（CAD图纸全套）四维微调工作台结构设计（含说明书）

格式：RAR 上传：2022-06-25 05:32:49

《（CAD图纸全套）四维微调工作台结构设计（含说明书）》修改意见稿

1、“......磁悬浮微动工作台性能的进步提高在现有磁悬浮微动工作台基础上，充分考虑磁滞非线性磁饱和以及高次谐波对系统精度的影响，解决运动控制和定位技术，从而实现纳米级精度的大范围运动。未来的大范围高精度纳米测量要求在数十毫米以上的范围内达到至少亚纳米级的测量精度，这不仅使只采用其中之的测量方法难以实现，就连现在许多结合了多种测量的方法也是很难办到的。对纳米测量而言，能否取得高精度和大范围，这在很大程度上取决于信号处理的精度......”。

2、“.....加快信号处理的速度加大处理量更好的滤除噪声对达到未来的测量需求是个很好的解决方案提高测量系统中机械系统的装配和运动精度改善光源的稳定性和相干性降低外界环境的干扰或是设计对环境不敏感的测量系统都是大范围高精度纳米测量进步发展所必须要解决的问题。当前仪器设备的发展趋势主要是向大型化自动化精密化高效化发展。.系统组成及工作原理四维微调工作台在系统的机械结构设计上，采用粗动台和微动台的组合结构，即由粗动台来完成高速运行，解决整个系统的速度问题，进行粗定位......”。

3、“.....这样可使定位系统达到极高的定位精度和灵敏度，控制简单可靠。该机构采用了齿轮齿条和螺旋传动原理，因此能够实现轴方向的调节，同时还可进行水平转角以及垂直仰角的调节。作为理想的微动工作台,应具有较高的位移分辨率,以保证高的定位精度还应具有较高的几何精度和良好的动态特性同时还应满足工作行程的要求。以此为前提,我们设计了由齿轮齿条和螺旋传动原理构成的机构。四维微调工作台在系统的机械结构设计上，采用粗动台和微动台的组合结构，即由粗动台来完成高速运行......”。

4、“.....进行粗定位，然后由微动台完成精定位，这样可使定位系统达到极高的定位精度和灵敏度，控制简单可靠。该机构采用齿轮齿条和螺旋传动原理，能够实现轴方向的调节，同时还可进水平转角以及垂直仰角的调节。.轴方向调节可分为粗调微调。粗调通过转动横向调节螺杆，利用齿轮和齿条啮合使转动变为平动，实现轴方向上的粗调。精度依靠所设计的齿轮与齿条的精度，其调节范围依靠齿条的长度，根据需要可设计不同的调节范围以满足实验要求。轴方向的微调是利用了螺杆转动螺母移动原理......”。

5、“.....保持轴套和滑动台整体看作是螺母，锁紧螺母主要是为了减小螺纹间隙。旋转运动杆尺来实现微调，最小移动距离可达到.。.轴方向的粗调也可看作是垂直方向上的粗调，其调节原理与轴方向上的粗调原理相同。.轴方向的调节是利用了螺母转动螺杆移动原理实现的。直槽螺套相当于螺母，立柱和螺杆组成相当于螺杆，轴套是为了防止螺杆的转动，从而实现立柱在轴方向上平稳运动，轴盖是为了防止直槽螺套的窜动。当转动直槽螺套时，螺杆会沿着旋转螺套内的螺旋槽螺旋上升......”。

6、“.....只剩在轴上的平动，从而实现了在轴方向上的调节。当调好高度时，可用锁紧螺钉固定。．水平转角和垂直仰角的调节原理基本相似，水平转角机构由水平止推杆水平调节杆水平转动调节架防转调节杆，以及连接螺杆水平转动套转轴套组成。当进行大角度粗调时，放松转动调节杆，装置以轴水平转动套可进行度的调节。当角度选定时锁紧防转调节杆，然后调节水平调节杆进行水平方向小角度的调节。该角度调节的精度主要依靠水平调节杆螺纹的精度。......”。

7、“.....首先，本文将对四维微调工作台的结构设计从方向粗调机构方向微调机构方向粗调机构方向调节机构水平转角调节机构和垂直仰角调节机构六大方面着手对四维微调工作台的结构组成及工作原理进行详细的阐述。其次，将对四维微调工作台的传动方案机体主要材料及四维微调工作台导轨设计形式进行选择。最后，本文将对弹簧示数装置支承和基座进行设计。还有，将对四维微调工作台的主要机构及零件进行结构设计并对受载荷较大的零件进行合理性分析......”。

8、“.....微调工作台的结构设计及特点机身结构设计应满足下列要求.机身在满足强度刚度的条件下，力求质量轻节约金属。.结构力求简单，并使装于其上的所有部件零件容易安装调整修理和更换。.结构设计应便于铸造或焊接和机加工。.必须有足够的底面积，保证微调工作台的稳定性。.结构设计应力求减少振动和噪声。.机构设计力求外形美观。机构结构分为铸造结构和焊接结构两种。铸造结构的材料比较容易供应，消震性能较好，但质量较重，刚度较差。焊接结构与之相反，质量较轻，刚度较好......”。

9、“.....但消震性能较差。铸造结构尽量使壁厚不要有突然的变化，适当加大过渡圆角，减少应力集中。结构设计需使铸造和加工方便。焊接结构尽量设计成具有对称性的截面和对称性的焊缝位置，以减少焊接变形。要合理布置筋板，数量不宜过多。焊缝应尽量远离应力集中区域，尽量避免用焊缝直接承受主要工作载荷。焊缝避免交叉与聚集，并考虑焊接施工方便。四维微调工作台的设计特点目前大行程超精密工作台设计的方案主要有两种设计思路级进给方式......”。