项目所在地能源供应条件及消费情况, 项目能源消费对当地能源消费的影响, 环境保护实施情况 项目建设方案节能评估 项目选址总平面布臵评估 项目选址节能评估 总平面布臵评估 生产工艺技术方案评估 主要用能工序节能评估 项目主要耗能设备选型评估 自控设备选择 主要设备制造标准 主要耗能设备览表 供电系统 供热系统 辅助生产系统能源利用状况分析评估 供电照明系统 自动控制系统 变压器系统 电机系统 暖通动力系统 循环水冷却系统应精馏塔。根据进料分 析，可能会有些轻杂质，以精馏塔侧线采出的方式从系统中除去。 硅烷存储和灌装 现场硅烷生产存储包装和运输设备对人身设备和建筑的危 害降至最低。使用和硅烷及硅烷混合物储 运作为安全距离的指导，现场布臵使用买方地皮允许的最大距离。当 不能达到建议距离时使用工程设计方案补足。使用的工程设计方案基 于现在美国硅烷用户包装商和生产商的业内惯例。使用两台球罐储 存硅烷，储量约为二十天。储罐带有泄压阀，通向工厂火炬系统以缓 和任何泄放影响。 包括个罐装系统，槽罐尺寸通常为升和升 。灌满槽罐，储存，然后装入箱式拖车和槽罐拖车。集 装箱将直接装运。可选择带有槽罐清洁和测试装臵的系统。 尾气回收及处理 尾气通过系列冷凝器以冷凝氯硅烷。这些氯硅烷可循环至期 提纯工艺。气体排放物在尾气淋洗塔系统中处理。淋洗塔使用含 有氢氧化钠的碱液淋洗气体，减少其中的颗粒，将卤化物转化为溶液 中的盐。淋洗后的气体放大气。废液送至期废液处理装臵中和。 冷热氢化工艺选择 冷氢化工序 工业级硅粉送至硅粉干燥器，干燥后排入硅粉中间仓。硅粉在硅 粉中间仓中由氢气带入氢化反应器中。 提纯后的四氯化硅经过加压预热后送至四氯化硅汽化器，汽化 后的四氯化硅气体经过加热器进步加热至送至氢化反应 器中。 循环氢气和补充的新鲜氢气经各自的压缩机加压后混合，按与硅 粉规定比例经过预热器加热器加热至送至氢化反应器中。 如采用氯化氢参与的冷氢化反应，则氯化氢气体也经压缩机压缩 后按比例经预热器加热后送至氢化反应器中。 在氢化反应器中，硅粉与四氯化硅氢气氯化氢在 左右压力下进行气固流化反应，生成含定比例三氯 氢硅的氯硅烷混合气，工艺流程如图。其主要反应方程式如下 气气固气 固气气气 反应后的氯硅烷混合气体经过急冷除尘系统，以除去反应气体中 夹带的细微硅粉颗粒，同时降低反应气体温度。 除尘后的气体经过冷凝器冷凝分离回收，冷凝液主要为氯硅烷的 混合液，送入粗氯硅烷储罐，而氢气返回循环氢气压缩机循环使用。 粗馏工序 来自冷氢化工序的粗氯硅烷液送入级粗馏塔进行预分离。级 粗馏塔顶排出含少量的氯化氢和二氯二氢硅的不凝气体被送往废气 及残液处理单元进行处理塔顶馏出液为含有部分的三氯氢硅 冷凝液，送入精馏工序继续精馏提纯。 级粗馏塔釜得到含高沸点杂质的粗四氯化硅，送入级粗馏塔 进行进步提纯。级粗馏塔的作用是将粗四氯化硅和高沸点杂质进 行分离，塔顶排出的不凝气体同样送往废气及残液处理单元进行处 理。 热氢化单元工艺流程简述 来自氯硅烷罐区的精制四氯化硅通过泵加压进入氢化炉汽化器， 汽化器外设蒸汽夹套，内设盘管，用的蒸汽加热，将四氯 化硅汽化送至各氢化的气体混合气柜，与高纯氢气按定比例在气体 混合气柜均匀混合，经氢化炉尾气换热器力臂克管，由氢化炉反 应尾气预热后，通过氢化炉底盘喷嘴进入炉内，在温度下， 氢气与四氯化硅发生反应，生成二氯二氢硅三氯氢硅和氯化氢。 反应尾气经交换和急冷降温后，经氢化炉尾气过滤器 过滤后，送至尾气回收工序。 氢化反应产生的热量由的高温热水带走，高温热水分别进入 反应器钟罩夹套反应器底盘视镜顶部法兰，对其进行冷却。 的高温水回水经高温水冷却系统及热能回收系统冷却循环利用。 工艺流程图如图。 目前，国内外多晶硅生产企业已投入工业化运行的四氯化硅氢化 技术主要有冷氢化和热氢化两种工艺，二者技术特点比较如下 表冷氢化和热氢化工艺比较表 热氢化冷氢化 技术成熟性成熟成熟 操作压力 操作温度 反应原理 电耗 次转化率 生产维护较易较难 操作技术要 求般较高 优点 气相连续反应，不需催化剂 操作压力低，设备安全性 能要求低 反应使用精制无硼磷等杂质带 入，后续的精馏单元简单 工艺及设备成熟，有定的运行经 验。 硅粉连续加入，流化床反应，可 以连续大规模生产单条线可以 做到万吨以上产能 单位电耗低 转化率高般左右 最高可达 成本较低元吨 消耗低，三废处理量小， 环保压力低， 国内外工艺已经燥后排入硅粉中间仓。硅粉在硅 粉中间仓中由氢气带入氢化反应器中。 提纯后的四氯化硅经过加压预热后送至四氯化硅汽化器，汽化 后的四氯化硅气体经过加热 辅助生产系统能源利用状况分析评估 供电照明系统年产吨硅烷项目工程项目节能评估报告中文版高速下载 总平面 项目选址总平面布臵评估 项项目建设方案节能评估 环境保护实施情况 , 项目能源消费对当地能源消费的影响年产吨硅烷项目工程项目节能评估报告中文版高速下载 生产目选址节能评估年产吨硅烷项目工程项目节能评估报告中文版高速下载 主要用能工序节能布臵评估年产吨硅烷项目工程项目节能评估报告中文版高速下载 项目主要耗能设备选型评工艺技术方案评估年产吨硅烷项目工程项目节能评估报告中文版高速下载 自控设备选择评估年产吨硅烷项目工程项目节能评估报告中文版高速下载 主要设备制造标准估年产吨硅烷项目工程项目节能评估报告中文版高速下载 主要耗能设备览表年产吨硅烷项目工程项目节能评估报告中文版高速下载 供电系统年产吨硅烷项目工程项目节能评估报告中文版高速下载 项目主要耗能设备选型评工艺技术方案评估年产吨硅烷项目工程项目节能评估报告中文版高速下载 环境保护实施情况年产吨硅烷项目工程项目节能评估报告中文版高速下载 辅助生产系统能源利用状况分析评估年产吨硅烷项目工程项目节能评估报告中文版高速下载 供电照明系统年产吨硅烷项目工程项目节能评估报告中文版高速下载化为溶液 中的盐。淋洗后的气体放大气。废液送至期废液处理装臵中和。 冷热氢化工艺选择 冷氢化工序 工业级硅粉送至硅粉干燥器，干燥后排入硅粉中间仓。硅粉在硅 粉中间仓中由氢气带入年产吨硅烷项目工程项目节能评估报告中文版高速下载 尾气回收及处理 尾气通过系列冷凝器以冷凝氯硅烷。这些氯硅烷可循环至期 提纯工艺。气体排放物在尾气淋洗塔系统中处理。淋洗塔使用含 有氢氧化钠的碱液淋洗气体，减少其中的颗粒，将卤化物转化为溶液 中的盐。淋洗后的气体放大气。废液送至期废液处理装臵中和。 冷热氢化工艺选择 冷氢化工序 工业级硅粉送至硅粉干燥器，干燥后排入硅粉中间仓。硅粉在硅 粉中间仓中由氢气带入氢化反应器中。 提纯后的四氯化硅经过加压预热后送至四氯化硅汽化器，汽化 后的四氯化硅气体经过加热 辅助生产系统能源利用状况分析评估 供电照明系统 供热系统年产吨硅烷项目工程项目节能评估报告中文版高速下载和硅烷及硅烷混合物储 运作为安全距离的指导，现场布臵使用买方地皮允许的最大距离。当 不能达到建议距离时使用工程设计方案补足。使用的工程设计方案基 于现在美国硅烷用户包装商和年产吨硅烷项目工程项目节能评估报告中文版高速下载和硅烷及硅烷混合物储 运作为安全距离的指导，现场布臵使用买方地皮允许的最大距离。当 不能达到建议距离时使用工程设计方案补足。使用的工程设计方案基 于现在美国硅烷用户包装商和年产吨硅烷项目工程项目节能评估报告中文版高速下载和硅烷及硅烷混合物储 运作为安全距离的指导，现场布臵使用买方地皮允许的最大距离。当 不能达到建议距离时使用工程设计方案补足。使用的工程设计方案基 于现在美国硅烷用户包装商和生产商的业内惯例。使用两台球罐储 存硅烷，储量约为二十天。储罐带有泄压阀，通向工厂火炬系统以缓 和任何泄放影响。 包括个罐装系统，槽罐尺寸通常为升和升 。灌满槽罐，储存，然后装入箱式拖车和槽罐拖车。集 装箱将直接装运。可选择带有槽罐清洁和测试装臵的系统。 尾气回收及处理 尾气通过系列冷凝器以冷凝氯硅烷。这些氯硅烷可循环至期 提纯工艺。气体排放物在尾气淋洗塔系统中处理。淋洗塔使用含 有氢氧化钠的碱液淋洗气体，减少其中的颗粒，将卤化物转化为溶液 中的盐。淋洗后的气体放大气。废液送至期废液处理装臵中和。 冷热氢化工艺选择 冷氢化工序 工业级硅粉送至硅粉干燥器，干燥后排入硅粉中间仓。硅粉在硅 粉中间仓中由氢气带入氢化反应器中。 提纯后的四氯化硅经过加压预热后送至四氯化硅汽化器，汽化 后的四氯化硅气体经过加热 辅助生产系统能源利用状况分析评估 供电照明系统 供热系统 供电系统 主要耗能设备览表 主要设备制造标准估 自控设备选择评估 项目主要耗能设备选型评工艺技术方案评估 主要用能工序节能布臵评估 生产目选址节能评估 总平面 项目选址总平面布臵评估 项项目建设方案节能评估 环境保护实施情况 , 项目能源消费对当地能源消费的影响, 项目所在地能源供应条件及消费情况 能源供应情况分析评估 能源供应情况分析评估