（立项阶段）1万吨超大规模集成电路用超净高纯试剂项目投资立项评估报告（提交材料）

超净高纯试剂在运输过程中极易受污染，所以超净高纯试剂包装及供应方式是超净高纯试剂使用重要环。

特别是颗粒控制相关技术，它贯穿于超净高纯试剂生产运输始终，包括了环境控制工艺控制成品包装控制等各个环节。

国内外超净高纯试剂生产技术发展现状国外世纪年代便开始生产电子工业用试剂，并为微电子加工技术发展而不断开发新产品。

到目前为止，在国际上以德国公司产量及所占市场份额为最大，其次为美国公司及日本关东株式会社，另外还有美国公司英国公司前全苏化学试剂和高纯物质研究所三菱瓦斯化学伊期曼化学公司公司公司化学品公司日本化学工业公司及德山公司等。

近年来，新加坡台湾地区也相继建立了级超净高纯试剂生产基地。

目前在国际上从事超净高纯试剂研究开发及大规模生产主要有德国公司包括日本公司，占全球市场份额，美国公司市场份额公司市场份额公司市场份额，日本市场份额市场份额，另外还有日本住友合成德川三菱，我国台湾地区主要有台湾长春中华友发长新化学台硝股份及恒谊等，韩国主要有东友东进等公司。

在技术方面，美国德国日本韩国及我国台湾地区目前已经在大规模生产技术用超净高纯试剂，其中过氧化氢硫酸异丙醇等主要品种般在吨年规模，技术用超净高纯试剂也已完成前期工艺研究并形成规模生产，以下技术用工艺化学品也已完成技术研究，具备相应生产能力。

国内超净高纯试剂研发水平及生产技术水平与国际上先进技术水平相比尚有定差距，目前技术用级试剂生产技术已经成熟，并已转化为规模生产。

技术用超净高纯试剂相当于国际标准水平产业化技术基本成熟，初步形成生产规模。

技术用超净高纯试剂相当于国际标准水平工艺制备技术及分析测试技术有所突破，但由于受相关配套条件制约，产业化技术还有待进步完善。

部分产品产业化技术也将能够形成规模化生产，相关分析测试方法研究也有了较大突破，但总体上仍然受支撑条件落后配套设施基础差等客观因素制约，关键仪器设备包括容器等必须依赖进口，超净高纯试剂工艺先进技术如气体吸收离子交换膜处理技术等应用要达到国外先进水平也有定差距，这也但经包装后就不能使用了，除了包装容器材质选择外，严格清洗过程很有必要。

其预清洗还可以用人工参加，到最后超净阶段就在这样要求下，般采用普通玻璃设备都难以达到，必须采用优质石英玻璃来制作各种生产设备才能达到要求。

这些石英玻璃必须经过专业设计并严格控制加工过程才能制造出来。

超净包装容器自动清洗线设计安装超净高纯试剂包装容器，历来是其发展过程中瓶颈问题，很多情况下是可以生产出合格产品，但经包装后就不能使用了，除了包装容器材质选择外，严格清洗过程很有必要。

其预清洗还可以用人工参加，到最后超净阶段就不是靠手工能洗得出来了，必须设计专业清洗设备，在超净工作间内自动清洗才能达到要求。

超净高纯水生产超净高纯水主要用于生产设备清洗及包装容器中清洗，其质量好坏直接影响到超净高纯试剂产品质量。

传统超净高纯水生产工艺是采用反渗透加离子交换工艺，水质虽可达到使用要求，但离子交换工艺操作中大量使用酸碱，并生成大量酸碱废液难以处理，本项目拟采用最新技术电去离子工艺，出水质量更优，不再产生酸碱废水，运行成本更低。

分析测试仪器添置液体尘埃颗粒计数器气体尘埃颗粒计数器原子吸收光谱仪等专业分析仪器及其他许多常规分析设备，更先进等离子光谱或电感耦合等离子光谱质谱仪。

三项目建设规模及投资概算项目总目标年产吨级超净高纯试剂年产值亿元年利税亿元。

项目包括如下工程总计万元超净工作间合计万元级级超净工作间及配套设施设备，万元万级超净工作间及配套设施设备，万元万级洁净生产厂房及配套设施设备，万元。

生产设备合计万元年产吨超净高纯硫酸设备，万元年产吨超净高纯盐酸设备，万元年产吨超净高纯硝酸设备，万元年产吨超净高纯双氧水设备，万元年产吨超净高纯无水乙醇设备，万元年产吨超净高纯氨水设备，万元年产吨超净高纯甲醇设备，万元年产吨超净高纯异丙醇设备，万元年产吨超净高纯氢氟酸设备，万元年产吨超净高纯磷酸设备，万元年产吨超净高纯冰乙酸设备，万元年产吨超净高纯氟化铵设备，万元年产吨超净高纯氟化氢铵设备，万元年产吨超净高纯乙酸乙酯设备，万元年产吨超净高纯乙酸丁酯设备，万元年产吨超净高纯甲苯设备，万元年产吨超净高纯二甲苯生产设备，万元年产吨超净高纯三氯甲烷生产设备，万元年产吨超净高纯四氯化碳生产设备，万元年产吨超净高纯乙二醇生产设备，万元年产吨超净高纯三氯乙烯生产设备，万元年产吨超净高纯二氯甲烷生产设备，万元年产吨超净高纯环己烷生产设备，万无年产吨超净高纯丁酮生产设备，万元与以上各产品相对应超过滤系统，万元。

超净高纯水生产设备万元建设日产达吨超净高纯水生产设备，水质达到以上，采用电去离子技术与反渗透结合工艺，尘埃颗粒以上个。

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