1、的污物。兆赫超声清洗适用于集成电路芯片硅片及簿膜等的清洗。能去除微米亚微米级的污物而对清洗件没有任何损伤，因为此时不产生空化。其清洗机理主要是声压梯度，粒子速度和声流的作用。特点是清洗方向性强，被清洗件般置于与声束平行的方向。本台清洗机所用的频率即为在。清洗液的物理化学性质对清洗效果的影响清洗剂的选择要从两个方面来考虑方面要从污物的性质来选择化学作用效果好的清洗剂。

2、率密度发射功率发射面积影响超声波清洗效果的因素及选择超声清洗的主要机理是超声空化作用．超声空化的强弱与声学参数清洗液的物理化学性质及环境条件有关，所以要得到良好的清洗效果必须选择适当的声学参数和清洗液。声强或声压的选择在清洗液中只有交变声压幅值超过液体的静压力时才会出现负压。而负压要超过液体的强度才能产生空化。使液体产生空化的最低声强或声压幅值称为空化阈。各种液体。

3、件，而且空化噪声大。左右的频率，在相同声强下，产生的空化泡数量比频率为时多，穿透力较强，宜清洗表面形状复杂或有盲孔的工件，空化噪声较小，但空化强度较低，适合清洗污物与被清洗件表面结合力较弱的场合。高频超声清洗适用于计算机微电子元件的精细清洗，如磁盘驱动器读写头液晶玻璃及平面显示器微组件和抛光金属件等的清洗。这些清洗对象要求在清洗过程中不能受到空化腐蚀，要能洗掉微米。

4、超声清洗机吊运机械手设计摘要流动而产生数以万计的微小气泡，存在于液体中的微小气泡空化核在声场的作用下振动，当声压达到定值时，气泡迅速增长，然后突然闭合，在气泡闭合时产生冲击波，在其周围产生上千个大气压力，破坏不溶性污物而使它们分散于清洗液中，当团体粒子被油污裹着而粘附在清洗件表面时，油被乳化，固体粒子即脱离，从而达到清洗件表面净化的目的。超声波的两个主要参数频率功。

5、产生，同时在低频情况下，液体受到的压缩和稀疏作用有更长的时间间隔．使气泡在崩溃前能生长到较大的尺寸，增高空化强度，有利于清洗作用。目前超声波清洗机的工作频率根据清洗对象，大致分为三个频段低频超声清洗，高频超声清洗和兆赫超声清洗以上。低频超声清洗适用于大部件表面或者污物和清洗件表面结合强度高的场合。频率的低端，空化强度高。易腐蚀清洗件表面，不适宜清洗表面光洁度高的部。

6、另方面要选择表面张力蒸汽压及粘度合适的清洗剂，因为这些特性与超声空化强弱有关。液体的表面张力大则不容易产生空化，但是当声强超过空化阈值时，空化泡崩溃释放的能量也大，有利于清洗。高蒸汽压的液体会降低空化强度，而液体的粘滞度大也不容易产生空化。因此蒸汽压高和粘度大的洁洗剂都不利于超声清洗。此外，清洗液的温度和静压力都对清洗效果有影响，清洗液温度升高时。空化核增加，对空。

7、有不同的空化阈值，在超声清洗槽中的声强要高于空化阈值才能产生超声空化。对于般液体，空化阈值约为每平方厘米瓦声压的千方正比于声强。声强增加时，空化泡的最大半径与起始半径的比值增大，空化强度增大，即声强愈高，空化愈强烈。有利于清洗作用。但不是声功率越大越好，声强过高，会产生大量无用的气泡，增加散射衰减，形成声屏障，同时声强增大也会增加非线性衰减，这样都会削弱远离声源地。

8、于空化，因为化学溶剂的活动能力是随温度增加而增加，且些污物在定的温度以上才溶解得比较快。另方面蒸汽压随清洗液温度增加也相应增加，超过定的温度反而使空化作用降低。因此，必须将温度控制在最佳点附近。对于不同的溶剂最佳的清洗温度也不同。对于水来讲，当水温达到水沸点时，产生气泡，会对声波有阻抗，使清洗效果下降，清洗液的最佳点在左右。本次设计的清洗机规定清洗液的温度即为。影。

9、方的清洗效果。对于些难清洗干净的污物，例如金属表面的氧化物，化纤喷丝板孔中污物的清洗，则需要采用较高的声强，此时被清洗面应贴近声源，这时大多不采用槽式清洗器，而用棒状聚焦式换能器直接插入清洗液靠近清洗件的表面进行清洗。频率的选择超声空化阈值和超声波的频率有密切关系。频率越高，空化阈越高，换句话说，频率越高，在液体中要产生空化所需要的声强或声功率也越大频率低，空化容。

10、证发生空化作用的情况下，功率密度越大，空化作用越强，清洗效果越好。水溶液在声波强度为．时就能产生空化。但功率密度也不能过高，否则，会因空化作用太强致使制件表面发生空化腐蚀，甚至引起饱和使清洗无效。般对油垢严重几何形状复杂的制件或清洗液浓度较大的情况下，应选较大的功率密度，反之小些。清洗液的温度的选择温度选择要从两方面考虑，方面清洗液的温度与空化作用有关，温度升高有。

11、响超声清洗效果的其它因素清洗液的流动速度对超声清洗效果也有很大影响。最好是在清洗过程中液体静止不流动，这时泡的生长和闭合运动能够充分完成。如果清洗液的流速过快，则有些空化核会被流动的液体带走有些空化核则在没有达到生长闭合运动整过程时就离开声场，因而使总的空化强度降低。在实际清洗过程中有时为避免污物重新粘附在清洗件上，清洗液需要不断流动更新，此时应注意清洗液的流动速。

12、的产生有利，但是温度过高，气泡中的蒸汽压增大，空化强度会降低，所以温度的选择要同时考虑对空化强度的影响，也要考虑清洗液的化学清洗作用每种液体都有空化活跃的温度，水较适宜的温度是，此时空化最活跃。清洗液的静压力大时，不容易产生空化，所以在密闭加压容器中进行超声清洗或处理时效果较差。超声波清洗的功率选择超声波的功率密度是指单位面积的声功率，它直接影响清洗效率。通常在保。

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