯试剂已经全部实现国产化， 在更高档次的超净高纯试剂供应方面，目前绝大部分需要从其他国家或地区进口， 标准水平及以上档次的产品则全部依赖进口。进口产品的主要来源有日 本韩国美国等国家及我国的台湾地区。 表我国目前电子化学品进口量和国产产品市场占有率产品国产量进口量国产产品市场占有率 超净高纯试剂吨吨 我国超净高纯试剂的研制起步于世纪年代中期......”。

5、“.....随着集成电路集成度的不断提高，对超净高纯试剂中的可溶性杂质和固体颗 粒的控制越来越严，同时对生产环境包装方式及包装材质等提出了更高的要求。 为了满足我国集成电路发展的需求，国家自六五开始至八五，将超净高纯 试剂的研究开发列入了重点科技攻关计划，并由北京化学试剂研究所承担攻关任 务。到目前为止，北京化学试剂研究所已相继推出了Ⅰ级Ⅱ级和Ⅲ级 超净高纯试剂，其中Ⅲ级超净高纯试剂达到国际标准的水平，适用于 工艺技术的加工制作，并在九五末期形成了年的中 试规模。目前北京化学试剂研究所正在进行用于工艺技术的Ⅳ级 超净高纯试剂的研究开发。 十五期间，国家科技部将用超净高纯试剂研究课题列入了 超大规模集成电路配套材料重大专项计划之中，由北京化学试剂研究所 上海华谊集团公司等单位承担......”。

6、“.....此项目现已完成，关键品种的制备工 艺已趋完善，配套支撑条件基本上可以满足研发的要求，颗粒金属杂质阴离 子及等分析测试方法的研究也取得了系列成果，为十二五的产业化技 术及更加深入的研究奠定了良好的技术基础。 上海华谊集团公司为推进课题研究开发工作，加快研究及产业化进程，于年月组建了由华谊集团公司中远化工有限公司三爱富新材 料股份有限公司和上海化学试剂研究所等多元投资的上海华谊微电子化学品有限 公司，成为执行计划的实体主体，拥有平方米实验室平方 米净化室和配置相应的试验设备等。通过课题的研究开发，不仅提升了 在超净高纯试剂方面的技术水平，也培养了大批专业技术人才。 年由上海华谊集团公司上海中远化工有限公司和台湾联仕共同出 资组建成立合资公司上海华谊微电子材料有限公司，建成吨年规模的 超净高纯试剂生产线，现已正式投产，投资亿万人民币......”。

7、“.....主要有双氧水硫酸氨水盐酸硝酸醋酸 氟化铵，产品质量达到当前市场线宽半导体制造业要求以及 半导体生产线质量标准的要求。 上海华谊微电子材料有限公司建筑面积近平方米，建有世界流水平 的生产线和净化包装线。实验室部分有洁净房平方米，最高洁净要求可以达 到级。拥有价值近万元的大型精密测试仪器和技术装备，如测试限达到 的电感耦合等离子光谱质谱仪测试限 的原子吸收光谱仪紫外可见分光光谱仪极谱仪总碳分析仪 的离子色谱仪气相色谱仪高效液相色谱仪 激光散射颗粒测定仪空气净化颗粒测试仪微波消化器等。上海华谊微 电子材料有限公司已于年年中建成投产。产品已开始进入主要集成电路厂家 工艺技术的加工制作，并在九五末期形成了年的中 试规模。目前北京化学试剂研究所正在进行用于工艺技术的Ⅳ级 超净高纯试剂的研究开发。 十五期间......”。

8、“.....由北京化学试剂研究所 上海华谊集团公司等单位承担，其研究的主要目的是完成技 术用超净高纯试剂的研究与开发工作，此项目现已完成，关键品种的制备工 艺已趋完善，配套支撑条件基本上可以满足研发的要求，颗粒金属杂质阴离 子及等分析测试方法的研究也取得了系列成果，为十二五的产业化技 术及更加深入的研究奠定了良好的技术基础。 上海华谊集团公司为推进课题研究开发工作，加快研究及产业化进程，于年月组建了由华谊集团公司中远化工有限公司三爱富新材 料股份有限公司和上海化学试剂研究所等多元投资的上海华谊微电子化学品有限 公司，成为执行计划的实体主体，拥有平方米实验室平方 米净化室和配置相应的试验设备等。通过课题的研究开发，不仅提升了 在超净高纯试剂方面的技术水平，也培养了大批专业技术人才......”。

9、“.....建成吨年规模的 超净高纯试剂生产线，现已正式投产，投资亿万人民币，生产各类微电子化 学品，主要有双氧水硫酸氨水盐酸硝酸醋酸 氟化铵，产品质量达到当前市场线宽半导体制造业要求以及 半导体生产线质量标准的要求。 上海华谊微电子材料有限公司建筑面积近平方米，建有世界流水平 的生产线和净化包装线。实验室部分有洁净房平方米，最高洁净要求可以达 到级。拥有价值近万元的大型精密测试仪器和技术装备，如测试限达到 的电感耦合等离子光谱质谱仪测试限 的原子吸收光谱仪紫外可见分光光谱仪极谱仪总碳分析仪 的离子色谱仪气相色谱仪高效液相色谱仪 激光散射颗粒测定仪空气净化颗粒测试仪微波消化器等。上海华谊微 电子材料有限公司已于年年中建成投产。产品已开始进入主要集成电路厂家 试用，如中芯国际台积电，并出口东南亚......”。