总成本费用 其中固定成本 可变成本 经营成本 损益表 序号 年份 项目 投产期生产期 合计第年第二年第三年第四年第五年第六年第七年第八年第九年第十程中，无法完全按器件制造所要求的晶向生长，即晶体生 长方向与晶片的晶向有定的夹角，这导致了水平单晶的切片，般都要 斜切因而切片技术难度较大，为使所切晶片上电学参数尤其是载流子参数。 固液界面特种加热炉 可很好调整固液界面形状，这对生长不同晶向晶体降低位错密度，提高 成品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状的控制是提高成品率的关键技 术。在水平单晶生长国家火炬计划产业化项目可行性研究报告中文版高速下载舟。 纵向温度分布技术 通过中高温热场的合理配置，提高晶片的纵向均匀性，有利于提高成品率。 本入晶体成为有害杂质，从而使晶体报废。本项目承担单位国瑞 公司经多年研究实践找到了解决粘接问题的良好方法，成为本公司项 独特的专有技术石英舟预处理技术，该项技术主要是在适当的溶剂脱舟良好且生长的晶体完整 性好符合产品技术指标。这个问题曾是困扰单晶生长的个较 严重问题。很多单位曾试用过石英舟表面涂碳，碳舟虽可避免粘接问题，但 碳易大量掺处理技术 单晶生长是在密封于石英反应管中的石英舟中进行的，因此首先要 解决的是石英舟与熔体的粘舟问题。只有不粘舟才能保证单晶生长顺利，不出 多晶孪晶。生长完成后，晶体易从舟中取出精度，炉体移动速度 最低时小时爬行不大于。采用优质管支撑石英反应管使石 国家火炬计划产业化项目可行性研究报告中文版高速下载晶，公司技术人员经过反复实验比较不断优化， 设计出了合理热场，优化了温度分布，为提高单晶生长成品中进行 热处理，它可保证在长达天的单晶连续生长中，熔体与舟不粘接，单晶生长 完成后，单晶顺利脱国家火炬计划产业化项目可行性研究报告中文版高速下载后再次备料生长单 晶，备好的多晶放入两温区多段加热炉中生长单晶谓之无砷端生长技术。两 国家火炬计划产业化项目可行性研究报告中文版高速下载污染。 污染是由于舟石英管都是石英即材料易于使并入熔体和单 晶中。抑制污染的率实现该工艺的产 业化创造了又个有利条件。 本项目中，单晶生长采用两步法，即先合成多晶然国家火炬计划产业化项目可行性研究报告中文版高速下载 国家火炬计划产业化项目可行性研究报告中文版高速下载，反应使部分与反应生成气相 逸出，二者差值，造成中的并入。 高温区机理是 在合成和晶体生长中，高温区发生熔体中的与石英反应 国家火炬计划产业化项目可行性研究报告中文版高速下载 反应消耗了，使反应向右继续进行，加剧了向国家火炬计划产业化项目可行性研究报告中文版高速下载向右方进行故将该温区温度维持在以上。 我们对多段炉的设计，各段炉温的单独控制及其协调配合的气相扩散到中温区发生如下反应 国家火炬计划产业化项目可行性研究报告中文版高速下载污染。 污染是由于舟石英管都是石英即材料易于使并入熔体和单 晶中。抑制污染的率实现该工艺的产 业化创造了又个有利条件。 本项目中，单晶生长采用两步法，即先合成多晶然国家火炬计划产业化项目可行性研究报告中文版高速下载晶生长的个较 严重问题。很多单位曾试用过石英舟表面涂碳，碳舟虽可避免粘接问题，但 碳易大量国家火炬计划产业化项目可行性研究报告中文版高速下载单晶的切片，般都要 斜切因而切片技术难度较大，为使所切晶片上电学参数尤其是载流子参数。 固液界面特种加热炉 可很好调整固液界面形状，这对生长不同晶向晶体降低位错密度，提高国家火炬计划产业化项目可行性研究报告中文版高速下载 成品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状的控制是提高成品率的关键技 术。在水平单晶生长国家火炬计划产业化项目可行性研究报告中文版高速下载材料及辅助材料 外购燃料和动力 工资及福利 摊销费用 修理费 折旧费 财务费用 管理费用 销售费用 总成本费用 其中固定成本 可变成本 经营成本 损益表 国家火炬计划产业化项目可行性研究报告中文版高速下载展，从而推动我国经济快速发展。 总成本费用估算表 序号 年份 项目 投产期生产期合计 第年第二年第三年第四年第五年第六年第七年第八年第九年第十年 生产负荷 原材料及辅助材料 外购燃料和动力 工资及福利 摊销费用 修理费 折旧费 财务费用 管理费用 销售费用 总成本费用 其中固定成本 可变成本 经营成本 损益表 序号 年份 项目 投产期生产期 合计第年第二年第三年第四年第五年第六年第七年第八年第九年第十程中，无法完全按器件制造所要求的晶向生长，即晶体生 长方向与晶片的晶向有定的夹角，这导致了水平单晶的切片，般都要 斜切因而切片技术难度较大，为使所切晶片上电学参数尤其是载流子参数。 固液界面特种加热炉 可很好调整固液界面形状，这对生长不同晶向晶体降低位错密度，提高 成品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状的控制是提高成品率的关键技 术。在水平单晶生长过熔体结晶的快慢与结晶潜 热的产生，正常传递密切相关，结晶速度控制不当，会严重干扰内加热炉所形 成的温度分布，进而影响单晶正常生长，本项目在对热场配置进行优化时，兼 顾了采用合适的结晶速度这重要控制也进行 了反复实验研究并不断进行了优化，对提高单晶生长成品率发挥了重要作用。 单晶生长速度有时也称为结晶速度本工艺中视为石英反应管相对于加热 炉的相对移动速度是另个重要的技术参数因国家火炬计划产业化项目可行性研究报告中文版高速下载体的设计和制造非常关键。 加热体是单晶生长的核心，对单晶生长影响非常大，是决定单晶生长成功与 否的关键因素之。该产品的设计和制造是本公司多年科研盈亏平衡。 社会效益分析 水平砷化镓国家火炬计划产业化项目可行性研究报告中文版高速下载体的设计和制造非常关键。 加热体是单晶生长的核心，对单晶生长影响非常大，是决定单晶生长成功与 否的关键因素之。该产品的设计和制造是本公司多年科研盈亏平衡。 社会效益分析 水平砷化镓国家火炬计划产业化项目可行性研究报告中文版高速下载体的设计和制造非常关键。 加热体是单晶生长的核心，对单晶生长影响非常大，是决定单晶生长成功与 否的关键因素之。该产品的设计和制造是本公司多年科研盈亏平衡。 社会效益分析 水平砷化镓单晶近年来大量用于红外和高亮度，是 目前生产量和需求量最大增长率最快的化合物半导体器件之。但是由于国内 没有生产该产品的企业，使国内企业对该产品的需求主要依赖进口。本项目的实 施，可以满足国内企业市场需求，替代进口产品，并可出口创汇。同时，本项目 的实施，将带动相关产业的发展，从而推动我国经济快速发展。 总成本费用估算表 序号 年份 项目 投产期生产期合计 第年第二年第三年第四年第五年第六年第七年第八年第九年第十年 生产负荷 原材料及辅助材料 外购燃料和动力 工资及福利 摊销费用 修理费 折旧费 财务费用 管理费用 销售费用 总成本费用 其中固定成本 可变成本 经营成本 损益表 序号 年份 项目 投产期生产期 合计第年第二年第三年第四年第五年第六年第七年第八年第九年第十程中，无法完全按器件制造所要求的晶向生长，即晶体生 长方向与晶片的晶向有定的夹角，这导致了水平单晶的切片，般都要 斜切因而切片技术难度较大，为使所切晶片上电学参数尤其是载流子参数。 固液界面特种加热炉 可很好调整固液界面形状，这对生长不同晶向晶体降低位错密度，提高 成品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状的控制是提高成品率的关键技 术。在水平单晶生长过熔体结晶的快慢与结晶潜 热的产生，正常传递密切相关，结晶速度控制不当，会严重干扰内加热炉所形 成的温度分布，进而影响单晶正常生长，本项目在对热场配置进行优化时，兼 顾了采用合适的结晶速度这重要控制也进行 了反复实验研究并不断进行了优化，对提高单晶生长成品率发挥了重要作用。 单晶生长速度有时也称为结晶速度本工艺中视为石英反应管相对于加热 炉的相对移动速度是另个重要的技术参数因为中 的并入。反应与温度关系密切，如将温度升到以上，反应基 本停止，从而可抑制反应向右方进行故将该温区温度维持在以上。 我们对多段炉的设计，各段炉温的单独控制及其协调配合的气相扩散到中温区发生如下反应 反应消耗了，使反应向右继续进行，加剧了向 分别表示液固气相。 反应使进入，反应使部分与反应生成气相 逸出，二者差值，造成中的并入。 高温区机理是 在合成和晶体生长中，高温区发生熔体中的与石英反应 区炉高温区温度为。中温区为。这种加热结构既 得到所需的温度分布，又可抑制生长过程中的污染。 污染是由于舟石英管都是石英即材料易于使并入熔体和单 晶中。抑制污染的率实现该工艺的产 业化创造了又个有利条件。 本项目中，单晶生长采用两步法，即先合成多晶然后再次备料生长单 晶，备好的多晶放入两温区多段加热炉中生长单晶谓之无砷端生长技术。两 温项目所设计的水平单晶炉是种多段式两温区炉，只有热场配置合理即温度梯 度合适才有可能生长出合格单晶，公司技术人员经过反复实验比较不断优化， 设计出了合理热场，优化了温度分布，为提高单晶