【13页】外文翻译--测控技术与仪器

当流量由增加到，硬度几乎维持为，再增加流量会导致硬度急速提高。

在。

，硬度仍然在增加，超出后，薄膜开始变软，并且在会降至。

显然，这表明硬度是由薄膜的结构确定而非特性确定其硬度，这与的报告结果不致。

后，薄膜开始变软，并且在会降至。

在。

，硬度仍然在增加，超出部分内容简介硬度通过卸载数据所构成能量方程来表现。

薄膜的机械性能作为流量方程显示在图，其值平均至少出现了次，微硬度和是依赖于氧气流量。

当流量由增加到，硬度几乎维持为，再增加流量会导致硬度急速提高。

在。

，硬度仍然在增加，超出后，薄膜开始变软，并且在会降至。

显然，硬度的改变非常接近在式样中观察的。

这表明硬度是由薄膜的结构确定而非特性确定其硬度，这与的报告结果不致。

中北大学届本科毕业设计说明书第页共页结论通过过滤阴极真空电弧镀膜技术制备薄膜，研究了在不同氧气流量时，薄膜的结构组成形态光学性能和机械性能，最终的流量达到了。

经研究发现的流量是薄膜结构组成特性的重要参数。

随着流量的增加，薄膜的结构由无定型到不同氧化率的单晶体再到无定型随着原子比的增加，原子由低氧化率到。

这种与氧气流量有关的结构趋势会导致薄膜组成的改变并且决定表面形态和薄膜的机械性能。

中北大学届本科毕业设计说明书第页共页•◦，◦，◦◦，，∼中北大学届本科毕业设计说明书第页共页，中北大学届本科毕业设计说明书第页共页中北大学届本科毕业设计说明书第页共页过滤阴极真空电弧镀膜技术所制得氧化铝薄膜的结构和特性摘要通过过滤阴极真空电弧镀膜技术制备氧化铝薄膜时，其内部结构组成形态光学和机械性能被详尽的描述，这些都与制备时氧气的流量有关。

薄膜结构组成形态和性能都是很重要的，随着氧气流量的增加，薄膜的结构也由非晶体经过系列变化到单晶体，随着原子比率的增加和离子由低氧化作用的状态转化为再次形成非晶体。

形成这样的结构是由于其内部结构的变化而引起的，并且影响其形态和机械性能，以致这种非晶体薄膜表面有些小簇，其光滑程度就像低硬度的多晶体薄膜。

当反射指数和系数相对接近最大值时，在发射率和光学带宽随着比增加时，薄膜的组成来决其光学性能而非其密度。

说明在大气压力下由于三种不同温度有多种不同靶形态结构，单晶体时低于，四面体时为，为立方体，知道时形成金属。

有很高的反射指数，大光学带宽间距，和很低的光损失及在范围内高透明度，所以被广泛的应用于光学领域。

此外，具有很高的电介质，低泄露量等特点，最有可能代替做电解质的晶体管。

进而，由于很低的传热性，它成为了装置中隔热层的首选。

其他的特性如高硬度高抗氧性也使其成为机械材料中的热门。

至今为止，已经有很多制备的方法，例如反应磁控溅射，离子辅助反应溅射，化学气相沉积等。

薄膜特性的优劣取决于制备过程及其参数。

过滤阴极真空电子弧镀膜技术，在低电压和高电流状态下工作。

通过磁性机械过滤器来防止微粒从阴极发射。

它提供了种具有很高能量的沉积离子源，远大于相应的热蒸发和磁控溅射。

能有效去处宏观无用微粒，很明显能提高薄膜质量并拓展其应用。

固有的高能量提高薄膜的附着性和密度。

由于能力是离子辅助沉积中最重要的参数，这种制备的方法已经有了些应用，已经应用于在高热平衡和高状态下碳薄膜的制备，还合成了些金属氧化物的薄膜。

然而对我们最有利的是，很少有关过滤阴极真空电子弧镀膜技术制备薄膜的知识。

我们现在的工作是系统研究在不同流量与薄膜的结构组成表面形态和性质之间的关系。

我们的结论表明薄膜的结构组成特性都与流量有关系。

过滤阴极真空电子弧镀膜技术所制的薄膜特性与其他方法相比，更说明了该方法的优中北大学届本科毕业设计说明书第页共页越性。

实验图为制备设备。

该图已经详细反应了这个系统，各个部分都表现了出来。