（优秀毕业全套设计）罗茨真空泵的结构设计

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《（优秀毕业全套设计）罗茨真空泵的结构设计》修改意见稿

1、“.....首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。.干式机械真空泵国外干式机械真空泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业化学工业薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵多级爪式真空泵螺杆式真空泵涡旋式真空泵往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从，抽速从。据统计，目前国产干泵的应用还不足，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。.真空泵技术进展趋势技术发展的原动力在于市场的需求。由于真空技术领域的扩展和迅速成长的高新技术，国内真空泵市场对真空泵的技术水平提出了更高的要求。真空泵的生产企业必须通过技术创新和产品结构的调整两个途径来保住原有市场，进而继续扩大市场占有率......”。

2、“.....降低振动噪声，注重真空泵的综合水平。过去的若干年，生产厂注重真空泵的主要性能指标，比如，极限压力抽速等，而忽视真空泵的综合性能。而现在，产品的可靠性性能的稳定性以及对环境不造成污染逐渐成为用户购买产品时考虑的主要因素。对于旋片泵罗茨泵滑阀泵等而言要将成熟的可靠性设计理念运用到真空泵的设计中，在可靠性设计可靠性实验等方面下工夫，以大幅度提高真空泵的可靠性稳定性和寿命，保证真空泵能够在各种工况下长期可靠的运行。同时通过采用新技术新材料新工艺新结构来降低振动噪声，解决泵的喷油漏油问题，还用户个清洁环保的工作环境。企业面对的永远是变化的市场，而我们的真空泵产品却千篇律的雷同。产品和市场的不衔接，使我们丢掉了许多机会。真空泵的下步发展应该面向个性化和多样化。所谓个性化和多样化就是针对不同用户的不同需求，设计针对用户的特定场合的产品，使产品在这场合应用，其特性的发挥恰倒好处。尽快形成分子泵和干泵的规模生产。根据预测，到年我国将成为世界上第二大半导体集成电路市场，总需求量约亿块，达到亿美元以上的总金额......”。

3、“.....条生产线所需干式真空泵大约台，是目前我国真空泵年产量的左右。国内目前真空获得设备仍然以传统的真空泵为主，主要为旋片真空泵滑阀真空泵罗茨真空泵蒸汽流泵水环真空泵等，且全部用于传统产业，我国生产的真空泵用于电子信息产业不足，与日本欧美等国相比差距巨大。我国干式真空泵的生产处于刚刚起步阶段，在全国多家生产真空泵的企业中，能够生产干式真空泵的企业不足家，年产量不足台。没有形成批量生产。目前国内生产的干泵绝大多数用于实验室及化学医药等领域，用于半导体行业的很少。国内飞速发展的电子信息产业没有有效的刺激国内干式真空泵发展，而却成为国际上真空工业发达国家的扩张之地。目前国内建成的半导体集成电路生产线，几乎所有的干式真空泵包括其它真空设备均为进口，主要来自英国日本德国美国等。国内生产的干式真空泵进入该领域十分艰难，使得干式真空泵这个未来真空获得设备的主导产品在我国处于十分困难的境地。造成此状况的主要原因为干式真空泵在我国的起步较晚，刚起步即面临国外已经发展成熟的产品大量进入我国市场，国内产品除了价格低外......”。

4、“.....国外各国的产品经过几年的较量，已经基本瓜分了国内市场，并且站稳了脚，国内的干式真空泵生产由于失去了市场的激励，没有了发展的动力，进步缓慢。业内专家致认为干式真空泵是真空获得设备发展的方向，也是真空获得手段的“尖端”技术，我国的真空泵产业必须在此领域有所作为，首先进入食品化工医药等行业。经过这些市场的培育和锻炼，进而打入半导体行业。才能使整个行业与时俱进的发展。目前国内分子泵应健全系列并开发多品种，如低温分子泵复合分子泵等，逐渐扩展市场。引进国外先进技术，提升我国产品的科技含量在其他行业有成功的经验。在发展真空获得设备的高端产品中引进国外技术，并很好的消化吸收，将宅誉速改变我国产品技术含量低质量和技术水平不能满足市场需求的现状。但苎引进国外技术，应特别注意两点是重在消化吸收，在此基础上培育企业的自主知识产权和创新能力。二是不要重复盲目引进，要瞄准国际上当代最新技术，避免引进代，落后代。引进国外技术不是目的，而是手段，通过引进技术最终打造国产自主品牌。传统的真空设备我们生产了几十年......”。

5、“.....但是随着经济的高速发展，信息技术航空航天纳米科学等高科技弓导了当今科学技术发展的潮流。而这些高新技术的发展离不开真空获得设备这个基础装备。目前国内的状况是真空泵生产企业仍然以生产传统产品为主在传统应用领域占领以上的市场份额。在高科技领域，国内产品在技术水平和质量上不能满足要求，以上市场份额由国外产品占领。国内真空获得产品与高新技术的发展严重脱节，产品结构不尽合理。多数企业期望只靠已有的老产品，不断增加产量而逐年增加利润，这种可能性在市场竞争日益激烈的今天会越来越小。在今天的国内外市场格局面前，尽快调整产品结构，使其适应市场需求才是最明智的选择。产品结构的调整是要不断推出市场需要的对路产品，对真空泵市场来说，就是要加快各种干式泵分子泵以及其他高端产品的研制生产，尽快形成批量。二是全行业要形成高中低端产品的合理布局，并随着市场的变化，不断调整，始终保持比较合理的产品结构状态。尽管年真空行业取得了令人瞩目的成绩，但目前的真空泵技术发展状况却并不乐观。全行业要认真分析形势，总结经验教训，团结致......”。

6、“.....为我国的经济建设做出全行业应有的贡献。.对真空技术未来发展的期望对未来真空技术的期望，首先希望厂家能研制出方便耐用的设备，朝着用户与厂家相互满足的方向努力。操作要方便，要缩短运转时间或生产周期。因为花费在抽真空上的时间非常长，所以要加以解决。真空装置和仪表要高级化，提高设备的寿命和精度。希望在太空中建立真空应用的工厂。空间站和飞船也会释放出自身的气体，真空并不理想，在空间飞船后米以外的地方才能获得理想的超高真空。要利用微重力条件下宇宙真空环境，为人类服务。铝合金真空装置可能代替不锈钢。实现真空装置铝合金化，硬度问题利用离子镀就可以达到实用化。今后的发展方向，是向微小化领域纳米科技和固体元件的研制，另个是向巨大化的领域如核聚变的研究，其中在巨大化装置和使用多种气体的真空装置方面，希望能研制出能够用于从粘滞流领域到超高真空的宽域型真空泵。希望能研制出不经烘烤的超高真空装置或者烘烤就可以了。总之要以方便用户的操作为出发点，得到全世界用户对欢迎。我们希望世纪中真空科学与技术取得更新的成就。真空行业得到更大的发展......”。

7、“.....罗茨真空泵的术语和定义抽气速率当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比，简称抽速，单位。极限压力泵装有标准实验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压力，单位为。最大允许压差最大允许压差是指泵入口压力等于或低于时，连续运转，不发生故障所允许的出口压力与入口压力差值的最大值，单位为。零流量最大压缩比零流量压缩比就是关闭进气管路气体流量为零时，前级真空管路中的压力与入口压力之比，该压缩比的最大值用表示。实验气体为非可凝性气体，般指空气。.罗茨真空泵的型式和基本参数普通罗茨真空泵的型式图型号示意图标记示例名义抽气速率为的罗茨真空泵，标记为名义抽气速率为的带溢流阀罗茨真空泵，标记为名义抽气速率为的气冷式罗茨真空泵，标记为基本参数般型及带溢流阀型泵的基本参数应符合表表泵的基本参数气冷式泵的基本参数符合表表气冷式泵的基本参数低噪声气冷罗茨真空泵的简介在各个行业中为了实现无污染的真空获得环境......”。

8、“.....但气冷罗茨真空泵及由其组成的机组在运行时噪声较大，影响了些模拟实验的进行以及工作人员的身心健康。低噪声气冷罗茨真空泵通过研究种保证在工作过程中既要使排出口及两侧返冷气口的高压气体在回流是对低压气体的冲击小又能保证有充分的反冷气时间的转子线型以及控制由于转子在工作过程中的热膨胀和轴承游隙引起的转子径向和轴向的列和间隙。如图图所示，低噪声气冷罗茨真空泵采用如下扭叶转子型线，转子的截面型线由圆弧摆线渐开线圆弧圆弧等多段曲线组成，以达到具有高压缩比的效果并通过确定合理的转子扭角以及转子导程，以达到合适的返冷气时间，提高高压差下的工作稳定性同时，采用两扭叶转子，可缩小其轴向错位，以保证转子在工作过程中的安全高效可靠。图转子扭转角的确定图三维参数化造型两叶与多叶转子气冷式罗茨真空泵型线分析气冷式罗茨真空泵的型线可以由渐开线圆弧摆线或由其组合而成。虽然渐开线型的容积利用系数稍大于圆弧摆线，但从泵的抽数和实际利用效率来看，则圆弧摆线型转子要高些。本文研究的则是两叶三叶四叶圆弧排线转子的型线。本文先建立摆线的参数方程来确定转子的形状如图......”。

9、“.....并且通过对不同叶数下的容积利用系数的分析，来确定二者之间的关系。就圆弧摆线转子来说，叶数越多，值越大，容积利用系数越大，则理论抽速就越大，泵的效率也就越高三种叶片的曲线见图。同时，叶数增加，封闭工作腔的容积会变小，进气及反流产生的噪声也就越小。其中,图为转子外圆半径图，为摆线形成的节圆半径图。图初始位置图旋转定角度后的位置图容积利用系数示意图三种转子型线曲线.罗茨真空泵的技术要求泵应符合标准要求，并按照经规定程序批准的图样及技术文件制造。型泵必须有前级泵为其预抽真空，它不能单独使用型泵可单独使用，直排大气。泵配用油封机械真空泵作前级泵时，则不适于抽除含氧气量过高有爆炸性的对黑色金属有腐蚀性的与真空泵油起化学反应和含有尘埃的气体。在带试验罩的条件下，型泵启动运转之后，应达到图规定的极限压力型泵在启动和运转平衡后般到，应达到图规定的极限压力。本标准不考核抽气速率。如需测量抽速，型泵必须配置相应的前级泵，并注明前级泵的型号和规格。型泵的其他性能应符合图的规定型泵的其他性能应符合图的规定。泵工作的环境温度为。泵应运转平稳......”。