1、统床身及防护罩装置冷却及润滑系统和数控系统五大部分。该机床的磨头为普通平面磨床磨头，垂直进给的高精度由丝杆副和数控系统来保证。该机床的横向驱动系统及纵向进给机构采用滚珠丝杆加交流伺服电机驱动，提高加工精度。纵向进给导轨镶装塑料，以降低摩擦系数，提高耐磨性和抗撕伤能力，并防止低速时出现爬行。该机床的冷却系统包括磨削液冷却强制过滤等装置。超精密磨削的加工精度小于.，表面粗糙度，磨床定位精度的分辨率和重复精度小于.。现在超精密磨削正从微米亚微米.的加工向纳米级加工发展。用磨具进行磨削和用磨粒进行研磨和抛光是实现精密及超精密加工的主要途径。用于超精密镜面磨削的树脂结合剂金刚石砂轮的磨料平均粒径可小至，使用的超微细磨粒的磨片，所磨削加工。

2、外锥距齿宽系数齿宽.大端齿顶高大端齿根高全齿高齿根角齿顶角顶锥角根锥角大端齿顶圆直径第章纵向进给机构设计.传动部件设计进给传动系设计应满足的基本要求进给运动的传动质量直接关系到机床的加工性能，故对进给运动有如下要求．具有足够的静刚度和动刚度．具有良好的快速响应性，做低速进给运动或微量进给时不爬垂直进给机构由伺服电机驱动蜗杆，传动与其相啮合的螺旋齿轮，转动与螺旋齿轮刚性联结的丝杆副的螺母，移动丝杆使与其固定联结的磨头体垂直运动。垂直运动具有数控系统基础，进给有自动与手动。．自动快速运动按住点动式快速上升键，磨头上升，当释放时磨头停止上升，按住点动式快速下降键，磨头下降，当释放时，磨头停止下降，其运动速度为。点发进给运动点按点发进。

3、布局设计。．理论计算包括机床功率的计算，电动机选用，滚珠丝杆副选用与校核以及锥齿轮尺寸计算。．方案设计详细说明了精密数控平面磨床的传动部件设计和导轨设计的要点及要求，并提出纵向进给机构和横向进给机构的设计方案。．机床改进针对本设计中不够完美的地方的改进想法。．结论包括这次毕业设计的总结，和对精密数控平面磨床的发展方向进行了展望。．致谢．参考文献第章精密平面磨床总体设计.磨床简介本次设计是台精密数控平面磨床，它除了可以磨削平面外，还可以磨削台阶平面，不仅适用于机械加工行业亦适用于模具行业。它采用机电体化设计原理，通过采用砂轮，滚珠丝杆副，数控系统等措施保证加工精度。该精密数控平面磨床主要包括磨头及垂直进给系统工作台纵向及横向驱动。

4、.轴向力切向力等效转速计算伺服电机最高转速丝杆转速丝杆导程，取丝杆转速快速移动般加工精密加工调整等效转速．丝杆选择等效轴向动负荷查表得.由公式.得查表选择插管埋入式双螺母垫片预紧滚珠丝杆副，型号为.螺母长度，余程为螺纹长度支承跨踞丝杆全长采用式支承，丝杆般不会受压缩力作用，可不校核压杆稳定性。丝杆弯曲振动临界转速.查表得由公式.得预拉伸量取温升为螺纹伸长量.由公式.得丝杆全长伸长量.由公式.得取预拉伸量预拉伸力.由公式.得．轴承选择采用成对接触角推力球轴承为固定端，轴承型号。其尺寸参数为，.。技术参数为计算轴承动负荷.式中寿命系数转速系数.由公式.得.由公式.得把代入，由公式.得满足强度要求.锥齿轮尺寸计算分锥角大端分度圆直径。

5、进给运动可分为手摇进给和自动进与论文组成毕业设计任务．设计台精密数控平面磨床，用砂轮周边磨削平面，也可以磨削台阶平面。能用于机械制造业及工具模具制造行业，能加工各种难加工材料．确定磨床的总体方案．工作台纵向进给机构的设计，伺服电机和滚珠丝杆副设计计算，绘制纵向进给机构的机械结构装配图绘制相关零件图．工作台横向进给机构设计，绘制横向进给机构机械结构装配图．翻译指定的英文专业文献．撰写毕业设计论文说明书。论文组成论文由以下几章组成．绪论介绍课题研究背景和国内外发展状况，以及此次毕业设计的任务。．精密平面磨床总体设计简单介绍此次设计的精密平面磨床，给出所要设计的精密平面磨床的技术规格和主要结构及说明，并说明了磨床的总体传动设计和总体。

6、集成电路板的沟槽边沿没有崩角现象用铸铁结合剂粒度为的金刚石砂轮精磨镜面，表面粗糙度可达。日本还用激光在研磨过的人造金刚石上切割出大量等高性致的微小切削刃，对硬脆材料进行精密加工，效果很好。对极细粒度的模具而言，砂轮锋锐性的保持是个大问题。金属基微细超硬磨料砂轮在线电解修整技术，很好地解决了这问题。用目粒度的钢结合剂金刚石砂轮和技术精磨硅片，去除率为，平面度为。．超精密机床轴系的研究与发展气浮主轴的最大优点是回转精度高。由于气浮误差均化效应，通常主轴回转运动精度比主轴加工的圆度精度要高出倍。主轴和电机采用体化结构直接驱动。电动机与株洲的动平衡问题，电动机电磁振动消除电动机热消除主轴热伸长补偿以及新型气浮结构设计与制造等都是直在研。

7、键，每次进给量为.。自动进给运动在自动磨削时，分粗磨精磨和无进给磨削，其进给量为定量分级任意选择，且具有预置和粗磨精磨和无进给磨削次数的自动转换，当无进给磨削次数结束，工作台固定的在右端停止，在磨削过程中有数字显示。．手动手动进给由手动脉冲发生器控制器进给量，根据需要任意选择既定的定量分级的进给，其进给量为格。根据预先选择的进给量和转动手动脉冲发生器就可获得所选择的进给量。调整用手动机构，在床身后面，在与伺服电机相联接得蜗杆轴上装有直齿齿轮，转动相啮合的另锥齿轮轴，通过蜗杆螺旋齿轮副和垂直丝杆副可获得磨头上下调整已动，在平时，锥齿轮对始终处于非啮合状态的拓开位置。横向进给机构拖板或工作台横向进给运动可分为手摇进给手动微动进给和。

8、技术综合三个方面永无止境的追求的特点。实现超精密加工的主要条件应包括以下诸方面的高新技术超精密加工机床与装夹具超精密刀具和磨料，刀具刃磨技术超精密加工工艺超精密加工环境控制包括恒温隔振洁净控制等超精密加工的测控技术等。毫无疑问，超精密加工机床技术是最关键的技术，它直接代表了国家制造业的水平。大学和研究所保持着对超精密机床研究的持续热情，对高技术进行超前研究，并使得研究型超精密试验机床尽可能采用高技术作产业的先导，对超精密机床产业化和商品化起着推动作用。美国实验室开发了系列超精密试验研究型机床，年研制成功的大型光学金刚石车床是至今为止精度最高的大型超精密机床精密,磨床,工作台,纵向,进给,系统,设计,毕业设计,全套,图纸精密磨床。

9、动进给。．手摇进给时应将捏手松开，使斜齿轮与手轮空转，然后将手轮向前推，使齿型离合器相接合此时拉杆以将齿轮副脱开摇动手柄，经手轮轴联轴器，转动滚珠丝杆，使滚珠螺母移动，带动拖板做横向进给运动。．手动微动进给基本上与手摇进给相同，此时应将捏手拧紧，使斜齿轮与手轮结合在起，然后使齿型离合器接合，转动蜗杆上的捏手，经蜗杆斜齿轮啮合传动轴，其余传动与上面相同，微动把手上的最小刻度值为.毫米。．自动进给自动机给的动力为伺服电机，在它的输出轴上装有齿轮，经与它啮合的齿轮而传动轴此时应将齿型离合器分开经联轴器使滚珠丝杆转动，滚珠丝母是紧固在拖板上的，因此式拖板做横向自动进给，横向进给量断续为.毫米次，连续为.米分。纵向进给机构拖板或工作台纵。

10、个特点砂轮损耗大，磨削比低磨削力大，磨削效率低由于磨削条件不同，会使加工零件的强度发生变化。根据以上这些特点，各国都致力开发了适合进行纳米磨削的超精密平面磨床，并且进行了脆性材料的可延性磨削技术的研究。随着社会的不断发展，高效是各个生产商不断追求的目标，数控技术得到推崇。当今，磨削加工技术的发展趋势是向着采用超硬磨料磨具，发展高速高效高精度磨削新工艺，装备数控磨床的方向发展。课题研究目的本次设计目的是设计台精密数控平面磨床，精度等级为，用砂轮周边磨削平面，也可以磨削台阶平面。能用于机械制造业及工具模具制造业，能加工各种难加工材料如陶瓷材料。.国内外发展状况超精密加工技术是以高精度为目标的技术，它具有单项技术的极限常规技术的突破。

11、作台设计摘要本文对所设计的磨床作了详尽的论述，分别从精密数控平面磨床的总体布局横向进给纵向进给和硬件电路设计等几个方面进行了阐述。绪论介绍该课题研究背景和国内外发展状况，以及此次毕业设计的任务。数控平面磨床总体设计简单介绍了此次设计的数控平面磨床，给出该数控平面磨床的技术规格和主要结构及说明，并说明了磨床的总体传动设计和总体布局设计。理论计算包括机床功率的计算，电动机选用，滚珠丝杆副选用与校核以及锥齿轮尺寸计算。方案设计详细说明了精密数控平面磨床的传动部件设计和导轨设计的要点和要求，并提出纵向进给机构和横向进给机构的设计方案。硬件电路设计详细说明了硬件的选用和电路的连接。最后，针对本设计中不够完美的地方的改进想法，以及对本次毕。

12、改善的问题。为了提高主轴的径向和轴向刚度，采用半球型气浮主轴如德国公司系列气浮轴承。为了进步提高回转精度和刚度，近年来很多人研究控制节流量反馈方法来实现运动的主动控制。最近，用电磁技术和气浮结合的控制方法也在研究之中。但电磁技术的缺点很多，如热效应严重等，还不能达到很高精度。日本学者了磨削的比重，而且还促进了磨床磨削加工方式和工艺以及其它相关技术的发展。随着以工程陶瓷为主体的非金属材料逐渐成为工程技术重要材料，各国还开发了适应加工这类工程陶瓷的超精密平面磨床。陶瓷材料的特点是硬而脆，其硬度是碳钢的至倍，而断裂韧性仅为碳钢的几十分之。陶瓷材科的性能对粗糙度破损度平面度等平面参数十分敏感。陶瓷材料的磨削机理与金属材料不同，主要有三。

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