1、“.....其固有频率越小。由于般的的振动频率都低于产品的固有频率,降低固有频率会导致机器的转动频率接近固有频率,产生共振。所以降低质量会提高摆臂的固有频率。但是不同的金属的刚度不尽相同,般密度大的刚度强。但是新型金属材料的应用如钛合金,纳米合金,碳合金等产品,密度小,刚度大......”。
2、“.....运用分析软件,采用不同的金属材料在同频率下进行分析验证摆臂的对产品的影响。铝合金材料的分析。图.合金钢度材料的分析考虑经济型最终选取铝合金材料的摆臂作为接下来的研究。.研究变截面摆臂的分析以上研究已得知,摆臂的质量越小,固有频率越高。现在通过研究摆臂的结构问题来进行优化设计。在同金属材料下,降低它的质量是关键......”。
3、“.....有限元静态分析,摆臂在运动过程中的应力集中分布现象,采取在应力不集中区域剔出材料,如选择打工艺孔,在非核心受力区打凹槽处理。下图为对比分析的不同尺寸去除材料的受力分析图图.厚度为的频率模态分析图.厚度为的受力分析经过对比,厚度为的固有频率较厚度为三的频率要低,同时由于厚度的震动幅度过大,导致摆臂在运转过程中出现疲劳受损。经过多次对比研究......”。
4、“.....凹槽应力分析最终选取厚度为,深度为,工艺孔如图图.摆臂工艺孔设计图纸如下图.摆臂设计图创新点以及遇到的问题.本课题的创新点本课题着眼于解决企业中的实际工程问题,落脚点在于解决半导体制造装备中高速度与高精度之间的矛盾,由于这矛盾直没有得到很好的解决,国内几乎没有厂家或者学者对这矛盾进行深入地研究,因此本课题的提出本身就是大创新之举......”。
5、“.....从而实现闭环的分析与优化集成的功能传统的有限元分析方法是已知质量分布求其受力情况等的分析,而本课题是以质量作为约束来解其分布的逆命题.已有的工作条件和出现的问题已有的工作条件有必要介绍款功能强大的软件,作为多学科的仿真集成平台,能够集成并自动化用户的多学科仿真分析流程......”。
6、“.....能应用现代设计方法至少包括试验设计敏感度分析响应面建模参数优化参数识别可靠性设计鲁棒性设计实现综合优化和自动化分析。软件涉及的学科包括几何造型结构分析计算流体力学控制动力学冲击碰撞震动噪声和疲劳等领域。要求能够集成这些学科所涉及到的商用软件以及用户自开发的基于以及其他编程语言的程序代码。具备形成完整的集成优化设计综合环境......”。
7、“.....建立的工作流应能作为模板保存使用。工作流的管理可以定制,并支持远程调用和基于计算机集群的并行运行方式,充分利用硬件资源,提升运行速度。的集成优化能力及可靠性经过十年以上业界工程验证,达到通用商业化工程软件水平,在国内外有广泛的应用。具备强大的设计优化能力,内置经多年验证的企业级优化算法库,帮助用户解决各种优化问题......”。
8、“.....各种优化算法的参数设置直观简洁,并有完整的帮助文档对各种算法及其参数设置进行解释。另外,提供多学科软件集成的平台,具有集成商用软件的通用接口,如等。此软件给以后的类似的研究提供了个参考。出现的问题出现的问题在实验验证方面可能会出现......”。
9、“.....小结长期以来我国的半导体制造设备研发直局限于对国际主流机型的被动跟随模仿,研究工作停留在使用现有模块快速集成组装为整机的表面层次,缺乏对设备共性核心技术的持续深入研究。共性核心技术的欠缺已经成为导致我国微电子制造装备业与国际主流水平巨大差距的重要因素之......”。
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LED粘片机芯片取放机构的结构设计及固晶臂的分析研究开题报告.doc
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