预算表单位万元序号项目金额万元原辅材料费燃料动力费咨询资料调研费工资及福利费合计第六章经济和社会效益分析未来五年生产成本销售收入估算项目产品生产规模及销售量年份生产规模吨销售数量吨第年年第二年第三年第四年第五年项目产品生产规模及销售量单位万元财务分析通过现金流量表分析，财务动态分析结果如下项目今后十年累计实现净现值万元。项目内部收益率国家火炬计划产业化项目投资立项备案核准融资贷款申报资料文档免费在线阅读停止，从而可抑制反应向右方进行故将该温区温度维持在以上。我们对多段炉的设计，各段炉温的单独控制及其协调配合控制也进行了反复实验研究并不断进行了优化，对提高单晶生长成品率发挥了反应消耗了，使反应向右继续进行，加剧了向中的并入。反应与温度关系密切，如将温度升到以上分别表示液固气相。反应使进入，反应使部分与反应生生长速度有时也称为结晶速度本工艺中视为石英反应管相对于加热炉的相对移动速度是另个重要的技术参数因为熔体结晶的快慢与结晶潜热的产生，正常传递密切相关，结晶速度控制不当，会严重干扰内，反应基本界面特种加热炉可很好调整固液界面形状，这对生长不同晶向晶体降低位错密度，提高成重要作用。而影响单晶正常生长，本项目在对热场配置进行优化时，兼顾了采用合适的结晶速度这重要参数。固液在水平单晶生长过程中，无法完全按器件制造所要求的晶向生单晶生长过程中固液界面形状的控制是提高成品率的关键技术。因为杂年份总，般都要斜切因而切片技术难度较大，为使所切晶片上电学参数尤其是载流子浓度均匀分布，固液界面也必须与生长方向成定角度。而影响单晶正常生长，本项目在对热场配置进行优化时，兼顾了采用合适的结晶速度这重要参数。固液应向右继续进行，加剧了向中的并入。资产名称数量单位单价金额万元砷化镓单晶炉含安装运杂台产品研究开发费用培训费预备费合计新增流动资金预算表单位万元序号项目金额万元原辅材料费燃料动力费咨询资料调研费工资及福利费合计第六章经济和社会效益分析未来五年生产成本销售收入估算项目产品生产规模及销售量年份生产规模吨销售数量作设备购置费产品研究开发费培训费用和预备费。流动资金投资万元，主要用于原辅材料购置燃料动自筹资金主要来自企业货币资金。投资使用计划新增投资中，固定资产投资为万元，主要用作设备购置费产品研究开发费培训费用和预备费。流动资金投资万元，主要用于原辅材料购置燃料动力费员工工资福利咨询资料等费用。投资使用计划详见下表新增固定资产投资估算单位万元序号资产名称数量单位单价金额万元砷化镓单晶炉含安装运杂台产品研究开发费用培训费预备费合计新增流动资金预算表单位万元序号项目金额万元原辅材料费燃料动力费咨询资料调研费工资及福利费合计第六章经济和社会效益分析未来五年生产成本销售收入估算项目产品生产规模及销售量年份生产规模吨销售数量吨第年年第二年第三年第四年第五年项目产品生产规模及销售量单位万元财务分析通过现金流量表分析，财务动态分析结果如下项目今后十年累计实现净现值万元。项目内部收益率。投资利润部为企业自筹。本企业计划在项目执行期内新增投资万元，主要用于部分生产设备购置研发费用原辅材部为企业自筹。本企业计划在项目执行期内新增投资万元，主要用于部分生产设备购置研发费用原辅材部为企业自筹。本企业计划在项目执行期内新增投资万元，主要用于部分生产设备购置研发费用原辅材料费购置工资福利费等。资金筹措方案新增万元投资中，企业自筹资金万元，申请国家火炬计划资金支持万元。自筹资金主要来自企业货币资金。投资使用计划新增投资中，固定资产投资为万元，主要用作设备购置费产品研究开发费培训费用和预备费。流动资金投资万元，主要用于原辅材料购置燃料动力费员工工资福利咨询资料等费用。投资使用计划详见下表新增固定资产投资估算单位万元序号资产名称数量单位单价金额万元砷化镓单晶炉含安装运杂台产品研究开发费用培训费预备费合计新增流动资金预算表单位万元序号项目金额万元原辅材料费燃料动力费咨询资料调研费工资及福利费合计第六章经济和社会效益分析未来五年生产成本销售收入估算项目产品生产规模及销售量年份生产规模吨销售数量吨第年年第二年第三年第四年第五年项目产品生产规模及销售量单位万元财务分析通过现金流量表分析，财务动态分析结果如下项目今后十年累计实现净现值万元。项目内部收益率。投资利润率年平均利润项目投资总额。年份总，般都要斜切因而切片技术难度较大，为使所切晶片上电学参数尤其是载流子浓度均匀分布，固液界面也必须与生长方向成定角度。因为杂质主要是掺杂剂的分凝是以固液界面为界线的，如果单晶生长品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状的控制是提高成品率的关键技术。在水平单晶生长过程中，无法完全按器件制造所要求的晶向生长，即晶体生长方向与晶片的晶向有定的夹角，这导致了水平单晶的切片加热炉所形成的温度分布，进而影响单晶正常生长，本项目在对热场配置进行优化时，兼顾了采用合适的结晶速度这重要参数。固液界面特种加热炉可很好调整固液界面形状，这对生长不同晶向晶体降低位错密度，提高成重要作用。单晶生长速度有时也称为结晶速度本工艺中视为石英反应管相对于加热炉的相对移动速度是另个重要的技术参数因为熔体结晶的快慢与结晶潜热的产生，正常传递密切相关，结晶速度控制不当，会严重干扰内，反应基本停止，从而可抑制反应向右方进行故将该温区温度维持在以上。我们对多段炉的设计，各段炉温的单独控制及其协调配合控制也进行了反复实验研究并不断进行了优化，对提高单晶生长成品率发挥了反应消耗了，使反应向右继续进行，加剧了向中的并入。反应与温度关系密切，如将温度升到以上分别表示液固气相。反应使进入，反应使部分与反应生成气相逸出，二者差值，造成中的并入。高温区的气相扩散到中温区发生如下反应合成和晶体生长中，高温区发生熔体中的与石英反应区炉高温区温度为。中温区为。这种加热结构既得到所需的温度分布，又可抑制生长过程中的污染。污染是由于舟石英管都是石英即材料易于使并入熔体和单晶中。抑制污染的机理是在，为提高单晶生长成品率实现该工艺的产业化创造了又个有利条件。本项目中，单晶生长采用两步法，即先合成多晶然后再次备料生长单晶，备好的多晶放入两温区多段加热炉中生长单晶谓之无砷端生长技术。两温均匀性，有利于提高成品率。本项目所设计的水平单晶炉是种多段式两温区炉，只有热场配置合理即温度梯度合适才有可能生长出合格单晶，公司技术人员经过反复实验比较不断优化，设计出了合理热场，优化了温度分布石英舟预处理技术，该项技术主要是在适当的溶剂中进行热处理，它可保证在长达天的单晶连续生长中，熔体与舟不粘接，单晶生长完成后，单晶顺利脱舟。纵向温度分布技术通过中高温热场的合理配置，提高晶片的纵向过石英舟表面涂碳，碳舟虽可避免粘接问题，但碳易大量掺入晶体成为有害杂质，从而使晶体报废。本项目承担单位国瑞公司经多年研究实践找到了解决粘接问题的良好方法，成为本公司项独特的专有技术舟才能保证单晶生长顺利，不出多晶孪晶。生长完成后，晶体易从舟中取出脱舟良好且生长的晶体完整性好符合产品技术指标。这个问题曾是困扰单晶生长的个较严重问题。很多单位曾试用于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径扩大不超过。石英舟的预处理技术单晶生长是在密封于石英反应管中的石英舟中进行的，因此首先要解决的是石英舟与熔体的粘舟问题。只有不粘仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组合，可保证在长达天的单晶生长过程中温控精度，炉体移动速度最低时小时爬行不大于。采用优质管支撑石英反应管使石英反应管长期处和成熟性自行设计的单晶生长系统本项目研发生产采用自行设计的水平砷化镓单晶生长系统，该生长系统在国际上未见成型产品，本项目单位根据多年工艺技术积累，选用精密的温控仪表欧陆智能式温控仪和成熟性自行设计的单晶生长系统本项目研发生产采用自行设计的水平砷化镓单晶生长系统，该生长系统在国际上未见成型产品，本项目单位根据多年工艺技术积累，选用精密的温控仪表欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组合，可保证在长达天的单晶生长过程中温控精度，炉体移动速度最低时小时爬行不大于。采用优质管支撑石英反应管使石英反应管长期处于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径扩大不超过。石英舟的预处理技术单晶生长是在密封于石英反应管中的石英舟中进行的，因此首先要解决的是石英舟与熔体的粘舟问题。只有不粘舟才能保证单晶生长顺利，不出多晶孪晶。生长完成后，晶体易从舟中取出脱舟良好且生长的晶体完整性好符合产品技术指标。这个问题曾是困扰单晶生长的个较严重问题。很多单位曾试用过石英舟表面涂碳，碳舟虽可避免粘接问题，但碳易大量掺入晶体成为有害杂质，从而使晶体报废。本项目承担单位国瑞公司经多年研究实践找到了解决粘接问题的良好方法，成为本公司项独特的专有技术石英舟预处理技术，该项技术主要是在适当的溶剂中进行热处理，它可保证在长达天的单晶连续生长中，熔体与舟不粘接，单晶生长完成后，单晶顺利脱舟。纵向温度分布技术通过中高温热场的合理配置，提高晶片的纵向均匀性，有利于提高成品率。本项目所设计的水平单晶炉是种多段式两温区炉，只有热场配置合理即温度梯度合适才有可能生长出合格单晶，公司技术人员经过反复实验比较不断优化，设计出了合理热场，优化了温度分布，为提高单晶生长成品率实现该工艺的产业化创造了又个有利条件。本项目中，单晶生长采用两步法，即先合成多晶然后再次备料生长单晶，备好的多晶放入两温区多段加热炉中生长单晶谓之无砷端生长技术。两温区炉高温区温度为。中温区为。这种加热结构既得到所需的温度分布，又可抑制生长过程中的污染。污染是由于舟石英管都是石英即材料易于