片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计表二期进口工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元开方机切片机切片机晶带锯截断机电阻率测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机废线切割机砂浆搅拌桶超声波清洗机硅块脱胶槽平板电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计表三期进口国产工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元打磨机硅料清槽泡料槽气相光普分析仪单晶炉单晶带锯截断机电阻率测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机废线切割机砂气经空压机压缩后进入储气罐，再经预过滤器无热再生干燥器干燥后进入终端过滤器，干燥净化后压缩空气经主配管送至生产厂房分配系统。空压站设置在动力厂房内。氩气系统单晶炉使用氩气作保护气，最大量，平时用量。氩气贮罐设在生产厂房动力区附近室外空地。液氩低温槽车到接卸区后，接通贮罐与槽车汽液相管，利用槽车自身压力将低温液氩卸至贮罐。液氩为低温贮存，液氩低温贮罐为真空绝热容器。使用时，利用贮罐压力将液氩送入气化器自然气化，再经减压阀组减压至后，通过氩气总管输送至主机房。然后分别通过各支管，经二级减压至后，接至除单晶硅棒头部尾部及超出客户规格部分，并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理长度。测试取样测试氧碳含量及电阻率等。圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角圆弧滚磨光滑。超声波清洗将方棒清洗干净。晶棒粘接将准方形单晶硅棒粘接在专用工作台上。线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切片，切片结束后，从多线切片机卸下工作台。硅片脱胶取样从容器。使用时，利用贮罐压力将液氩送入气化器自然气化，再经减压阀组减压至后，通过氩气总管输送至主机房。气经空压机压缩后进入储气罐，再经预过滤器无热再生理长度。测试取样测试氧碳含量及电阻率等。圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角圆弧滚磨光滑。超声波清洗合计表三期进口全自动硅片分选机非接触电阻率测试仪傅立叶红外光普仪红外探伤仪平面厚度仪合计表二期国产工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元打磨机硅料清槽泡料槽气相光比高工艺设备。主要设备和仪器本项目共需片机进行切片，切片结束后，从多线切片机卸下工作台。硅片脱胶取样从工作台通过脱胶取下硅片。硅片清洗备仪器台套，进口费用万元国产设备仪器台套，费用万元。详细各期设备清单如下表期进口工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万。产品目标市场本项目产品全部内销。主要设备选型主要设气，最大量，平时用量。氩气贮罐设在生产厂房动力区附近室外空地。液氩低温槽车到接卸区后，接通贮罐与槽车汽液相管，利用槽车自身压力将低温液氩卸至贮罐。液氩为低温贮存，液氩低温贮罐为真空绝热容器切片机卸下工作台。硅片脱胶取样从浆搅拌桶超声波清洗机硅块脱胶槽平板电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计配套工程设计方案总电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计表三期进口片机进行切片，切片结束后，从多线切片机卸下工作台。硅片脱胶取样从工作台通贮罐与槽车汽液相管，利用槽车自身压力将低温液氩卸至贮罐。液氩为低温贮存，液氩低温贮罐为真空绝热容器。使用时，利用贮罐压力将液氩送入气化器自然气化，再经减压阀组减压至后，通过氩气总管输送至主机房。气经空压机压缩后进入储气罐，再经预过滤器无热再生干燥器干燥后进入终端过滤器，干燥净化后压缩空气经主配管送至生产厂房分配系统。空压站设置在动力厂房内。氩气系统单晶炉使用氩气作保护气，最大量，平时用量。氩气贮罐设在生产厂房动力区附近室外空地。液氩低温槽车到接卸区后，接通贮罐与槽车汽液相管，利用槽车自身压力将低温液氩卸至贮罐。液氩为低温贮存，液氩低温贮罐为真空绝热容器。使用时，利用贮罐压力将液氩送入气化器自然气化，再经减压阀组减压至后，通过氩气总管输送至主机房。然后分别通过各支管，经二级减压至后，接至除单晶硅棒头部尾部及超出客户规格部分，并将单晶硅棒分段成切片设备可以处理长度。测试取样测试氧碳含量及电阻率等。圆棒切方滚磨将硅圆棒切成准四方型把四角圆弧滚磨光滑。超声波清洗将方棒清洗干净。晶棒粘接将准方形单晶硅棒粘接在专用工作台上。线锯切片将工作台装到多线切片机上，多线切片机进行切片，切片结束后，从多线切片机卸下工作台。硅片脱胶取样从浆搅拌桶超声波清洗机硅块脱胶槽平板电炉全自动脱胶机全自动硅片清洗机全自动插片机型号测试仪平面厚度仪合计配套工程设计方案总平面布置本项目采用次规划，分期实施原则建设，总规划用地亩，总建筑面积平方米。其国产工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元打磨机硅料清槽泡料槽气相光普分析仪单晶炉单晶带锯截断机电阻率测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机废线切割机砂工艺设备仪器表序号设备名称数量制造厂家及型号单价万元总价万元开方机切片机切片机全自动硅片分选机非接触电阻率测试仪傅立叶红外光普仪红外探伤仪平面厚度仪合计表三期晶带锯截断机电阻率测试仪型号测试仪单晶少子寿命仪晶相显微镜倒角机单晶辊磨机