1、别在空气中差距，有个回合下限线圈数为驾驶由于寄生电容和电感固有综合内变压器，经营变压器频率建议应不超过该项目目标以来几兆赫。是建立个芯片上可容纳供电计划器件特殊电源要求，是有关以展示我们原型多功能变压器。对于差距变压器圈主线圈和空气，.是获得主要影响.电压在.千赫，如图所示研究这种电压是元件，微机电系统运作等如上述讨论确定，为最大限度地提高磁耦合器，主要应分别穿过空气间隙和有会话话轮转换低限线圈数驱动得到到固有寄生电容和电感集成在变压器，变压器工作频率提出了应不超过该项目目标以来几兆赫。是建立个芯片上可容纳供电计划满足微机电系统器件特殊电源要求，它是有关证明了我们原型变压器多功能性。对于差距变压器圈主线圈和空气，.是获得主要影响.电压在.千赫，如图所示，这种电压为这种行动适当微机电系统器件。.综述在此，提出了种证明变压器是个可拆卸芯片上，提出了采取行动辅助电源作为个无线器件，以及业务变压器。实验和模拟已进行了综合表征线。
2、是在其他线圈，电能传输电路从输入到输出。拟议可拆卸集成变压器不同连接到传统，二次是在没有物理其余变压器，但不是在同个硅芯片上集成。由于能源领域所取得转让是通过磁场在空气中差距，重要是涉及变压器性能之间耦合主要和次要。对于不完全耦合变压器，与原理图如图所示。，每个终端电压压降可表示为图带有互感变压器示意图在第级，二级和是主要电感，电感和互感副线圈分别是第二和终端负载阻抗跨越。之间耦合程度，主线圈和副线圈相关定义为耦合系数这是，和耦合系数是对变压器性能优异最重要人物之。当个线圈例如为，二级短路，可以写为请注意，阻抗进入个次要短路变压器初级寻找理想是零。对于非理想变压器，剩下短路阻抗与二级相当于个电感值。等效电感型是所谓初级漏感，因为这无助于长远副线圈，而是来自于个可能负载电压减去影响深刻到磁通量。同样，相同关系，可为次要方面。我们使用这个尺寸关系，以获取以下耦合系数。随着对二次侧负载，电压和电流编排相关，可以被写为因此，在。
3、。图匝和匝变压器主线圈在不同气隙下耦合系数频率匝主线圈匝主线圈匝主线圈匝主线圈耦合系数，空隙空隙空隙空隙空隙空隙空隙空隙频率频率耦合系数，耦合系数，图不同匝数分式主线圈变压器耦合系数匝主线圈匝主线圈图副线圈开路电压与主线圈电压函数关系在上述讨论中，提到在变压器线圈不能操作频率超过其在任何频率。个正常频率范围勘探变压器性能超越其揭示了些有趣功能。如图所示，电压比例保持不变高达，然后迅速上升和山峰之间〜兆赫频率急剧下降较高。这种现象可以解释如下在低频率，开路电压比可表示为关系，这是特点决定了变压器在更高频率，寄生电容等因素，寄生电容等其他因素开始占主导地位，以及强烈二次电压影响泄漏电感共振之间寄生电容和。利用线圈图等效电路图与耦合系数，功能变频器电压比例，采用™模拟结果如图。研究在图中看到放大。结果从图电感和漏串联谐振内二次寄生电容。图模拟匝和匝主线圈变压器开路时与频率函数关系图上述讨论确定，为最大限度地提高磁耦合，初级应。
4、.微米厚。线圈有转和微米金属痕迹以微米间距宽。电气参数物理和核心，第二是总结于表。.线圈制造及其特点变压器是由个绕线初级，铁氧体磁芯和个辅助弹簧圈上硅晶片。其核心是由图.微线圈装配和测量制造核心连接及其固定用电路板片上集成铜制副线圈十匝两部分组成，以提供个可调节空气间隙。图显示了在测试夹具核心和线圈支持。金属制品业副线圈是安装在印刷电路板，便于操作。二次是个边长平方平均螺旋弹簧圈作为几何图加工涉及电子束蒸发铜层氧化硅晶片，并发射图案。铜线圈为.微米厚。线圈有转和微米金属痕迹以微米间距宽。电气参数物理和核心，第二是总结于表。表.主副核个核心设计。也有人提出了植入种不同核心设计它们具有较低耦合系数，从而减少功率传递到负载比设计中描述了这里。我们已经实现线圈耦合高达.权力负载通过我们副线圈。.原理由经营理论变压器电磁感应原理。当交流电压线圈上应用，不断变化磁场线圈共同具有核心是路径形成磁场产生。反过来，个相同频率交流电压作用。
5、定用电路板片上集成铜制副线圈十匝两部分组成，以提供个可调节空气间隙。图显示了在测试夹具核心和线圈支持。金属制品业副线圈是安装在印刷电路板，便于操作。二次是个边长平方平均螺旋弹簧圈作为几何图加工涉及电子束蒸发铜层氧化硅晶片，并发射图案。铜线圈为.微米厚。线圈有转和微米金属痕迹以微米间距宽。电气参数物理和核心，第二是总结于表。表.主副核线圈，只有极少数有降低转数，因为耦合系数低，产生磁通量是不能有效地约束范围内核心，和漏磁更为严重。主线圈不同布置形势下，副线圈二次电压开路测量比，以及与从图耦合系数中获得模拟结果比较。值匝主线圈主线圈在大臂上主线圈在小臂上分布式主线圈测量模拟频率上述测量均进行了空隙，而且是有益行为研究空白耦合系数在不同空气。图和表明系数与耦合变压器转折，至初选与转空气缝隙。正如预料那样，把初选耦合系数下降，空气间隔之交和扩大。耦合系数减少在大约同样比率为变压器。它也表明，圈首要可以只磁通量核心，以及个圈初选。
6、，最大限度地提高磁耦合，并确定变压器频率特性。最大耦合系数.已取得为空隙，并通过模拟测试已被证实。在芯片上寄生电容和变压器变压器工作频率限制至几之内。对于时间，所有测量结果进行抵抗高，薄膜二次线圈，但已显示出变压频率匝主线圈变压器匝主线圈变压器频率频率器高压和高功率能力。由于采用更先进制程，如深反应离子蚀刻和电镀，预计该变压器性能可以进步改善，内阻大幅度下降，以及可能达成背端放置，以保护芯片系统。参考文献见原文附件外文原文复印件中文字毕业设计外文资料翻译学院理工学院专业过程装备与控制工程姓名学号外文出处.,.附件.外文资料翻译译文.外文原文。指导教师评语签名年月日附件外文资料翻译译文简易微机电系统设备的无线供电方案摘要近来，随着微切削加工技术的发展，离散微器件的结构也日趋成熟因此，系统的整合变得越来越重要。微器件尤其是执行机构的供电需求成为了妨碍这种整合系统的发展的个核心设计。也有人提出了植入种不同核心设计它们具有较低。
7、次侧阻抗可以反映到由乘以倍，并在初级侧与主激磁电感个平行。对于理想变压器，可以减少到基于以上推导，个变压器等效电路模型如图所示，考虑寄生效应。主线圈和副线圈线圈寄生电阻和电容，二次侧寄生在被视为负载。变压器二次加工，是个螺旋式电感器制造平面上氧化硅晶片。寄生效应是显着加工技术引入二次侧所施加限制，因为。存在着比较大串联电阻厚度造成小金属，也不可忽略电容分流线附近金属基体，通过氧化和领域密切由于电感。该系列电阻降低效率到负载能量转移，电感和寄生电容起形成个共振频率相当于电路与自我，实行了变压器，个工作频率上限制以外辅助不再作为个电感器功能，而是作为个电容器。寄生电阻和电容主要是更重要面相比，那些在第二位。核心损耗电阻在核心与平行损失为能源主要账户。开路源电压激励源内阻抗负载阻抗磁芯损耗电阻主线圈直流电阻副线圈直流电阻主线圈感应系数副线圈感应系数，磁化电感，漏感主线圈分布电容磁线圈分布电容主线圈至磁线圈电容耦合系数图变压器。
8、能并被广泛接受。然而，大多数微机电系统设备，尤其是微致动器，对于供电有特殊要求有些设备需要高电压，然而有些又会需要高功率输入。因此，些情况下驱动个这样芯片有可能需要不只个电源，从而增加了连接数目，这会对封装不利。而且，寻找种方法使微机电系统能够摆脱电源束缚从而给予其更灵活空间并且可以用于医学植入或其它领域是很有吸引力。本文探索微系统感应供电可行性，并用于缩减系统规模，节约效能预算，还有解除系统机械和电气束缚。利用电化学电池是种芯片供电方式，例如电池，不过这种方式受限于有限电池容量和寿命。因此，在种情况下，再生能源供应是更加合适。其他些发电方案原型已经出现。例如，威廉姆和耶茨论证了个利用运动和振动产生动能来发电微型发电机，大小约为能够提供和.电能。展示了.热电模块产生个热电输出.和能力是战略上面提到产生电压.温度差异不能产生电力器件许多可用数量。作为替代方案，氢化非晶硅太阳能电池阵列已被证明是个静电，片上电源。它是由个开。
9、效电路负载，电容和寄生电感起构成谐振频率等效电路与实行了变压器，个工作频率上限制以外辅助功能已不再作为个电感器，但而不是作为个电容器。寄生电阻和电容主要是更重要面相比，那些在第二位。核心损耗电阻在核心与平行损失为能源主要账户。电路中元素具有不同配置不同重要性变压器。在这个文件中，主要关注是提高耦合系数，找出最佳工作频率范围。这些问题将在下面章节提到。变压器是由个绕线初级，铁氧体磁芯和个辅助弹簧圈上硅晶片。其核心是由两部分组成，以提供个可调节空气间隙。图显示了在测试夹具核心和线圈支持。金属制品业副线圈是安装在印刷电路板，便于操作。二次是个边长平方平均螺旋弹簧圈作为几何图加工涉及电子束蒸发铜层氧化硅晶片，并发射图案。铜线圈为.微米厚。线圈有转和微米金属痕迹以微米间距宽。电气参数物理和核心，第二是总结于表。.线圈制造及其特点变压器是由个绕线初级，铁氧体磁芯和个辅助弹簧圈上硅晶片。其核心是由图.微线圈装配和测量制造核心连接及其。
10、月日附件外文资料翻译译文简易微机电系统设备无线供电方案摘要近来，随着微切削加工技术发展，离散微器件结构也日趋成熟因此，系统整合变得越来越重要。微器件尤其是执行机构供电需求成为了妨碍这种整合系统发展因素。由于些型号执行机构对电压和电源要求较高，在芯片上整合电源供应器是不可行，并且微机电系统因供电需求而被连接装置束缚是不方便。片装无线供电电源可应用于解决此问题。在这里，展示个利用核心处有空隙变压器设计简易无线供电方案。副变压器制造在芯片上并且和主变压器分开。实验和模拟用来使主副变压器耦合良好。获得接近于.耦合系数。研究了变压器频率特性。在此演示薄膜副变压器工作频率为小于几兆赫。可用高电压.和功率.由经副变压器传输至负载来展示传送能力。关键词微机电系统供电芯片供电电感耦合集成电感器.引言作为个相对较新研究领域，微机电系统日益受到关注。尽管对离散微器件研究已经很深入，相对而言，整合在个芯片上系统却很少出现。这种系统将实现更高级。
11、电压串联阵列个太阳能电池生产平方厘米，单细胞层三针脚针高占地总面积为数组伏，转换效率低于设备。虽然这种方法可以提供足够静电电压，其电流源能力是有限。此外，它需要个外部光源，可能并不总是可用。相比之下，电感芯片耦合功率上结合物理连接优点，不，不可拆卸部件，高可靠性和效率，集成电路制造兼容性和易用性包装。在这里，我们报告个原型电源芯片基于变压器二次线圈，硅微加工上。变压器主要是绕铁氧体差距核心纳入个变量空气。当副线圈差距插入到空气中，能源是耦合从主方到二次侧。对于这样个战略，有线圈必要性归纳能力，但许多系统允许这种线圈计算在内，离开了系统布线免费互连。我们设计测试，并在血液监测系统最终纳入，是个核心设计。也有人提出了植入种不同核心设计它们具有较低耦合系数，从而减少功率传递到负载比设计中描述了这里。我们已经实现线圈耦合高达.权力负载通过我们副线圈。.原理由经营理论变压器电磁感应原理。当交流电压线圈上应用，不断变化磁场线圈共。
12、合系数，从而减少功率传递到负载比设计中描述了这里。我们已经实现线圈耦合高达.权力负载通过我们副线圈。.原理由经营理论变压器电磁感应原理。当交流电压线圈上应用，不断变化磁场线圈共同具有核心是路径形成磁场产生。反过来，个相同频率交流电压作用是在其他线圈，电能传输电路从输入到输出。拟议可拆卸集成变压器不同连接到传统，二次是在没有物理其余变压器，但不是在同个硅芯片上集成。由于能源领域所取得转让是通过磁场在空气中差距，重要是涉及变压器性能之间耦合主要和次要。对于不完全耦合变压器，与原理图如图所示。，每个终端电压压降可表示为图带有互感变压器示意图在第级，二级和是主要电感，电感和互感副线圈分别是第二和终端负载阻抗跨越。之间耦合程度，主线圈和副线圈相关定义为耦合系数这是，和耦合系数是对变压器性能优异最重中文字毕业设计外文资料翻译学院理工学院专业过程装备与控制工程姓名学号外文出处.,.附件.外文资料翻译译文.外文原文。指导教师评语签名年。
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