（CAD图纸全套）罗茨真空泵的结构设计（含说明书）

格式：RAR 上传：2025-10-13 06:34:02

罗茨真空泵的结构设计摘要时要满足余年渗入真空室升气体的极微小的漏率。可控聚变装置用的高真空泵采用涡轮分子泵和低温泵，前者用于检漏，后者则用于抽排聚变反应废气的主泵。工作于.的具有活性炭吸附剂的低温泵，所吸留的废气中，除了氘氚核反应产物氦灰外，还有大量未能参与核反应的氘和氚。把回收后的氘和氚再注入到大环真空室中，把除氚外的杂质气体按环保要求排放出去。这种装置的研究，可通过国际合作攻关，人类有望在世纪中期建成氘氚核聚变示范电站，最终目标是提供市场销售用电的核聚变发电站，为世纪的新能源和经济发展做出应有的贡献。等离子体科学技术和真空科学技术将会得到协同发展，并将为探索宇宙结构和物质起源等重大基础科学研究中起着重要的作用。.真空泵市场各类泵设备发展现状真空泵是个量大面广的产品，产量很大，产值不高，但它确实是个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。目前，全球真空泵市场的年销售额约亿美元，年增长率在左右。我国生产真空泵的厂家很多，全部真空泵的年销售额大约在.亿元左右，仅相当于美国公司家真空泵的年销售额。通过对全球真空泵市场的分析我们可以看出，各类真空泵的市场及应用领域都在不断变化和发展。我国真空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础，国产真空泵已经在各个不同领域得到应用并经过验证，有些泵还出口国外，得到国外用户的认可并受到好评，应该说我国真空泵制造业在国内外市场仍然有着巨大的发展空间。.水环真空泵虽然水环真空泵属于粗真空泵，但在我国的石油化工电力轻纺造纸医药等领域仍然有着很大的市场。在国外，水环泵的销售额占全部真空泵市场的，仅次于干泵，所以和等公司都在我国投资建厂或建立销售网络，不断扩大在我国的市场份额。由于水环泵大部分是铸件，加工要求也不高，属劳动密集型产品，所以国产水环泵在价格上有竞争优势，关键是要改进设计，缩小体积，减轻重量，提高效率，降低能耗。.滑阀泵滑阀泵是油封式真空泵的种。由于滑阀泵比较耐用可靠，国内外各种真空炉镀膜机以及干燥浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场，必须进步降低泵的振动噪声，杜绝喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的可靠性。.直联旋片泵随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多，加工装配工作量很大，价格又很低，所以有的国外真空厂商在中国建立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速高温下性能稳定和运行可靠，同时还要进步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。.分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射刻蚀和等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装个的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。.干式机械真空泵国外干式机械真空泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业化学工业薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵多级爪式真空泵螺杆式真空泵涡旋式真空泵往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从，抽速从。据统计，目前国产干泵的应用还不足，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。.真空泵技术进展趋势技术发展的原动力在于市场的需求。由于真空技术领域的扩展和迅速成长的高新技术，国内真空泵市场对真空泵的技术水平提出了更高的要求。真空泵的生产企业必须通过技术创新和产品结构的调整两个途径来保住原有市场，进而继续扩大市场占有率。提高真空泵的可靠性，降低振动噪声，注重真空泵的综合水平。过去的若干年，生产厂注重真空泵的主要性能指标，比如，极限压力抽速等，而忽视真空泵的综合性能。而现在，产品的可靠性性能的稳定性以及对环境不造成污染逐渐成为用户购买产品时考虑的主要因素。对于旋片泵罗茨泵滑阀泵等而言要将成熟的可靠性设计理念运用到真空泵的设计中，在可靠性设计可靠性实验等方面下工夫，以大幅度提高真空泵的可靠性稳定性和寿命，保证真空泵能够在各种工况下长期可靠的运行。同时通过采用新技术新材料新工艺新结构来降低振动噪声，解决泵的喷油漏油问题，还用户个清洁环保的工作环境。企业面对的永远是变化的市场，而我们的真空泵产品却千篇律的雷同。产品和市场的不衔接，使我们丢掉了许多机会。真空泵的下步发展应该面向个性化和多样化。所谓个性化和多样化就是针对不同用户的不同需求，设计针对用户的特定场合的产品，使产品在这场合应用，其特性的发挥恰倒好处。尽快形成分子泵和干泵的规模生产。根据预测，到年我国将成为世界上第二大半导体集成电路市场，总需求量约亿块，达到亿美元以上的总金额，需要建多条大生产线才能满足需求。