A0总装图.dwg
（CAD图纸）
A2X轴方向微调机构.dwg
（CAD图纸）
A2Z轴方向调节机构.dwg
（CAD图纸）
A2仰角调节机构.dwg
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A3 导轨.dwg
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A3横向齿条.dwg
（CAD图纸）
A3横向调节杆.dwg
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A3立式支架.dwg
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A3联接套.dwg
（CAD图纸）
A3器件保持架(手工图).dwg
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A3图纸 支盖架.dwg
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A3图纸 纵向支架.dwg
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A3轴盖.dwg
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任务书.doc
四维微调工作台结构设计说明书.doc
四维微调工作台总装图.dwg
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正是这种需要极大地促进了高精密定位和测量技术发展。
高精度和高分辨率的超精密工作台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位。
它直接影响精密超精密切削加工水平精密测量水平及超大规模集成电路生产水平。
同时，它的各项技术指标是各国高技术发展水平的重要标志。
.国内外研究现状大行程超精密工作台主要的类型有直线电机式驱动摩擦式驱动，也有采用两级进给的方式，即采用粗动与精动两套系统，以同时兼顾大行程高响应速度和高定位精度。
高精度和高分辨率的超精密工作台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位。
它直接影响精密超精密切削加工水平精密测量水平及超大规模集成电路生产水平。
同时，它的各项技术指标是各国高技术发展水平的重要标志。
超精密工作台系统的定位精度和行程范围直接影响生产加工的精度。
同时，工作台的速度加速度及启停过程的稳定时间则影响设备的效率，成为系统的重要指标。
这些次定位的精密工作台系统可以按精度高低和行程大小分为两类小行程极高精度的工作台系统和大行程高精度的工作台系统。
小行程极高精度工作台大多采用压电元件或电磁元件作为驱动装置。
行程多在数十微米的范围内，但位移分辨率可高达。
大行程高精度工作台是指行程达毫米级以上，但定位精度略低于小行程系统的工作台系统。
它大多采用直线电机或摩擦式驱动方式，运动分辨率大多在左右。
微调工作台的驱动方式摩擦传动具有正反空程小传动平稳噪声小等优点，适合精密定位。
其不足之处是负载能力小，不能够产生太大的驱动力，否则传动过程容易产生打滑现象，因此限制了摩擦驱动的应用范围。
与传统机床进给驱动相比，直线电机驱动具有以下优点省略了中间转换机构，减少了机械磨损，系统运行时可以保持高增益，实现精确的进给前馈，对给定的加工路径可以用高速进行准确跟踪，从而保证了机床的高精度和使用寿命。
运行时，直线电机不像旋转电机那样会受到离心力作用，因此其直线速度不受限制。
直线驱动的惯性主要存在于滑台，因此加工时可以有很高的加速度。
直线电机靠电磁推力驱动，故系统噪声很小，改善了工作环境。
过去应用直线电机驱动主要集中在高速进给领域，利用了它可以有很高的加速度和运行速度的优点，但随着电机技术的发展，直线电机驱动开始向精密定位发展，如日本研制的几款超精密工作台都应用了直线电机驱动。
与传统的进给方式相比，在精密定位领域，直线电机驱动拥有更广阔的应用前景。
国外研究现状目前，国外在精密定位技术方而的研究成果较多，世界上各发达国家对高精密技术的发展都给予了足够的重视。
日本东京工大研究的精密工作台的定位精度达到，韩国汉城大学研制的宏微结合的行程精密工作台，以激光干涉仪作为位置反馈元件，定位精度达到。
这类叠加式宏微组合的精密工作台，更具有实用性，现已成为研制大行程精密定位技术的热点。
英国的国家物理研究所所研制的微形貌纳米测量仪器的测量范围是.。
美国些大学在电子行业和计算机行业的些大公司支持下，开展了纳米精度的位移测量和定位工作的研究，也取得了令人瞩目的成就。
.直线电机式超精密工作台东京工业大学研制了具有纳米级分辨率的维直线电机驱动超精密工作台。
它采用气浮导轨导向，行程，导轨的垂直刚度，水平刚度。
工作台重.，全部采用氧化铝陶瓷材料。
直线电机驱动力，最大加速度.，最大速度。
（全套资料）四维微调工作台结构设计（含图纸论文）
